一种石英管加热闭管装置的制作方法

本实用新型涉及闭管扩散石英管封管装置技术领域，尤其涉及一种石英管加热闭管装置。

背景技术：

现有电子技术在硅片生产过程中，闭管扩散石英管封管时，通常是在敞开的空间范围内进行人工调节固定，这样虽然操作方便，便于调节，但是吸附在硅片表面及石英管内壁的会存在微量水汽，无法保证取保扩散状态一致，这样很难保证扩散结果受控。

授权公告号为：CN 205043658 U的专利公开了一种石英管闭管支架，包括夹具板、滑块、轨道板和支腿，夹具板上间隔设有两个或两个以上夹具，轨道板设于所述夹具板下方，滑块设于夹具板与轨道板之间，夹具板和轨道板通过滑块固定连接，支腿设于所述轨道板下方。夹具包括两个夹持板，两个夹持板之间设有弹簧和螺栓，弹簧套设在螺栓上。夹具板与轨道板之间设有定位杆，定位杆穿过夹具板并与夹具板螺纹连接。它还包括滑行杆、底板和弧形调节槽。该专利改变了现有石英管闭管过程中人工夹持的现象，解决石英管对嘴不准确情况的发生，实现灵活调节和关键部位定位问题，但是该专利没有解决硅片表面会存在微量水汽的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种石英管加热闭管装置，解决了现有技术中的硅片在真空铝扩散前进行抽真空时，硅片表面和石英管的内壁存在一定水汽的技术问题。

一种石英管加热闭管装置，包括底座、两块调节板、固定架和加热筒，所述调节板间隔安装在底座上，且调节板上安装有固定架，所述固定架上安装有加热筒。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述调节板上间隔开设有多个固定孔，所述固定架通过螺栓安装至所述调节板上，采用本步的有益效果是通过开设的多个固定孔，这样可以调节固定架在调节板上的位置，从而实现加热筒的位置的调节，方便加工。

进一步地，所述固定架为两个，所述固定架包括连接段、两个倾斜段和两个固定段，所述连接段两端分别安装在调节板上，且连接段两端分别连接有所述倾斜段，所述倾斜段上端安装有所述固定段，所述固定段与加热筒底部连接，采用本步的有益效果是通过对固定架进行设计，从而保证稳定的同时，也能够便于调节。

进一步地，所述加热筒包括外壳、内壳、保温层和加热棒，所述内壳、外壳均为筒状，且内壳和外壳内部设置有所述保温层，所述加热棒设置在内壳的内侧，采用本步的有益效果是通过加热棒进行加热，保证内壳形成的空腔内部具有一定的温度，这样能够减少硅片表面的水汽。

进一步地，所述内壳、外壳均有两个半圆筒状的壳体铰接而成开闭的壳体，采用本步的有益效果是保证内壳和外壳可开闭，这样便于放置石英管，从而扩大应用范围。

进一步地，所述外壳上设置有把手，采用本步的有益效果是通过把手可以方便翻开壳体，提高安全性。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种石英管加热闭管装置，利用两个固定架安装在调节板上，这样可以调节固定架之间的间距，提高实用性。

2.本实用新型添加了加热筒，利用加热筒可以实现恒温环境，可以能够保证石英管内部不会存在水汽。

3.本实用新型的加热筒是可开闭的，这样能够便于放置石英管，方便进行操作。

4.本实用新型结构简单，操作方便，且实用性高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种石英管加热闭管装置的结构示意图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种石英管加热闭管装置的调节板结构示意图；

附图标记：

1-底座；2-调节板；3-固定架；4-加热筒；

201-固定孔；202-螺栓；

301-连接段；302-倾斜段；303-固定段；

401-外壳；402-内壳；403-保温层；404-加热棒；405-把手。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定；

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例

如图1所示，本实用新型所提供的一种石英管加热闭管装置，包括底座1、两块调节板2、固定架3和加热筒4，所述调节板2间隔安装在底座1上，且调节板2上安装有固定架3，所述固定架3上安装有加热筒4；本实用新型中的调节板2为条状，间隔放置，在调节板2上安装有固定架3，这样固定架3之间的位置和调节板2相对于调节板2的位置可以进行调节；在固定架3之间安装有加热筒4，将石英管放置在加热筒4内部，这样能够实现石英管的恒温处理。

如图2所示，所述调节板2上间隔开设有多个固定孔201，所述固定架3通过螺栓202安装至所述调节板2上，通过开设的多个固定孔，这样可以调节固定架在调节板上的位置，从而实现加热筒的位置的调节，方便加工。

如图1所示，所述固定架3为两个，所述固定架3包括连接段301、两个倾斜段302和两个固定段303，所述连接段301两端分别安装在调节板2上，且连接段301两端分别连接有所述倾斜段302，所述倾斜段302上端安装有所述固定段303，所述固定段303与加热筒4底部连接，本实用新型设置的固定架3通过倾斜段302形成三角支撑，以此提高稳定性。

如图1所示，所述加热筒4包括外壳401、内壳402、保温层403和加热棒404，所述内壳402、外壳401均为筒状，且内壳402和外壳401内部设置有所述保温层403，所述加热棒404设置在内壳402的内侧，所述内壳402、外壳401均有两个半圆筒状的壳体铰接而成开闭的壳体；本实用新型中的加热筒4分成两部分，这两部分铰接形成可开闭，这样打开时，可以将石英管放置与内壳402形成的筒体内，对加热棒404通电，便于对其进行加热处理。

如图1所示，所述外壳401上设置有把手405，通过把手可以方便翻开壳体，提高安全性。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。