一种单晶炉用称重装置的制作方法

本实用新型涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉用称重装置。

背景技术：

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

一般的单晶炉都没有称重装置，无法准确的判断石英坩埚内硅料的剩余情况，容易造成石英坩埚内锅底硅料剩余量大、硅料浪费、拉晶成本高等现象。

技术实现要素：

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉用称重装置，在单晶炉作业过程中，采用称重装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的晶棒重量不能准确判断、晶棒生产成本高的现象；具体的说，在晶棒拉制过程中，通过称重装置可以确定晶棒拉制的重量，从而测算出石英坩埚内剩余硅料的重量，提高了拉晶的效率，降低晶棒拉制成本。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种单晶炉用称重装置，包括称重组件，称重组件包括称对称安装在籽晶腔体开口侧面的支柱，支柱下端由上至下依次设置有称重传感器、支架组件，支柱下端固定在籽晶腔体上，上端安装固定板；称重传感器上端连接固定板，下端连接支架组件；支架组件上安装有滑轮，滑轮上设置籽晶绳，籽晶绳由开口伸入所述的籽晶腔体内，籽晶腔体上还设置有用于罩在所述称重装置上的端盖，所述端盖与籽晶腔体之间密封配合。

作为上述方案的优选，支架组件包括与称重传感器固定连接的支架以及固定安装在所述支架上的连接板，连接板与所述支架之间具有间隔，间隔内设置滑轮。

作为上述方案的优选，还包括销轴，销轴一端与支架固定连接，另一端与连接板固定连接，且所述销轴的轴线方向水平，在所述销轴上设置由大轴承，大轴承内圈固定在销轴外壁上，外圈与所述滑轮内环壁固定连接。

作为上述方案的优选，支架上还固定安装有用于防止籽晶绳由滑轮上脱落的挡板。

作为上述方案的优选，固定板上设有阶梯状通孔，该阶梯状通孔包括上段孔、下段孔，上段孔直径大于下段孔直径，上段孔内设置轴承，锁紧轴穿过轴承、下段孔后固定连接称重传感器。

本实用新型的有益效果是：在单晶炉作业过程中，采用称重装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的晶棒重量不能准确判断、晶棒生产成本高的现象；

称重装置，减少人工晶棒拉制的时间和劳动强度，提高了控制的准确性；

称重装置，利用称重传感器实现晶棒测算的准确度，降低锅底料剩余量等因素对成本的影响，同时，因为其投入少，便于推广。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是称重装置的结构示意图；

图3是图2右视图；

图4是图2俯视图。

具体实施方式

下面结合实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。

如图1-4所示，一种单晶炉用称重装置，包括称重组件，称重组件包括称对称安装在籽晶腔体1开口侧面的支柱3，支柱下端由上至下依次设置有称重传感器10、支架组件，支柱下端固定在籽晶腔体上，上端安装固定板11；称重传感器上端连接固定板，下端连接支架组件；支架组件上安装有滑轮7，滑轮上设置籽晶绳，籽晶绳由开口伸入所述的籽晶腔体内。支架组件包括与称重传感器固定连接的支架以及固定安装在所述支架上的连接板9，连接板与所述支架之间具有间隔，间隔内设置滑轮。还包括销轴5，销轴一端与支架4固定连接，另一端与连接板9固定连接，且所述销轴的轴线方向水平，在所述销轴上设置由大轴承6，大轴承内圈固定在销轴外壁上，外圈与所述滑轮内环壁固定连接。支架上还固定安装有用于防止籽晶绳由滑轮上脱落的挡板8。固定板上设有阶梯状通孔，该阶梯状通孔包括上段孔、下段孔，上段孔直径大于下段孔直径，上段孔内设置轴承13，锁紧轴12穿过轴承、下段孔后固定连接称重传感器。

籽晶腔体上还设置有用于罩在所述称重装置上的端盖2，所述端盖与籽晶腔体之间密封配合，从而为称重装置提供真空保护。

拉晶过程中，滑轮上安装有籽晶绳，籽晶绳上悬挂晶棒对滑轮有向下的拉力，使得滑轮带动支架一起受向下的拉力，称重传感器受到拉力作用，将信号反馈给PLC，通过程序计算，可以准确的知道籽晶绳上悬挂晶棒的重量。

在上述方案中，滑轮为一个定滑轮。

对于本领域的技术人员来说，依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。