一种单晶炉晶棒定位装置的制作方法

文档序号:16315461发布日期:2018-12-19 05:27阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种单晶炉晶棒定位装置,包括上炉筒和定位装置,所述定位装置设有两个,且两个定位装置对称固定在上炉筒两侧,所述定位装置外侧固定有驱动装置,所述定位装置由定位壳、固定板、滑杆、丝杆、套筒和定位板组成,所述定位壳固定在上炉筒外壁上,且定位壳一侧与驱动装置固定,所述丝杆位于套筒内部,且套筒一端外侧与固定板固定,所述滑杆一端与上炉筒外壁固定,且另一端贯穿固定板并与固定板滑动连接,所述滑杆设有两个,本发明调节板通过调节弹簧可以在凸型槽内伸缩,满足对直径范围在正负2mm的之间的晶棒进行定位,在定位过程中更加有效的对晶棒起一个保护作用。

技术研发人员:杨光宇
受保护的技术使用者:锐捷芯盛(天津)电子科技有限公司
技术研发日:2018.09.26
技术公布日:2018.12.18
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