1.一种三氯硅烷的制造方法，其特征在于，
在所述三氯硅烷的制造系统中，使用无滑动阀对金属硅粉体所流通的流路进行开闭，所述无滑动阀具有设置为能够相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，
使所述金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷。
3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，
所述流路的一部分为导入流路，从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的外部向所述反应容器中导入所述金属硅粉体；并且
使用所述无滑动阀对所述导入流路进行开闭。
4.根据权利要求2或3所述的制造方法，其特征在于，
所述流路的一部分为导出流路，供从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的下部取出的所述金属硅粉体流通；
所述导出流路位于所述反应容器与将从所述反应容器的下部取出的所述金属硅粉体加以收纳的收纳槽之间；并且
使用所述无滑动阀对所述导出流路进行开闭。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的制造方法，其特征在于，
所述流路的一部分为排出流路，供从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的上部排出的所述金属硅粉体流通；
所述排出流路位于所述反应容器与将所述金属硅粉体去除的过滤器之间；并且
使用所述无滑动阀对所述排出流路进行开闭。
6.根据权利要求2至4中任一项所述的制造方法，其特征在于，
所述流路的一部分为排出流路，供从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的上部排出的所述金属硅粉体流通；
所述排出流路位于将所述金属硅粉体去除的过滤器与将由此过滤器所去除的所述金属硅粉体加以收纳的收纳槽之间；并且
使用所述无滑动阀对所述排出流路进行开闭。
7.一种三氯硅烷的制造装置，其特征在于包括：
配管，供金属硅粉体流通；以及
无滑动阀，具有设置为能够相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体；并且
所述无滑动阀在所述三氯硅烷的制造系统中设置于所述配管，对所述配管的流路进行开闭。
8.根据权利要求7所述的制造装置，其特征在于，
所述无滑动阀具有所述阀体与所述阀座进行金属接触的构造。