本实用新型涉及一种坩锅托盘温度泵。
背景技术：
单晶蓝宝石是在高温与高真空的环境下生长，高温与高真空的环境下长晶炉腔体内的材质会释放出一些物质，称为蒸镀物。蒸镀物主要有氧化铝（生产原料）、钨、钼、氧化钨和氧化钼等热场材料。蒸镀物大部份会由真空泵吸出腔体外，但还是有部份残留在腔体内，当炉体降温后，蒸镀物会蒸镀在腔体的各部位上，每次重新使用炉子时都需要清理。
图1为一长晶炉腔体内的局部示意图，在钨坩锅10底部会有一个钼托盘20，功用是托着钨坩锅10。钼托盘20一端与钨坩锅10接触，另一端与腔体30接触。腔体30底部有水冷设计，可以带走钼托盘20的热量，形成了在腔体30内的一个冷点。
如图2所示，钨坩锅10只是放置在钼托盘20上，纯粹是钨坩锅10底面和钼托盘20做面对面接触。但在受热的过程中两个平面并不可能完全平整的接触，蒸镀物就会渗入这个平面的缝隙（如图中箭头所示）。当炉体冷却后蒸镀物会残留在这个平面上的，使钨坩锅10和钼托盘20粘接在一起，无法分离。由于接触面在底部，在分离粘接在钼托盘20的钨坩锅10时，只能敲打钨坩锅10，靠撞击的力量去分离粘接面，这样的撞击力量破坏性强，而且耗费工时，易造成钨坩锅10破裂。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种坩锅托盘温度泵，以减少蒸镀物渗入接触面。
为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：
一种坩锅托盘温度泵，设置在坩锅底面和托盘的接触面下端的支撑柱上，在支撑柱上开小孔，利用温度差自然形成一个吸气泵。
所述支撑柱上开两排直径5mm的斜的小孔，支撑柱一圈有８个斜的小孔。
采用上述方案后，本实用新型在实际应用中，当接触面存有缝隙时，因为托盘是一个冷点，此处的压力相对外部低，形成了一个吸气的现象，使蒸镀物易渗入接触面，本实用新型利用巴斯卡定理，在托盘接触面的下端制造一个吸气泵，把周边的蒸镀物吸进，并在接触面周围形成一个被隔离区，减少蒸镀物渗入接触面。
附图说明
图1为一长晶炉腔体内的局部示意图；
图2为传统钨坩锅与钼托盘的安装示意图；
图3是本实用新型的结构示意图。
标号说明
钨坩锅10，钼托盘20，腔体30；
坩锅1，托盘2，支撑柱21，小孔22。
具体实施方式
如图3所示，本实用新型的一种坩锅托盘温度泵，设置在（钨）坩锅1底面和（钼）托盘2的接触面下端的支撑柱21上，在支撑柱21上开小孔22，因为托盘2支撑柱21下端的温度比接触面低，利用温度差自然形成一个吸气泵。具体地，支撑柱21上开两排直径5mm的斜的小孔22，支撑柱21一圈有８个斜的小孔22。
这样，气态蒸镀物被吸入小孔22内后，会冷却成为固态，附着在孔壁上，而维持其低压状态（维持吸气的能力）。只要不定时的清理小孔22里的附着物，就可以维持这温度泵的功能。
本实用新型是依据托盘2支撑柱21内的温度梯度，在较低温的地方，利用巴斯卡定理制造一组温度泵，吸收附近的蒸镀物，没有增加任何机械结构或装置，成本低，维护简单。在吸气的过程中，流体对坩锅1和托盘2接触面形成一个隔离蒸镀物的效应，有效减少蒸镀物渗入接触面。