一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置的制作方法

本实用新型属于升降设备技术领域，具体涉及一种用于半导体单晶炉中炉筒升降和旋转的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置。

背景技术：

单晶炉中炉筒内设置有对晶体生长提供热量的热场部件，在实际操作中，需要对中炉筒进行升降和旋转打开操作。现有技术多采用中炉筒单边提升手动旋转方式，其导向轴为两段式，零件刚性差，炉筒容易倾斜，并且手动旋转有人为因素，炉筒升降与旋转时容易造成里面的热场部件损坏。

技术实现要素：

本实用新型是为解决上述问题而进行的，目的在于提供一种能够在升降过程中进行导向防止左右偏摆摇晃，并且减少人工旋转打开时人为操作失误的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置。

为了达到上述目的，本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置具有如下技术特征：包括升降机构以及安装在升降机构上的旋转机构以及中炉筒安装机构。其中，升降机构包括减速升降机以及末端安装在减速升降机内的导向轴，导向轴的上端和中间部分分别安装在设置在单晶炉设备立柱上的上下轴承座内；旋转机构安装在导向轴上，包括旋转减速电机以及一端与该旋转减速电机的输出端相连接的传动机构；中炉筒安装机构包括安装在传动机构上端的提升架以及间隔设置在提升架前端部分上的两个中炉筒悬挂组件。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，减速升降机安装在减速升降机安装座上，该减速升降机安装座也安装在单晶炉设备立柱上。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，单晶炉设备立柱上分别设置有上下两个限位开关，上限位开关位于下轴承下端，下限位开关位于导向轴末端附近，导向轴上对应设置有限位撞块。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，旋转减速电机安装在旋转减速电机安装座上，旋转减速电机安装座上设置有旋转限位开关安装板以及旋转限位开关。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，传动机构为蜗杆式传动机构。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，中炉筒悬挂组件包括固定安装在提升架上的竖直挂钩、固定安装在竖直挂钩底端的水平连接座A以及固定安装在水平连接座A前侧端上并且抵接在中炉筒边沿下的水平连接座B。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，提升架为框架悬臂式提升架，包括分别安装在导向轴上的上杆和下杆以及至少两根将上杆和下杆连接在一起的竖直杆。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，旋转机构还包括线缆拖链，该线缆拖链一端固定在设备立柱上，另一端固定安装在旋转减速电机上。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置中，减速升降机为滚珠丝杆涡轮减速升降机。

实用新型的作用与效果

本实用新型提供的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置具有如下技术效果：

首先，由于升降机构中的导向轴为一体加工的整根轴，刚性好精度高，使得中炉筒不易发生倾斜，同时导向轴的上端和中间部分分别安装在设置在单晶炉设备立柱上的上下轴承座内，并与旋转机构中的传动机构连接，在旋转减速电机的带动下实现了导向轴的旋转。

其次，由于中炉筒安装机构包括安装在传动机构上端的提升架以及间隔设置在提升架前端部分上的两个中炉筒悬挂组件，提升架有助于提高中炉筒的提升平稳性，两个中炉筒悬挂组件在两端卡住中炉筒，有助于提高中炉筒的安装平稳性，在中炉筒进行升降和旋转过程中不会左右偏摆摇晃，从而严格避免了中炉筒倾斜致使筒内热场部件损坏的情况发生，也减少了人为操作错误。

附图说明

图1是本实用新型实施例中的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置的组装结构示意图。

1-减速升降机安装座；2-减速升降机；3-限位开关安装板；4-限位开关；5-限位撞块； 6-导向轴；7-下轴承座；8-旋转减速电机安装座；9-旋转减速电机；10-旋转限位开关安装板；11-旋转限位开关；12-传动机构；13-提升架；14-拖链；15-上轴承座；16-竖直挂钩； 17-水平连接座A；18-水平连接座B；19-中炉筒。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细描述。但下列实施例不应看作对本实用新型范围的限制。

图1是本实用新型实施例中的半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置的组装结构示意图。

如图1所示，半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置100包括三大部分：升降机构以及安装在升降机构上的旋转机构以及中炉筒安装机构。

升降机构包括减速升降机安装座1、减速升降机2、限位开关安装板3、限位开关4、限位撞块5、导向轴6、下轴承座7以及上轴承座15。

减速升降机安装座1、限位开关安装板3、下轴承座7以及上轴承座15均安装在图中未显示的单晶炉设备立柱上。减速升降机2安装在减速升降机安装座1上，其内安装有导向轴6，导向轴6的上端和中间部分分别安装在上轴承座15以及下轴承座7内。本实施例中，减速升降机2优选为滚珠丝杆涡轮减速升降机。

限位开关安装板3共两块，一块位于减速升降机2附近，另一块位于下轴承座7附近，相应的，限位开关4也为两个，分别安装在上下两块限位开关安装板上，起到行程限位保护作用。

导向轴6与两个限位开关4相对应的位置处分别设置有限位撞块5，在导向轴上下移动过程中，与限位开关4进行接触，保护系统正常运行。

旋转机构安装在导向轴6上，包括旋转减速电机安装座8、旋转减速电机9、旋转限位开关安装板10、旋转限位开关11、传动机构12以及线缆拖链14。

旋转减速电机安装座8安装在导向轴6上，其上安装有旋转减速电机安装座8和旋转限位开关安装板10，旋转减速电机安装座8上安装有旋转减速电机9，旋转限位开关安装板10上安装有旋转限位开关11；传动机构12与旋转减速电机9的输出端相连接，本实施例中，传动机构优选为蜗杆式传动机构，当然也可以选用其他形式的传动机构，在使用时根据实际情况选购安装即可，无需付出创造性的劳动。

线缆拖链14一端固定在设备立柱上，另一端固定在旋转减速电机9上，以保护线缆，使走线美观。

中炉筒安装机构包括安装在传动机构12上端的提升架13以及间隔设置在提升架前端部分上的两个中炉筒悬挂组件，将中炉筒19卡在中间。

两个中炉筒悬挂组件的结构相同，均包括固定安装在提升架13上的竖直挂钩16、固定安装在竖直挂钩底端的水平连接座A17以及固定安装在水平连接座A前侧端上并且抵接在中炉筒边沿下的水平连接座B18。该种结构形式既增加了中炉筒悬挂组件的强度和稳固性，又能够增强与中炉筒边沿之间的卡合度。

本实施例中，提升架13为框架悬臂式提升架，包括分别安装在导向轴上的上杆和下杆以及至少两根将上杆和下杆连接在一起的竖直杆。该框架悬臂式提升架有助于提高中炉筒的提升平稳性。

本实施例中，由于升降机构中的导向轴为一体加工的整根轴，刚性好精度高，使得中炉筒不易发生倾斜，同时导向轴的上端和中间部分分别安装在设置在单晶炉设备立柱上的上下轴承座内，并与旋转机构中的传动机构连接，在旋转减速电机的带动下实现了导向轴的旋转。

另外，由于中炉筒安装机构包括安装在传动机构上端的提升架以及间隔设置在提升架前端部分上的两个中炉筒悬挂组件，提升架有助于提高中炉筒的提升平稳性，两个中炉筒悬挂组件在两端卡住中炉筒，有助于提高中炉筒的安装平稳性，在中炉筒进行升降和旋转过程中不会左右偏摆摇晃，从而严格避免了中炉筒倾斜致使筒内热场部件损坏的情况发生，也减少了人为操作错误。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。