一种晶体炉观察窗的制作方法

文档序号:16970215发布日期:2019-02-26 18:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶体炉观察窗,设置在炉体顶部,其上部由炉体顶部向上伸出,其下部设置在所述炉体内部;其特征在于,所述观察窗包括:

用于将所述观察窗设置在炉体上的观察窗本体;

用于观察所述炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端,并位于炉体外侧;

用于隔离炉体内部与外界空间的上窗口片,其设置在观察窗本体上,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;

设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转结构设置在所述炉体顶部。

2.根据权利要求1所述观察窗,其特征在于,所述转盘上设置的观察窗口片数量为2-6个。

3.根据权利要求2所述观察窗,其特征在于,所述若干观察窗口片均布在转盘上。

4.根据权利要求1所述观察窗,其特征在于,所述旋转结构包括固定设置在所述炉体顶部上的转轴。

5.根据权利要求4所述观察窗,其特征在于,所述驱动装置为拉杆,所述拉杆设置在所述转轴上,并位于炉体外部。

6.根据权利要求4所述观察窗,其特征在于,所述驱动装置为驱动电机。

7.根据权利要求1所述观察窗,其特征在于,所述观察窗还包括设置在所述炉体内用于保护转盘装置防止其被挥发物污染的套筒。

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