本实用新型属于多晶硅技术领域,特别涉及一种生产太阳能用多晶硅铸锭使用的隔热笼。
背景技术:
随着各家硅片厂商高效多晶硅片效率水平差异逐渐缩小,在没有新的技术突破前提下,只能寄望于在原有高效多晶基础上进行技术革新;而DSS高效多晶炉内的热场结构直接影响了高效多晶硅片的产品质量,进行热场结构的更新是目前提升硅片效率的有效方法;产品、制程存在的问题:由于隔热笼内下侧区域温度较高(通过测温环数据获得),随着隔热笼升降,散热速度较慢,而硅锭中的金属、位错等缺陷受温度的影响较大,需要对热场内部结构进行设计,加快散热速度。
技术实现要素:
本发明的目的是提供一种多晶硅铸锭炉用隔热笼,以形成温度梯度,减少底部红区以及位错缺陷。
为实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种多晶硅铸锭炉用隔热笼,包括隔热笼本体,隔热笼本体内侧设置有保温板,包括上部的上保温板,下部的下保温板,左侧和右侧的左保温板和右保温板,所述左保温板、右保温板为从上到下厚度递减的阶梯状,所述下保温板为从右到左厚度递减的阶梯状。
所述左保温板、右保温板为两阶阶梯状。
所述下保温板为两阶阶梯状。
两阶阶梯的厚度依次为35-50mm、30-40mm。
所述左保温板、右保温板为三阶阶梯状。
所述下保温板为三阶阶梯状。
三阶阶梯的厚度依次为45-50mm、35-45mm、20-35mm。
有益效果:本实用新型通过将隔热笼内局部温度较高区域的保温板设置为阶梯状,使其形成温度梯度,减少底部红区以及位错缺陷;具有以下优点:
1、下部长晶结束后,加速下部散温,金属不易扩散;
2、位错缺陷受温度影响不易进行滑移,减少硅锭内部位错。
附图说明
图1为本实用新型的实施例1的结构示意图;
图2为本实用新型的实施例2的下保温板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做更进一步的解释。
如图1和2,本实用新型的一种多晶硅铸锭炉用隔热笼,包括隔热笼本体1,隔热笼本体1内侧设置有保温板,包括上部的上保温板2,下部的下保温板3,左侧和右侧的左保温板4和右保温板5,左保温板4、右保温板5为从上到下厚度递减的阶梯状,下保温板3为从右到左厚度递减的阶梯状。
下面结合几个具体实施例对本发明做进一步说明。
实施例1
如图1所示,本实施例的多晶硅铸锭炉用隔热笼,包括隔热笼本体1,隔热笼本体1内侧设置有保温板,包括上部的上保温板2,下部的下保温板3,左侧和右侧的左保温板4和右保温板5,左保温板4、右保温板5为从上到下分为厚度递减的两阶阶梯状,两阶阶梯的长度相同,厚度分别为D1、D2,优选的,D1=45mm、D2=35mm;下保温板3为从右到左厚度递减的两阶阶梯状,两阶阶梯的长度相同,厚度分别为D1、D2,优选的,D1=45mm、D2=35mm。
实施例2
本实施例的多晶硅铸锭炉用隔热笼,包括隔热笼本体1,隔热笼本体1内侧设置有保温板,包括上部的上保温板2,下部的下保温板3,左侧和右侧的左保温板4和右保温板5,左保温板4、右保温板5为从上到下分为厚度递减的三阶阶梯状,三阶阶梯的长度相同,厚度分别为45mm、40mm、35mm;下保温板3为从右到左厚度递减的三阶阶梯状,三阶阶梯的长度相同,厚度分别为D1’、D2’、D3’,优选的,D1’=45mm、D2’=40mm、D3’=35mm。
阶梯状的左保温板4、右保温板5、下保温板3将会使保温板的保温性能发生变化,从而使热场内下左部的温度形成一个梯度。本实用新型的多晶硅铸锭炉用隔热笼通过阶梯状的左保温板4、右保温板5、下保温板3降低了原本温度较高处的保温性能,从而使热场内的整个温度更加均匀。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。