本发明涉及一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法。
背景技术：
近年来，显示面板在人们生活中越发普及，性能越发强大。而作为显示面板制造行业的关键材料——ito靶材的用量也随之增大，而且对ito靶材的性能要求也逐渐提高。制备大尺寸、高密度、低中毒的高端靶材成为靶材厂家努力追求的目标。
ito靶材通常是由ito靶材坯体经脱脂、烧结而成。目前，ito靶材坯体的成型方法主要有两种：1)模压+冷等静压成型：将经过造粒处理的ito粉体在钢模具内干法预压成型得到一次坯体，再将其转移到冷等静压设备中进行成型，得到ito靶材坯体；2)注浆成型或粉浆浇筑成型：用ito粉体制备性质均匀的浆体，以压缩空气为压力介质，将浆料注入多孔模具，在注浆压力下将浆体中的大部分水分压滤到模具腔外，再经脱模、干燥，得到ito靶材坯体。
模压+冷等静压成型制备的ito靶材坯体密度均匀，通过后续致密化工序后容易获得高密度的ito烧结体，但压制成型容易造成靶材坯体上有残余应力，在后续致密化工序中容易发生变形，制备大尺寸的ito靶材坯体时容易出现裂纹、坯体分成等缺陷，且不能制备形状复杂的ito靶材坯体。
注浆成型或粉浆浇筑成型能够制备大尺寸、形状复杂的ito靶材坯体，不存在模压+加冷等静压成型的残余应力问题，在后续致密化工序中坯体不容易变形，不需要使用喷雾干燥机、大吨位压机和冷等静压机等昂贵的设备，但浆体对于所用ito粉体的性能要求高，而具备固含量高、粘度低、有利于注浆成型的浆体难以制备，且模具本身的材料容易脱落而污染ito靶材坯体，ito靶材坯体在干燥的过程中易产生裂纹或开裂，干燥时间长。
ito靶材坯体的干燥是制备ito靶材的一道重要工序，科学的干燥方法有利于消除注浆成型制备的ito靶材坯体在干燥过程中产生的裂纹、开裂等缺陷，并能够缩短干燥时间，降低不良率，提高生产效率。然而，很少有人对ito靶材坯体的干燥方法进行研究，现有的干燥方法根本无法在快速干燥的同时保证不造成干燥缺陷。例如：cn103787650a公开了一种制备ito靶材的方法，制备的ito靶材坯体需要先室温干燥3～6天，再20～30℃干燥4～7天，再80～150℃干燥2～3天，干燥时间长，效率低，干燥温度高，能耗大，且干燥过程中未对干燥环境的湿度进行控制，湿度容易受气候条件的影响，干燥进程处于一种不受控制的状态，很容易出现干燥缺陷。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法。
本发明所采取的技术方案是：
一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法，步骤如下：
1)将注浆成型得到的ito靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/s，干燥24～30h；
2)控制温度为30～50℃、相对湿度为80％～90％、干燥介质流速为1～2.4m/s，干燥10～
20h；
3)控制温度为50～80℃、相对湿度为40％～60％、干燥介质流速为1～2.5m/s，干燥2～
5h。
步骤1)所述ito靶材坯体由ito粉体、分散剂、粘结剂和水制备而成。
所述ito粉体、分散剂、粘结剂、水的质量比为1：(0.001～0.03)：(0.001～0.03)：(0.3～0.5)。
所述ito粉体的粒径为20～400nm。
所述分散剂为聚羧酸系分散剂、丙烯酸系分散剂中的至少一种。
所述粘结剂为丙烯酸树脂类粘结剂、聚乙烯醇类粘结剂中的至少一种。
步骤1)所述注浆成型的注浆压力为0.1～0.4mpa。
步骤1)所述ito靶材坯体的相对密度为58％～63％。
步骤1)所述垫板的材质为刚玉-莫来石、硅酸钙中的一种，表面粗糙度ra<8μm。
步骤1)～3)所述干燥介质为空气。
本发明的有益效果是：本发明具有干燥时间短、干燥温度低、能耗低等特点，提高了生产效率，且可以有效避免ito靶材坯体出现干燥缺陷。
1)本发明能够准确控制干燥过程中的干燥温度、相对湿度和干燥介质流速，可以根据干燥需要设定干燥程序；
2)本发明可以消除外界气候对干燥进程的影响，使得ito靶材坯体的干燥能够按照设定的程序进行；
3)本发明不受外界气候波动的影响，可以有效避免ito靶材坯体发生开裂；
4)本发明可以大幅度缩短干燥时间，降低了干燥温度，降低了干燥能耗，提高了生产效率；
5)本发明可以降低干燥后ito靶材坯体的平衡水分，可以减少ito靶材坯体中的水分在后续脱脂工序中对脱脂设备的影响。
具体实施方式
一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法，步骤如下：
1)将注浆成型得到的ito靶材坯体放在恒温恒湿房内的垫板上，控制温度为25～35℃、相对湿度为86％～96％、干燥介质流速为0.5～2m/s，干燥24～30h；
2)控制温度为30～50℃、相对湿度为80％～90％、干燥介质流速为1～2.4m/s，干燥10～
20h；
3)控制温度为50～80℃、相对湿度为40％～60％、干燥介质流速为1～2.5m/s，干燥2～
5h。
优选的，步骤1)所述ito靶材坯体由ito粉体、分散剂、粘结剂和水制备而成。
优选的，所述ito粉体、分散剂、粘结剂、水的质量比为1：(0.001～0.03)：(0.001～0.03)：(0.3～0.5)。
优选的，所述ito粉体的粒径为20～400nm。
优选的，所述分散剂为聚羧酸系分散剂、丙烯酸系分散剂中的至少一种。
优选的，所述粘结剂为丙烯酸树脂类粘结剂、聚乙烯醇类粘结剂中的至少一种。
优选的，步骤1)所述注浆成型的注浆压力为0.1～0.4mpa。
优选的，步骤1)所述注浆成型所采用的模具为树脂模具、石膏模具中的一种。
优选的，步骤1)所述ito靶材坯体的相对密度为58％～63％。
优选的，步骤1)所述垫板的材质为刚玉-莫来石、硅酸钙中的一种，表面粗糙度ra<8μm。
优选的，步骤1)所述垫板的抗折强度为30～70mpa，杨氏模量为45～60gpa，厚度为10～38mm。
优选的，步骤1)～3)所述干燥介质为空气。
下面结合具体实施例对本发明作进一步的解释和说明。
实施例1：
一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法，步骤如下：
1)将注浆成型得到的ito靶材坯体放在恒温恒湿房内的刚玉-莫来石垫板(抗折强度40mpa，杨氏模量50gpa，厚度30mm)上，控制温度为25℃、相对湿度为86％、空气流速为0.8m/s，干燥28h；
2)控制温度为47℃、相对湿度为80％、空气流速为1.2m/s，干燥13h；
3)控制温度为69℃、相对湿度为45％、空气流速为1.1m/s，干燥3h。
经测试，干燥结束后获得的ito靶材坯体无开裂、无裂纹、无变形，平衡水分为1.5％。
步骤1)所述ito靶材坯体的制备方法如下：将100质量份的ito粉体(粒径70～100nm)、2质量份的聚羧酸系分散剂和30质量份的去离子水混合，球磨20h，再加入0.6质量份的聚乙烯醇类粘结剂，超声(功率1kw)混合均匀，得到浆体，再将浆体以0.3mpa的压力注入石膏模具中，保压3h后脱模，得到ito靶材坯体。
实施例2：
一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法，步骤如下：
1)将注浆成型得到的ito靶材坯体放在恒温恒湿房内的刚玉-莫来石垫板(抗折强度40mpa，杨氏模量50gpa，厚度30mm)上，控制温度为30℃、相对湿度为91％、空气流速为0.5m/s，干燥27h；
2)控制温度为45℃、相对湿度为85％、空气流速为1.1m/s，干燥15h；
3)控制温度为75℃、相对湿度为44％、空气流速为1.1m/s，干燥2h。
经测试，干燥结束后获得的ito靶材坯体无开裂、无裂纹、无变形，平衡水分为1.4％。
步骤1)所述ito靶材坯体的制备方法如下：将100质量份的ito粉体(粒径70～100nm)、1质量份的聚羧酸系分散剂和40质量份的去离子水混合，球磨18h，再加入0.6质量份的聚乙烯醇类粘结剂，超声(功率1kw)混合均匀，得到浆体，再将浆体以0.27mpa的压力注入石膏模具中，保压3h后脱模，得到ito靶材坯体。
实施例3：
一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法，步骤如下：
1)将注浆成型得到的ito靶材坯体放在恒温恒湿房内的硅酸钙垫板(抗折强度40mpa，杨氏模量50gpa，厚度20mm)上，控制温度为35℃、相对湿度为96％、空气流速为0.8m/s，干燥28h；
2)控制温度为47℃、相对湿度为90％、空气流速为1.2m/s，干燥13h；
3)控制温度为69℃、相对湿度为45％、空气流速为1.1m/s，干燥3h。
经测试，干燥结束后获得的ito靶材坯体无开裂、无裂纹、无变形，平衡水分为1.5％。
步骤1)所述ito靶材坯体的制备方法如下：将100质量份的ito粉体(粒径70～100nm)、0.1质量份的聚羧酸系分散剂和50质量份的去离子水混合，球磨20h，再加入0.6质量份的聚乙烯醇类粘结剂，超声(功率1kw)混合均匀，得到浆体，再将浆体以0.29mpa的压力注入石膏模具中，保压3h后脱模，得到ito靶材坯体。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。