一种化学水浴沉积用反应槽的制作方法

本实用新型涉及化学水浴沉积的技术领域，尤其涉及一种化学水浴沉积用反应槽。

背景技术：

化学水浴沉积法是一种有效的沉积方法，应用在较薄的硫化镉层或替代缓冲物质，例如沉积在玻璃基底上的硫化锌。因此，化学水浴沉积法是生产CIGS或CdTe薄膜太阳能电池的重要步骤。目前化学水浴沉积所使用的反应槽的内壁为平坦的塑料材质，进行化学水浴沉积时，先于反应槽内加入化学反应液，接着将玻璃放置于反应槽内，并与反应槽内的化学反应液进行反应，以于玻璃上沉积薄膜。完成薄膜沉积后，先将反应槽内的化学反应液排出，在化学反应液排出的过程中，玻璃向外侧斜，玻璃容易与湿润的平坦内壁贴合，并与内壁之间形成真空或半真空吸附状态，在天车夹爪夹力恒定的情况下，夹爪夹取玻璃的夹力小于玻璃与内壁间的吸附力，导致夹爪无法顺利将玻璃从反应槽内取出，导致夹爪取片的失败率增加。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供一种化学水浴沉积用反应槽，以解决玻璃容易与反应槽的槽壁贴合，使玻璃与反应槽的内壁之间形成真空或半真空吸附状态，导致夹爪取片的失败率增加的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

提供了一种化学水浴沉积用反应槽，该反应槽的内壁设有凸起结构。

在本实用新型实施例中，通过于反应槽的内壁设置凸起结构，解决了玻璃与反应槽的内壁贴合而产生真空或半真空吸附状态，便于夹爪将玻璃从反应槽内夹出，降低了生产故障率，提高生产效率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型第一实施例的反应槽的剖面图。

图2是本实用新型第一实施例的反应槽的内壁的示意图。

图3是本实用新型第二实施例的反应槽的内壁的剖面图。

图4是本实用新型第三实施例的反应槽的内壁的示意图。

图5是本实用新型第四实施例的反应槽的内壁的示意图。

图6是本实用新型第五实施例的反应槽的内壁的示意图。

图7是本实用新型第六实施例的反应槽的内壁的示意图。

图8是本实用新型第七实施例的反应槽的内壁的示意图。

图9是本实用新型第八实施例的反应槽的内壁的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，其是本实用新型第一实施例的反应槽的剖面图；如图所示，本实施例提供一种化学水浴沉积用反应槽1，本实施例的反应槽1的内壁10具有凸起结构11。本实施例的反应槽1于使用时，先于反应槽1内加入化学反应液，待沉积的玻璃放置反应槽1并与化学反应液进行反应。待玻璃完成沉积后，化学反应液从反应槽1内排出，此时位于反应槽1内的玻璃会往反应槽1的内壁倾斜，凸起结构11支撑玻璃，避免玻璃与反应槽1的内壁贴合。换句话说，通过凸起结构11避免玻璃与反应槽1的内壁之间形成真空或半真空吸附状态，如此玻璃容易从反应槽1内取出。

请一并参阅图2，其是本实用新型第一实施例的反应槽的内壁的示意图；如图所示，本实施例的凸起结构11包括多个凸点111，多个凸点111间隔设置于反应槽1的内壁10。在本实施例中，凸点111的数量为八个，每一个凸点111的中心至相邻的凸点111的中心的距离均相同，以均匀分布于反应槽1的内壁10。每一个凸点111为半球体，其截面形状为半圆形。每一个凸点111从反应槽1的内壁10凸出的高度根据反应槽1的宽度而定，根据目前反应槽1的宽度，每一个凸点111从反应槽1的内壁10突出的高度小于2mm。本实施例的凸点111从反应槽1的内壁10凸出的高度为1.5mm。

请参阅图3，其是本实用新型第二实施例的反应槽的内壁的剖面图；如图所示，本实施例的凸起结构11的凸点111的截面形状的三角形，凸点111为角锥体或圆锥体。请参阅图4，其是本实用新型第三实施例的反应槽的内壁的剖面图；如图所示，本实施例的凸起结构11的凸点111的截面形状的矩形，凸点111为角柱体。由上述可知，本实用新型的凸起结构11包括多个凸点111，每一个凸点111的截面形状为半圆形、三角形、矩形、梯形或异形体，每一个凸点111为半球体、圆锥体、角锥体或异形体。

请参阅图5，其是本实用新型第四实施例的反应槽的内壁的示意图；如图所示，本实施例的凸起结构11包括多个凸条112，多个凸条112间隔设置于反应槽1的内壁10，本实施例的多个凸条112间隔排成一列于反应槽1的内壁10，每一个凸条112的截面形状为半圆形、三角形、矩形、梯形或异形体。请参阅图6，其是本实用新型第五实施例的反应槽的内壁的示意图；如图所示，本实施例的凸条112的排列方式与第四实施例的凸条的排列方式不同，本实施例的多个凸条112间隔排成一行于反应槽1的内壁10。请参阅图7，其是本实用新型第六实施例的反应槽的内壁的示意图；如图所示，本实施例的凸条112的排列方式与第四实施例的凸条的排列方式不同，多个凸条112成矩阵排列。请参阅图8，其是本实用新型第七实施例的反应槽的内壁的示意图；如图所示，本实施例的凸条112的排列方式与第六实施例的凸条的排列方式不同，多个凸条112分成多个第一列11a及与多个第一列11a交错排列的多个第二列11b，第一列11a的多个凸条112与第二列11b的多个凸条112交错排列，也就是第二列11b的凸条112对应第一列11a的二个凸条112之间。

请参阅图9，其是本实用新型第八实施例的反应槽的内壁的示意图；如图所示，本实施例的凸起结构11包括多个环形凸条113，多个环形凸条113的尺寸不同，并间隔排列于反应槽1的内壁10，多个环形凸条113的中心重叠于同一点。当然多个环形凸条113的中心也可不重叠于同一点，于此不再详细说明。每一个环形凸条113的截面形状为半圆形、三角形、矩形、梯形或异形体。本实施例的环形凸条113为连续的，也可为不连续的，换句话说，环形凸条113可分为多段凸条，多段凸条间隔排列呈环形。

上述提供本实用新型的凸起结构11的多种实施态样，但凸起结构11不限于上述实施例，仅要将凸起结构11设置于反应槽1的内壁10，通过凸起结构11支撑放置于反应槽1的玻璃，避免玻璃与反应槽1的内壁10贴合而发生真空或半真空吸附状态，如此完成沉积的玻璃容易从反应槽1内取出。

综上所述，本实用新型提供一种化学水浴沉积用反应槽，其内壁设有凸起结构，其结构简单，成本低廉，解决了玻璃与反应槽的内壁贴合而产生真空或半真空吸附状态，便于夹爪将玻璃从反应槽内夹出，降低了生产故障率，提高生产效率。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本实用新型的保护之内。