一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装的制作方法

本实用新型涉及石墨加热器技术领域，尤其是涉及一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装。

背景技术：

在单晶硅生产中，需要用到石墨加热器，在石墨加热器的加工过程中最关键、最复杂的工序是为石墨原料件开槽，为了保证开槽过程中石墨原料件不变形，需要将石墨原料件固定在特制的石墨材质的固定工装上。

由于市场上单晶炉炉型众多，导致石墨加热器的尺寸相差较大，所以石墨加热器开槽所用的固定工装的种类以及规格非常多，造成成本浪费。

此外不同种类以及规格的石墨加热器切换时需要重新装卸、调整固定工装，费时费力，误工严重。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装，该固定工装能够适用于多种规格的石墨加热器的固定，实现一机多用，且能够在短时间内实现多种规格的快速切换，以适用于多种规格的石墨加热器的快速切换固定。

为解决上述的技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装，包括基座、若干个大小不一的圆环以及销子；

所述基座包括平面圆板以及圆柱状凸台，所述圆柱状凸台设置在所述平面圆板的圆形表面的中心处，且所述平面圆板的轴向中心线与所述圆柱状凸台的轴向中心线重合；

内径最小的圆环的内径等于所述圆柱状凸台的外径且内径最小的圆环套设在所述圆柱状凸台上；

所述基座上开设有用于插入所述销子的销孔，所述销孔的轴向中心线与所述圆柱状凸台的轴向中心线平行且位于所述圆柱状凸台的外周向侧面上以在所述圆柱状凸台的外周向侧面上形成半销孔；

所述圆环的内环壁面上设置有半销孔且所述圆环的外环壁面上设置有半销孔；

内径最小的圆环的内环壁面上的半销孔与所述圆柱状凸台上的半销孔拼成一个完整的销孔；

全部的圆环的内径大小与外径大小满足全部的圆环可以从大到小依次套设且相邻套设的位于外侧的圆环的内径等于位于内侧的圆环的外径；

内径最小的圆环通过同时插入两个所述半销孔中的销子固定在所述圆柱状凸台上；

相邻套设的位于外侧的圆环通过同时插入两个所述半销孔中的销子与位于内侧的圆环连接；

所述圆环的外径等于所述石墨加热器的内径以对所述石墨加热器进行固定。

优选的，所述销孔为圆形孔。

优选的，所述圆柱状凸台的高度与所述圆环的厚度相等，且全部的圆环的厚度相等。

优选的，所述圆环由左半圆环与右半圆环拼接而成。

本实用新型提供了一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装，包括基座、若干个大小不一的圆环以及销子；圆环的外径等于石墨加热器的内径以对石墨加热器进行固定，内径最小的圆环通过销子可拆卸地套设于基座上的圆柱状凸台上从而实现了多个外径大小不等但内径相等的圆环可以方便高效地在基座上进行安装或拆卸，实现了一机多用，且大小不等的圆环可以从大到小依次套设，进行组合，组合成大尺寸工装以适用于大尺寸的石墨加热器，从而实现了在不拆卸更换基座的情况下，适用于多种规格的石墨加热器的固定，且不换基座只换圆环使得能够在短时间内实现多种规格的圆环的快速拆卸切换，以适用于多种规格的石墨加热器的快速拆卸切换固定，省时省力省成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装中的基座的结构示意图；

图2为图1的B-B向的剖视结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装中的内径最小的圆环的结构示意图；

图4为套设在图3中圆环的外侧的圆环的结构示意图。

图中：1基座，101销孔，102平面圆板，103圆柱状凸台，2圆环，201半销孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“轴向”、“径向”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1～图4，图1为本实用新型实施例提供的用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装中的基座的结构示意图；图2为图1的B-B向的剖视结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装中的内径最小的圆环的结构示意图；图4为套设在图3中圆环的外侧的圆环的结构示意图。

本申请提供了一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装，包括基座1、若干个大小不一的圆环2以及销子；

所述基座1包括平面圆板102以及圆柱状凸台103，所述圆柱状凸台103设置在所述平面圆板102的圆形表面的中心处，且所述平面圆板102的轴向中心线与所述圆柱状凸台103的轴向中心线重合；

内径最小的圆环2的内径等于所述圆柱状凸台103的外径且内径最小的圆环2套设在所述圆柱状凸台103上；

所述基座1上开设有用于插入所述销子的销孔101，所述销孔101的轴向中心线与所述圆柱状凸台103的轴向中心线平行且位于所述圆柱状凸台103的外周向侧面上以在所述圆柱状凸台103的外周向侧面上形成半销孔；

所述圆环2的内环壁面上设置有半销孔201且所述圆环2的外环壁面上设置有半销孔201；

内径最小的圆环2的内环壁面上的半销孔201与所述圆柱状凸台103上的半销孔拼成一个完整的销孔；

全部的圆环2的内径大小与外径大小满足全部的圆环2可以从大到小依次套设且相邻套设的位于外侧的圆环2的内径等于位于内侧的圆环2的外径；

内径最小的圆环2通过同时插入两个所述半销孔201中的销子固定在所述圆柱状凸台103上；

相邻套设的位于外侧的圆环2通过同时插入两个所述半销孔201中的销子与位于内侧的圆环2连接；

所述圆环2的外径等于所述石墨加热器的内径以对所述石墨加热器进行固定。

在本申请的一个实施例中，所述销孔101为圆形孔。

在本申请的一个实施例中，所述圆柱状凸台103的高度与所述圆环2的厚度相等，且全部的圆环2的厚度相等。

在本申请的一个实施例中，所述圆环2由左半圆环与右半圆环拼接而成。

在本申请中，内径最小的圆环2可以有多个，内径相同但外径不同，以适用于多种规格的石墨加热器的固定。

在本申请中，大小不一的多个圆环2类似于机械秤中的多个秤砣，每个秤砣既可以单独使用，又可以和其它一个、两个或三个等等多个秤砣进行灵活组合使用。

本实用新型提供了一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装，包括基座1、若干个大小不一的圆环2以及销子；圆环2的外径等于石墨加热器的内径以对石墨加热器进行固定，内径最小的圆环2通过销子可拆卸地套设于基座1上的圆柱状凸台103上从而实现了多个外径大小不等但内径相等的圆环2可以方便高效地在基座1上进行安装或拆卸，实现了一机多用，且大小不等的圆环2可以从大到小依次套设，进行组合，组合成大尺寸工装以适用于大尺寸的石墨加热器，从而实现了在不拆卸更换基座1的情况下，适用于多种规格的石墨加热器的固定，且不换基座1只换圆环2使得能够在短时间内实现多种规格的圆环2的快速拆卸切换，以适用于多种规格的石墨加热器的快速拆卸切换固定，省时省力省成本。

本实用新型未详尽描述的方法和装置均为现有技术，不再赘述。

本文中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。