一种用于提取石墨坩埚的工具的制作方法

文档序号:15300946发布日期:2018-08-31 20:21阅读:989来源:国知局

本实用新型属于坩埚提取工具技术领域,特别涉及一种用于提取石墨坩埚的工具。



背景技术:

本世纪初,半导体技术发展迅速,国内大基金的支持下,整个产业链正在逐步完善,并向着产业制高点努力。随着成本的下降,如何提高生产效率,促进了整个材料供应体系的发展,热场越来越大,石墨结构的尺寸也越来越大。以前热场小,单纯靠人体力来搬运,随着石墨热场尺寸变大,重量也越来越大,如果靠人来搬运,对员工身体造成了极大的负荷,容易造成人员受伤,也对石墨部件安全造成了隐患,因为操作者不能做到轻拿轻放,在长时间的碰撞,会造成损伤,尤其对正常生产造成了隐患,是个不稳定的因素。

因此,设计一种借助机械设备,并且能够安全提取坩埚的工具是十分必要的。



技术实现要素:

本实用新型的目的是克服石墨坩埚搬运困难及搬运安全性差的缺陷,提供了一种能够借助吊装设备安全提取石墨坩埚的工具。

本实用新型提供的技术方案为:

一种用于提取石墨坩埚的工具,包括:

承托部,其套设在坩埚的外侧,用于承托所述坩埚;所述承托部包括:

多个承托环,承托环沿水平方向设置,多个承托环沿坩埚高度方向间隔一定距离套设在坩埚外侧;所述承托环由两个端部对接的半圆形承托板组成,所述半圆形承托板的内侧与坩埚的外壁紧密贴合;

纵梁,其沿竖直方向固定连接在所述半圆形承托板外侧的中部,使

两个纵梁对称设置在坩埚的两侧;

横梁,其沿坩埚的直径方向水平设置在所述坩埚的上方,所述横梁的两端可拆卸的连接在所述纵梁的上端;所述横梁的中部设有吊装连接件,以便于连接电动吊机。

优选的是,所述半圆形承托板的两个端部均设有沿径向向外翻折的连接部,所述连接部上设有通孔。

优选的是,所述两个相对应的半圆形承托板之间通过所述通孔采用螺栓连接。

优选的是,所述半圆形承托板的内侧设有防滑花纹。

优选的是,所述纵梁上部设有提拉孔,所述横梁两端分别插入对应的纵梁的提拉孔中。

优选的是,所述吊装连接件焊接在所述横梁上,所述吊装连接件设有吊装孔。

优选的是,所述横梁的两端设有凸起部,所述凸起部位于所述吊装连接件同侧,两个凸起部分别位于两个提拉孔的外侧。

优选的是,所述承托环为两个。

优选的是,所述吊装孔的直径为40~45mm。

优选的是,所述承托部及横梁均采用不锈钢304材质。

本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的用于提取石墨坩埚的工具,结构简单,能够借助吊装设备安全的提取石墨坩埚。

附图说明

图1为本实用新型所述的用于提取石墨坩埚的工具总体结构示意图。

图2为本实用新型所述的用于提取石墨坩埚的工具侧视图。

图3为本实用新型所述的半圆形承托板与纵梁连接示意图。

图4为本实用新型所述的横梁结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

如图1-4所示,本实用新型提供了一种用于提取石墨坩埚的工具,其包括承托部,其套设在坩埚110的外侧,用于承托所述坩埚110。所述承托部包括:多个承托环120沿坩埚高度方向间隔一定距离套设在坩埚110的外侧;每个承托环120水平设置,所述承托环120由两个端部对接的半圆形承托板121组成。在本实施例中,所述承托环120为两个。所述半圆形承托板121的两个端部均设有沿径向向外翻折的连接部122,半圆形承托板121与连接部122连接处的上缘及下缘分别焊接加强筋124,以保证两个半圆形承托板121的连接强度。所述连接部122上设有通孔123,两个相对应的通孔中123设有螺栓125,并通过所述螺栓125将两个半圆形承托板121连接成一个整体,可以通过调节螺栓125上的螺母位置,微调承托环120的尺寸,使半圆形承托板121的内侧与坩埚110的外壁紧密贴合;以保证提取坩埚时的安全性;同时,也便于将坩埚从所述提取工具中取出。优选的是,所述半圆形承托板121的内侧设有防滑花纹,以增大承托部与坩埚之间的摩擦力,进一步保证提取坩埚的安全性。

所述半圆形承托板120外侧的中部固定连接纵梁130,纵梁130沿竖直方向设置,使两个纵梁130对称设置在坩埚110的两侧;纵梁130的下端与位于下侧的半圆形承托板121的下缘齐平,所述纵梁130及半圆形承托板121均采用不锈钢304材质,纵梁130的内侧焊接在半圆形承托板121的外壁上。纵梁121的上端与坩埚110的上缘之间留有一定空间,纵梁130的上端设有提拉孔131。

横梁140,其沿坩埚110的直径方向水平设置在所述坩埚110的上方,所述横梁140的两端可拆卸的连接在所述纵梁130的上端。所述横梁140的中部设有吊装连接件,以便于连接电动吊机。在本实施例中,所述吊装连接件141焊接在所述横梁上,吊装连接件141上设有吊装孔142,所述吊装孔142的直径为40~45mm。横梁140通过所述吊装孔142连接电动吊机。所述横梁140的两端分别设有凸起部143,所述凸起部143位于所述吊装连接件141的同侧,横梁140的两端分别插入两个纵梁130的提拉孔131中,两个凸起部143分别位于两个提拉孔131的外侧,两个凸起部143起到限位及保护作用,以防止提取坩埚过程中横梁140与纵梁130之间相对滑动,导致坩埚脱落。所述横梁140采用不锈钢304材质。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

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