长晶炉的制作方法

文档序号:15865726发布日期:2018-11-07 20:29阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种长晶炉,其特征在于,包括:

炉体;

护板箱,其设置于所述炉体中;

坩埚,其设置于所述护板箱中;

进气管,其自所述炉体外伸入至所述炉体内并通过开设于所述护板箱上的进气孔与所述护板箱的内部连通;

排气管,其自所述炉体外伸入至所述炉体内并通过开设于所述护板箱上的排气孔与所述护板箱的内部连通,所述排气管位于所述炉体外的一端连接有真空泵。

2.根据权利要求1所述的长晶炉,其特征在于,所述进气管和所述排气管均自所述炉体的顶部伸入至所述炉体中。

3.根据权利要求1所述的长晶炉,其特征在于,所述护板箱由侧板、底板以及顶板可拆卸的围成;其中:

所述进气孔和所述排气孔均开设在所述顶板上。

4.根据权利要求3所述的长晶炉,其特征在于,所述炉体的内壁与所述护板箱之间设置有隔热毡。

5.根据权利要求4所述的长晶炉,其特征在于,所述隔热毡包括位于所述顶板上方的上隔热毡、位于所述底板的下方的下隔热毡、位于所述侧板外侧的侧隔热毡。

6.根据权利要求5所述的长晶炉,其特征在于,所述侧隔热毡与所述侧板之间还设置有加热板。

7.根据权利要求3所述的长晶炉,其特征在于,所述顶板为一个或者叠置的两个。

8.根据权利要求1所述的长晶炉,其特征在于,所述排气管由石墨材料制成或者由陶瓷材料制成。

9.根据权利要求1所述的长晶炉,其特征在于,所述排气管具有多个支路,每个支路均与所述护板箱内部连通。

10.根据权利要求2所述的长晶炉,其特征在于,所述排气管的下端伸入至所述排气孔或者位于所述排气孔的上方。

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