一种晶体炉观察窗的制作方法

文档序号:16970215发布日期:2019-02-26 18:05阅读:来源:国知局
技术总结
一种晶体炉观察窗设置在炉体顶部,包括:用于将观察窗设置在炉体上的观察窗本体;用于观察炉体内晶体生长情况的观察口,其设置在观察窗本体顶端;其设置在观察窗本体上的上窗口片,位于所述观察口下方,并位于炉体外侧;设置在炉体内,通过旋转来更换观察窗口片的转盘装置,其包括用于观察炉体内晶体生长情况的若干观察窗口片、设置有若干观察窗口片的转盘、用于旋转所述转盘以更换观察窗口片的的旋转结构和用于驱动旋转结构旋转的驱动装置,所述转盘通过旋转结构设置在所述炉体顶部。本实用新型提供一种晶体炉观察窗,通过将若干观察窗口片设置在转盘上,在一个观察窗口片被挥发物污染后,旋转转盘即可实现观察窗口片的更换工作。

技术研发人员:刘景峰
受保护的技术使用者:北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
技术研发日:2018.07.13
技术公布日:2019.02.26

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