一种多晶硅铸锭炉坩埚的制作方法

本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，具体为一种多晶硅铸锭炉坩埚。

背景技术：

多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产,它采用先进的多晶硅定向凝固技术,将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶,从而达到太阳能电池生产用多晶硅品质的要求，是一种适用于长时间连续工作,高精度、高可靠性、自动化程度高的智能化大生产设备。

石墨坩埚时多晶硅铸锭炉中必不可少的部件，主要用来盛放石英坩埚。常用的石墨坩埚为三瓣埚，但是现有的三瓣埚组装困难，组装后受高温和载重后易分离，导致石英坩埚受热不稳定，影响多晶硅生产质量。

为解决上述问题，因此我们提出一种多晶硅铸锭炉坩埚。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种多晶硅铸锭炉坩埚，为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚，包括三个结构相同的埚瓣和座台，座台由底座和凸台一体化组成，凸台位于底座上表面中心位置且呈圆柱状，三个所述埚瓣拼合围在凸台的外表面形成一个整体坩埚，埚瓣的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽，相邻来那个埚瓣贴合的侧边榫槽内部插接有插接板。

作为本实用新型的一种优选实施方式，底座的上表面为内凹的球面结构，且与拼合后的坩埚底面吻合。

作为本实用新型的一种优选实施方式，埚瓣的底面开设有插接孔，底座的上表面一体化固定有与插接孔对应的插接柱。

作为本实用新型的一种优选实施方式，底座的底面设置有内凹槽。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：通过设置座台并在埚瓣和底座之间设置插接柱和插接孔，便于将埚瓣对合拼接在座台上，降低组装难度，提高组装稳定性，并且在埚瓣之间设置榫槽和起到榫卯作用的插接板，使得组装后的坩埚强度提高，结构更加稳定。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型一种多晶硅铸锭炉坩埚的总装结构俯视图

图2是图1中的A-A截面结构示意图。

图中：1-埚瓣；2-座台；3-插接板；4-底座；5-凸台；6-插接孔；7-插接柱；8-内凹槽；9-榫槽。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

如图1-2所示，一种多晶硅铸锭炉坩埚，包括三个结构相同的埚瓣1和座台2，座台2由底座4和凸台5一体化组成，凸台5位于底座4上表面中心位置且呈圆柱状，三个所述埚瓣1拼合围在凸台5的外表面形成一个整体坩埚，埚瓣1的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽9，相邻来那个埚瓣1贴合的侧边榫槽9内部插接有插接板3，埚瓣1的底面开设有插接孔6，底座4的上表面一体化固定有与插接孔6对应的插接柱7。

本实施例中，三瓣坩埚在进行组装时首先将底座4固定在坩埚托盘上，底座4下表面的内凹槽8用来插套在坩埚托盘上的插杆，这样使得石墨坩埚与坩埚托盘之间连接更稳固，将埚瓣1沿凸台5走向下移并使得埚瓣1底部的插接孔6与底座4上的插接柱7配合，将三个埚瓣1对合拼接在座台4上形成一个整体的石墨坩埚，降低组装难度，提高组装稳定性，三个埚瓣1组合完成后，在埚瓣1之间的榫槽9中插入插接板3，插接板3起到榫卯作用，使得组装后的坩埚强度提高，结构更加稳定。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。