观察视镜及多晶硅还原炉的制作方法

文档序号:11427588阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及多晶硅生产技术领域,具体而言,涉及一种观察视镜及多晶硅还原炉。上述观察视镜包括视镜本体,所述视镜本体包括内管、外管、第一法兰、第二法兰、视镜玻璃和清洁刮板,所述清洁刮板与所述视镜玻璃的内表面相接触,所述清洁刮板一侧连接有用于带动所述清洁刮板运动的连接件,所述连接件贯穿所述第一法兰的侧壁和所述内管的侧壁。该观察视镜能够在生产过程中随时对视镜玻璃进行清洁,非常方便。上述多晶硅还原炉包括底盘、炉体、电极、硅棒、进气系统、排气系统和上述观察视镜,所述视镜本体设置于所述炉体上。该多晶硅还原炉包括上述观察视镜,能够方便地对视镜玻璃进行清洁,不影响多晶硅的生产,效率高。

技术研发人员:王启立;彭家春;吕邦民;李昊
受保护的技术使用者:中国矿业大学
技术研发日:2017.05.05
技术公布日:2017.08.29
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