炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法与流程

文档序号:15088084发布日期:2018-08-04 12:27阅读:373来源:国知局
本发明涉及炼制多晶硅还原炉
技术领域
,具体地说是一种炼制多晶硅还原炉电极损坏再修复的方法。
背景技术
:多晶硅用于光伏及半导体行业,炼制多晶硅还原炉的电极作为还原炉系统核心易损零部件,安全及使用条件严酷,经一定时间使用后,其失效形式通常表现为:①电极锥头部高温及化学介质腐蚀;②电极尾部进出口螺纹或焊缝处漏水;③电极尾部锁紧螺纹变形损坏;④电极内部冷水管组件水腐蚀。上述损坏主要表现形式不一定同时发生,但只要一项存在就会影响正常使用,就要进行更换,一个还原炉的电极有25根或49根,若都更换新的每根需要7~8千元至一万元左右,那么25根或49根都更换的话,一次就需要二十几万或四十几万元左右,这样大大地提高了多晶硅的炼制成本,同时也是对资源的浪费。技术实现要素:本发明的目的是在于提供了一种炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法,方法易行,操作简便,研制降低了多晶硅炼制的成本,同时用不同的材料更换损坏的还原炉电极部分进行再修复。为了实现上述的目的,本发明采用以下技术措施:对
背景技术
中叙述四种电极失效形式,有针对性的进行分别分段维修制造,根据需要有选择性地修复,按照新件电极极制造、使用技术要求,一种炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法,其步骤是:(1)通过换材;所述的换材是:对失效损坏的旧电极部位进行材料更换,分段处理。更换材料包括:t1紫铜、t2紫铜或铍青铜等其中的一种。在维修过程中,所换材料不一定与旧电极本体一致,但材质必须达到相关国家标准以满足导电性的需要;(2)机加;所述的机加是:通过机床或加工中心,去掉损坏的电极部分,同时按照损坏的电极部分的尺寸,按照新件电极制造技术要求,对损坏的部位分段完成加工工艺过程;(3)焊接;所述的焊接是:通过感应熔敷或旋转摩擦焊替代传统普通焊接(如炉内预热手工焊等),将新加工出的电极部分焊接到旧的剩下的电极上,再加工,这样大幅度降低劳动强度及因烟雾粉尘造成对人与环境的负面影响,使得旧电极分段维修焊缝质量达到相关国标要求,保证其导电性与新电极相当,满足生产需要;(4)在线显厚刷镀银技术等一系列工艺手段,重新整合,完成制造全过程,以使其起死回生,恢复使用功能,所述的在线显厚刷镀银技术是:通过在线显厚刷镀银技术替代传统的槽镀银工艺,在刷镀过程中通过在线显厚刷镀银装置全程随时精控,最后使新加工焊接上的部分达到原电极的镀银厚度,即时停止刷镀,确保镀银层质量达到相关国家标准,实现精准控镀,使得每根电极锥头镀层均匀,尺寸可控,镀银层纯度≥99.99%,导电性优于轧制银材。所谓的在线显厚刷镀银技术简述:根据镀银特质,采用cpu芯片编程,在刷镀过程中,实时在线显示镀层厚度。而目前采用的测厚仪是在槽镀完成之后,对镀层进行破坏或非破坏性测厚,不能在镀银过程中实时监测镀层厚度。现武汉材保研究所有限公司已完成在线显厚刷镀银仪器的研制定型,进行市埸销售,其典型型号为mbpk一50a。通过上述四个步骤的技术措施,完成失效电极再制造。总体来说电极维修再制造的四个环节都很重要,缺一不可,是旧电极获得新生的完整闭合修复链。当然作为电极锥头镀银导电特性而言,最关键的是步骤(4),主要解决镀银层尺寸可控、精准施镀的问题,确保银层的结合力、镀层的均匀性与导电性,从而达到节材降耗,提高效率的目的,保证产品质量稳定,实际量化生产。与传统槽镀银相比,其优势在于:①能非常方便直观地用数据监测并控制镀层厚度。②根据电极镀银层的技术规范,层厚必须达到≥100um才能满足使用要求。槽镀通常无法实时监控,有一定的随机性,镀银厚度及均匀性难以控制。同时由于镀层较厚,当达到一定的厚度后,银层就产生晶粒粗大,表面粗糙,需要停镀,增加机械打磨抛光进行修整,重新槽镀,否则就会影响其结合力及导电性,虽然电极槽镀银工序操作起来较为繁琐,产品质量稳定性更难掌控。③由于刷镀银是通过纳米阳极相对移动,产生抛光、摩擦、挤压效果,所形成的电积层,其硬度一般高于槽镀银(见表一),且外观亮度更高,因而耐磨性更好。表一刷镀银层与槽镀银层维氏硬度结果对比刷镀银层槽镀银层hv90-92hv65-68本发明与现有技术相比,具有以下优点和效果:通常新电极制造往往采用整体材料制造,且制造成本昂贵,通过旧电极维修再制造思路,对失效损坏的旧电极可进行多次反复维修再制造,电极再制造适合于不同规格结构型号的失效旧电极,且仅对损坏部分进行换材修复或电极锥头部重新翻修镀银;完全可以在满足使用的前提下,对电极分段制造,形成整合一体的新电极,以达到降低成本的目的。附图说明图1为电极结构示意图。图2为电极分解结构示意图。图3为电极修复后整体结构示意图。图4为电极修复前分解结构示意图。图5为另一种电极结构示意图。图6为另一种电极修复后整体结构示意图图7为另一种电极修复后分解结构示意图具体实施方式实施例1:根据图3、图4可知,一种炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法,其步骤是:对
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中叙述四种电极失效形式,有针对性的进行分别分段维修制造,根据需要有选择性地修复,按照新件电极制造、使用技术要求,(1)通过换材;(2)机加;(3)焊接;(4)在线显厚刷镀银技术等一系列工艺手段,重新整合,完成制造全过程,以使其起死回生,恢复使用功能。所述的(1)换材是:对失效损坏的旧电极部位进行材料更换,分段处理。更换材料包括:t1紫铜、t2紫铜或铍青铜等。在维修过程中,所换材料不一定与旧电极本体一致,但材质必须达到相关国家标准以满足导电性的需要;所述的(2)机加是:通过机床或加工中心,去掉损坏的电极部分1,同时按照损坏的电极部分1的尺寸,按照新件电极制造技术要求,对损坏的部位分段完成加工工艺过程。所述的(3)焊接是:通过感应熔敷或旋转摩擦焊替代传统普通焊接(如炉内预热手工焊等),将新加工出的电极部分焊接到旧的剩下的电极上,再加工,这样大幅度降低劳动强度及因烟雾粉尘造成对人与环境的负面影响,使得旧电极分段维修焊缝质量达到相关国标要求,保证其导电性与新电极相当,满足生产需要。所述的(4)在线显厚刷镀银技术是:通过在线显厚刷镀银技术替代传统的槽镀银工艺,在刷镀过程中通过在线显厚刷镀银装置全程随时精控,最后使新加工焊接上的部分达到原电极的镀银厚度,即时停止刷镀,确保镀银层质量达到相关国家标准,实现精准控镀,使得每根电极锥头镀层均匀,尺寸可控,镀银层纯度≥99.99%,导电性优于轧制银材。所谓的在线显厚刷镀银技术简述:根据镀银特质,采用cpu芯片编程,在刷镀过程中,实时在线显示镀层厚度。而目前采用的测厚仪是在槽镀完成之后,对镀层进行破坏或非破坏性测厚,不能在镀银过程中实时监测镀层厚度。现武汉材保研究所有限公司已完成在线显厚刷镀银仪器的研制,该单位正准备申报国家专利。实施例2:根据图3、图4可知,一种炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法,其步骤是:对
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中叙述四种电极失效形式,有针对性的进行分别分段维修制造,根据需要有选择性地修复,按照新件电极制造、使用技术要求,通过(1)换材;(2)机加;(3)焊接;(4)在线显厚刷镀银技术等一系列工艺手段,重新整合,完成制造全过程,以使其起死回生,恢复使用功能所述的换材是:对失效损坏的旧电极部位进行材料更换,分段处理。更换材料包括:t1紫铜、t2紫铜或铍青铜等。在维修过程中,所换材料不一定与旧电极本体一致,但材质必须达到相关国家标准以满足导电性的需要;所述的(2)机加是:通过机床或加工中心,去掉损坏的电极部分1、2,同时按照损坏的电极部分1、2的尺寸,按照新件电极制造技术要求,对损坏的部位分段完成加工工艺过程。所述的(3)焊接是:通过感应熔敷或旋转摩擦焊替代传统普通焊接(如炉内预热手工焊等),将新加工出的电极部分焊接到旧的剩下的电极上,再加工,这样大幅度降低劳动强度及因烟雾粉尘造成对人与环境的负面影响,使得旧电极分段维修焊缝质量达到相关国标要求,保证其导电性与新电极相当,满足生产需要。所述的(4)在线显厚刷镀银技术是:通过在线显厚刷镀银技术替代传统的槽镀银工艺,在刷镀过程中通过在线显厚刷镀银装置全程随时精控,最后使新加工焊接上的部分达到原电极的镀银厚度,即时停止刷镀,确保镀银层质量达到相关国家标准,实现精准控镀,使得每根电极锥头镀层均匀,尺寸可控,镀银层纯度≥99.99%,导电性优于轧制银材。所谓的在线显厚刷镀银技术简述:根据镀银特质,采用cpu芯片编程,在刷镀过程中,实时在线显示镀层厚度。而目前采用的测厚仪是在槽镀完成之后,对镀层进行破坏或非破坏性测厚,不能在镀银过程中实时监测镀层厚度。现武汉材保研究所有限公司已完成在线显厚刷镀银仪器的研制,该单位正准备申报国家专利。实施例3:根据图3、图4可知,一种炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法,其步骤是:对
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中叙述四种电极失效形式,有针对性的进行分别分段维修制造,根据需要有选择性地修复,按照新件电极制造、使用技术要求,通过(1)换材;(2)机加;(3)焊接;(4)在线显厚刷镀银技术等一系列工艺手段,重新整合,完成制造全过程,以使其起死回生,恢复使用功能。所述的(1)换材是:对失效损坏的旧电极部位进行材料更换,分段处理。更换材料包括:t1紫铜、t2紫铜或铍青铜等。在维修过程中,所换材料不一定与旧电极本体一致,但材质必须达到相关国家标准以满足导电性的需要;所述的(2)机加是:通过机床或加工中心,去掉损坏的电极部分1、2、3,同时按照损坏的电极部分1、2、3的尺寸,按照新件电极制造技术要求,对损坏的部位分段完成加工工艺过程。所述的(3)焊接是:按照修复最佳性价比要求,通过感应熔敷或旋转摩擦焊替代传统普通焊接(如炉内预热手工焊等),将新加工出的电极部分焊接到旧的剩下的电极上,再加工,这样大幅度降低劳动强度及因烟雾粉尘造成对人与环境的负面影响,使得旧电极分段维修焊缝质量达到相关国标要求,保证其导电性与新电极相当,满足生产需要。所述的(4)在线显厚刷镀银技术是:通过在线显厚刷镀银技术替代传统的槽镀银工艺,在刷镀过程中通过在线显厚刷镀银装置全程随时精控,最后使新加工焊接上的部分达到原电极的镀银厚度,即时停止刷镀,确保镀银层质量达到相关国家标准,实现精准控镀,使得每根电极锥头镀层均匀,尺寸可控,镀银层纯度≥99.99%,导电性优于轧制银材。所谓的在线显厚刷镀银技术简述:根据镀银特质,采用cpu芯片编程,在刷镀过程中,实时在线显示镀层厚度。而目前采用的测厚仪是在槽镀完成之后,对镀层进行破坏或非破坏性测厚,不能在镀银过程中实时监测镀层厚度。现武汉材保研究所有限公司已完成在线显厚刷镀银仪器的研制,该单位正准备申报国家专利。实施例4:根据图6、图7可知,一种炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法,其步骤是:对
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中叙述四种电极失效形式,有针对性的进行分别分段维修制造,根据需要有选择性地修复,按照新件电极制造、使用技术要求,通过(1)换材;(2)机加;(3)焊接;(4)在线显厚刷镀银技术等一系列工艺手段,重新整合,完成制造全过程,以使其起死回生,恢复使用功能。所述的(1)换材是:对失效损坏的旧电极部位进行材料更换,分段处理。更换材料包括:t1紫铜、t2紫铜或铍青铜等。在维修过程中,所换材料不一定与旧电极本体一致,但材质必须达到相关国家标准以满足导电性的需要;所述的(2)机加是:通过机床或加工中心,去掉损坏的电极部分4,同时按照损坏的电极部分4的尺寸,按照新件电极制造技术要求,对损坏的部位分段完成加工工艺过程。所述的(3)焊接是:通过感应熔敷或旋转摩擦焊替代传统普通焊接(如炉内预热手工焊等),将新加工出的电极部分焊接到旧的剩下的电极上,再加工,这样大幅度降低劳动强度及因烟雾粉尘造成对人与环境的负面影响,使得旧电极分段维修焊缝质量达到相关国标要求,保证其导电性与新电极相当,满足生产需要。所述的(4)在线显厚刷镀银技术是:通过在线显厚刷镀银技术替代传统的槽镀银工艺,在刷镀过程中通过在线显厚刷镀银装置全程随时精控,最后使新加工焊接上的部分达到原电极的镀银厚度,即时停止刷镀,确保镀银层质量达到相关国家标准,实现精准控镀,使得每根电极锥头镀层均匀,尺寸可控,镀银层纯度≥99.99%,导电性优于轧制银材。所谓的在线显厚刷镀银技术简述:根据镀银特质,采用cpu芯片编程,在刷镀过程中,实时在线显示镀层厚度。而目前采用的测厚仪是在槽镀完成之后,对镀层进行破坏或非破坏性测厚,不能在镀银过程中实时监测镀层厚度。现武汉材料保研究所有限公司已完成在线显厚刷镀银仪器的研制,该单位正准备申报国家专利。当前第1页12
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