三氯硅烷的制造方法及三氯硅烷的制造装置与流程

本发明涉及一种三氯硅烷的制造方法及三氯硅烷的制造装置。

背景技术：

高纯度的三氯硅烷(tcs、sihcl3)用于制造作为半导体及太阳能电池的材料来使用的多晶硅。三氯硅烷例如经过以下的反应路径而获得。首先，使金属硅粉体(si)与氯化氢(hcl)进行反应。在此情况下，作为主反应，如式(1)所示生成三氯硅烷，但作为副反应，如式(2)所示产生四氯硅烷(stc、sicl4)。四氯硅烷回收后再利用，如式(3)所示转化为三氯硅烷。另外，还存在不使用氯化氢，而是通过式(3)的反应来制造三氯硅烷的情况。

si+3hcl→sihcl3+h2(1)

si+4hcl→sicl4+2h2(2)

3sicl4+2h2+si→4sihcl3(3)

从进行所述反应的反应装置中回收的反应产物中，包含包括三氯硅烷、低沸点硅烷及四氯硅烷等的氯硅烷化合物。在三氯硅烷的制造系统中，对金属硅粉体所流通的配管设置阀。例如，在专利文献1中公开了金属硅粉体经由阀而向导入配管内导入。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“特开2009-120468号公报”

技术实现要素：

发明所要解决的问题

然而，在上述现有技术中，在设置于金属硅粉体所流通的配管上的阀中，在金属硅粉体进入阀体与阀座之间的情况下，存在阀座容易损伤，容易发生内漏的问题。具体而言，在阀体旋转时进入阀体与阀座之间的金属硅粉体有时会损伤阀座。通过阀座受损，而容易发生内漏。

本发明的一方式的目的为防止由于金属硅粉体而损伤阀座，而防止内漏的发生。

解决问题的技术手段

为了解决所述问题，本发明的一方式的制造方法为一种三氯硅烷的制造方法，在所述三氯硅烷的制造系统中，使用无滑动阀对金属硅粉体所流通的流路进行开闭，所述无滑动阀具有设置为能相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体。

本发明的一方式的制造装置为一种三氯硅烷的制造装置，包括金属硅粉体所流通的配管、以及无滑动阀，所述无滑动阀具有设置为能相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体，并且所述无滑动阀在所述三氯硅烷的制造系统中设置于所述配管上，对所述配管的流路进行开闭。

发明的效果

根据本发明的一方式，能够防止由于金属硅粉体而损伤阀座，而防止内漏的发生。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1的制造装置的构成的一例的示意图。

图2的(a)～(d)是表示图1所示的制造装置所包括的无滑动阀关闭的情况下的无滑动阀的运行的图。

图3的(a)～(d)是表示图1所示的制造装置所包括的无滑动阀打开的情况下的无滑动阀的运行的图。

图4是表示本发明的实施方式2的制造装置的构成的一例的示意图。

具体实施方式

[实施方式1]

(制造装置1的结构)

图1是表示本发明的实施方式1的制造装置1的结构的一例的示意图。在本说明书中，制造装置1只要是使用金属硅粉体来制造三氯硅烷的装置，则无任何限定。作为制造装置1，例如可列举流化床式反应装置。通过使用流化床式反应装置，可连续地供给金属硅粉体及氯化氢气体，来连续地合成三氯硅烷。在金属硅粉体与氯化氢气体的反应中，由于金属硅的使用量多，故而金属硅粉体夹入设置于金属硅粉体所流通的流路上的阀中，由此容易在阀座上产生损伤。因此，通过在金属硅粉体所流通的流路中设置无滑动阀，而在金属硅粉体与氯化氢气体的反应中，特别明显地发挥抑制所述损伤的这一由本发明的一方式所带来的效果。

此外，本说明书中只要未特别记载，则表示数值范围的“a～b”意指“a以上(包含a且大于a)b以下(包含b且小于b)”。另外，以下，作为一例，图1中列举使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷的装置来进行说明，但除此以外，还可使用利用金属硅粉体来生成三氯硅烷的装置。

本说明书中，所谓“金属硅粉体”，意指冶金制金属硅、硅铁、或多晶硅等包含金属状态的硅元素的固体物质，使用公知的物质而无任何限制。另外，这些金属硅粉体中也可包含铁化合物等杂质，对此杂质的成分及含量并无特别限制。所述金属硅粉体通常是以平均粒径为150μm～350μm左右的微细粉末的形态来使用。

制造装置1如图1所示，包括：压缩机2、压缩机11、反应容器3、冷却器4、冷却器7、冷却器9、过滤器5、收纳槽6、热媒滚筒8、冷凝器10、蒸馏塔13、以及无滑动阀b1～无滑动阀b4。制造装置1所具备的这些构成要素相互由配管来连接。

另外，制造装置1具备金属硅粉体所流通的配管来制造三氯硅烷。所谓金属硅粉体所流通的配管是指在三氯硅烷的制造系统中金属硅粉体所流通的流路的配管。所谓金属硅粉体所流通的流路的配管例如为后述的导入流路f1、导出流路f2、排出流路f31、以及排出流路f32的配管。所谓三氯硅烷的制造系统是表示制造三氯硅烷的制造装置整体，例如表示制造装置1的整体。

在使用制造装置1的三氯硅烷的制造方法中，在三氯硅烷的制造系统中，使用无滑动阀b1～无滑动阀b4对金属硅粉体所流通的流路进行开闭。在三氯硅烷的制造系统中，所谓金属硅粉体所流通的流路例如为后述的导入流路f1、导出流路f2、排出流路f31、以及排出流路f32。

压缩机2设置于氯化氢气体所流通的配管上，将在此配管的内部流通的氯化氢气体压缩，将氯化氢气体供给至反应容器3。反应容器3将从外部供给的金属硅粉体及氯化氢气体加以收纳，使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷。

对反应容器3所具有的形状(换言之，反应容器3所具有的侧壁的形状)并无特别限定。例如，反应容器3中包围流动层(未图示)的侧壁可以是与反应容器3的高度方向正交的横截面的截面积为一定的形状(未图示)，也可以是朝向上方变大的锥形形状(未图示)。例如，在从气体供给口至流动层的上表面为止的高度的至少80％以上的范围内，侧壁也可以是与反应容器3的高度方向正交的横截面的截面积朝向上方变大的锥形形状。就能够降低侵蚀的风险，并且能够防止局部的温度上升的观点而言，反应容器3所具有的形状优选为锥形形状。

在从反应容器3的外部向反应容器3中导入金属硅粉体的导入流路f1的配管上，设置无滑动阀b1。无滑动阀b1如图2所示，具有阀杆31、阀杆32、阀体33、阀座35、阀座36及主体部40。无滑动阀b1对导入流路f1进行开闭。导入流路f1在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。

由于金属硅粉体的粒径小，因此即便将现有的阀的滑动部尽可能减小，在阀的滑动时金属硅粉体也会进入，阀座受到由金属硅粉体所引起的损伤。因此，优选为使用不存在滑动部的无滑动阀b1。

由此，当在从反应容器3的外部向反应容器3中导入金属硅粉体的导入流路f1中关闭无滑动阀b1时，能够减少由于金属硅粉体夹入而引起的阀座35、阀座36的损伤。因此，能够降低无滑动阀b1的更换频率，从而能够降低无滑动阀b1的更换所花费的成本。尤其在使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷的反应中，由于金属硅的使用量多，故而设置于导入流路f1上的阀的开闭频率增多。因此，通过对导入流路f1设置无滑动阀b1，则特别显著地发挥在使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷的反应中，抑制阀座35、阀座36的损伤这一由本发明的一方式带来的效果。此外，后文对无滑动阀b1的运行的详情进行说明。

在反应容器3的内部设置有使热媒流通的热媒管15。热媒管15将冷却器7与热媒滚筒8连接。冷却器7使在热媒管15的内部流通的热媒的温度下降，热媒滚筒8储存热媒。

在从反应容器3的下部取出的金属硅粉体所流通的导出流路f2的配管上，设置无滑动阀b2。无滑动阀b2对导出流路f2进行开闭。导出流路f2位于反应容器3与将从反应容器3的下部取出的金属硅粉体加以收纳的收纳槽6之间。导出流路f2在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。

由此，当在从反应容器3的下部取出的金属硅粉体所流通的导出流路f2中，将无滑动阀b2关闭时，能够减少由于金属硅粉体进入而引起的阀座的损伤。因此，能够降低无滑动阀b2的更换频率，从而能够降低无滑动阀b2的更换所花费的成本。尤其在使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷的反应中，由于金属硅的使用量多，故而从反应容器3的下部取出的金属硅粉体的量增多。因此，通过在导出流路f2中设置无滑动阀b2，则特别显著地发挥在使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷的反应中，抑制阀座的损伤这一由本发明的一方式带来的效果。

从反应容器3的上部排出的金属硅粉体所流通的排出流路f3是从反应容器3至收纳槽6为止的流路。在排出流路f3中的排出流路f31的配管上设置无滑动阀b3。无滑动阀b3对排出流路f31进行开闭，位于冷却器4与过滤器5之间。排出流路f31位于反应容器3与将金属硅粉体去除的过滤器5之间。排出流路f31在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。此外，无滑动阀b3也可位于反应容器3与冷却器4之间。

由此，当在从反应容器3的上部排出的金属硅粉体所流通的排出流路f31中关闭无滑动阀b3时，能够减少由于金属硅粉体夹入而引起的阀座的损伤。因此，能够降低无滑动阀b3的更换频率，从而能够降低无滑动阀b3的更换所花费的成本。

在排出流路f3中的排出流路f32中供过滤器5所去除的金属硅粉体流通。在排出流路f32的配管上设置无滑动阀b4。无滑动阀b4对排出流路f32进行开闭。排出流路f32位于过滤器5与收纳槽6之间。排出流路f32在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。

由此，当在金属硅粉体所流通的排出流路f32中关闭无滑动阀b4时，能够减少由于金属硅粉体夹入而引起的阀座的损伤。因此，能够降低无滑动阀b4的更换频率，从而能够降低无滑动阀b4的更换所花费的成本。

此外，在排出流路f31中，供氢气流通、以及利用反应容器3来生成的三氯硅烷及四氯硅烷等。另外，在排出流路f31的配管上设置冷却器4。冷却器4将在排出流路f31中流通的金属硅粉体、氢气、三氯硅烷及四氯硅烷等加以冷却。

过滤器5从由冷却器4所冷却的金属硅粉体、氢气、三氯硅烷及四氯硅烷等中去除金属硅粉体。过滤器5将去除的金属硅粉体排出至收纳槽6中，将氢气、三氯硅烷及四氯硅烷等供给至冷却器9中。冷却器9将氢气、三氯硅烷及四氯硅烷等利用冷却水来冷却，将经冷却的氢气、三氯硅烷及四氯硅烷等供给至冷凝器10中。

冷凝器10使氢气、三氯硅烷及四氯硅烷等进行气液分离，将氢气供给至压缩机11，将三氯硅烷及四氯硅烷等供给至蒸馏塔13。蒸馏塔13将三氯硅烷及四氯硅烷通过蒸馏而回收。

(无滑动阀的运行)

图2的(a)～(d)是表示制造装置1所具备的无滑动阀b1关闭的情况下的无滑动阀b1的运行的图。图3的(a)～(d)是表示制造装置1所具备的无滑动阀b1打开的情况下的无滑动阀b1的运行的图。

配管34是设置有无滑动阀b1的导入流路f1的配管。图2的(a)示出无滑动阀b1完全打开的状态。在阀体33上形成有开口部37。在配管34的内部流通的金属硅粉体从由开口部37所包围的空间中通过。金属硅粉体的流动方向为从无滑动阀b1的入口部38朝向出口部39的方向。

在阀体33的上端安装有阀杆31，且在阀体33的下端安装有阀杆32。在形成于主体部40上的上侧的凹部41与入口部38的边界设置有阀座35，且在形成于主体部40上的下侧的凹部42与入口部38的边界设置有阀座36。阀座35、阀座36用以保持无滑动阀b1的气密性。阀座35、阀座36的材料例如可以是碳、特氟龙(teflon，注册商标)、其他的树脂制品、或金属。

如图2的(a)所示，从无滑动阀b1的下方来看，若使阀杆32向右旋转，则阀体33向关闭方向旋转。当阀体33旋转时，阀体33在不与阀座35、阀座36接触的情况下旋转。若使阀杆32向右旋转90°，则如图2的(b)所示，阀体33成为关闭的状态。但，无滑动阀b1并不是完全关闭的状态。若仅使阀杆32向右旋转90°，则阀体33不与阀座35、阀座36接触。

使阀杆32向右旋转90°后，如图2的(c)所示，从无滑动阀b1的上方来看，若使阀杆31向右旋转，则阀体33以阀杆31为支点而倾斜。而且，如图2的(d)所示，阀体33与阀座35、阀座36接触。若使阀杆31向右旋转完毕，则阀体33按压于阀座35、阀座36上，无滑动阀b1成为完全关闭的状态。即，使配管34的内部所存在的金属硅粉体的流动停止。

另外，图3的(a)表示无滑动阀b1完全关闭的状态。如图3的(b)所示，从无滑动阀b1的上方来看，若使阀杆31向左旋转，则以阀杆31为支点，阀体33向从阀座35、阀座36离开的方向移动。如图3的(c)所示，若使阀杆31向左旋转完毕，则阀体33从阀座35、阀座36上完全分离。

使阀杆31向左旋转完毕后，如图3的(c)所示，从无滑动阀b1的下方来看，若使阀杆32向左旋转，则阀体33向打开方向旋转。当阀体33旋转时，阀体33在不与阀座35、阀座36接触的情况下旋转。若使阀杆32向左旋转90°，则如图3的(d)所示，无滑动阀b1成为完全打开的状态。

因此，无滑动阀b1具有阀体33，该阀体33设置为能相对于阀座35、阀座36而以非接触的状态来旋转。另外，无滑动阀b1设置于配管34上，对配管34的流路进行开闭。由此，无滑动阀b1的阀座35、阀座36不会由于金属硅粉体而受损，能够防止内漏的发生。另外，在无滑动阀b1中，阀体33相对于阀座35、阀座36而以非接触的状态来旋转，故而能够提高无滑动阀b1的耐久性。因此，能够容易连续地进行三氯硅烷的制造。

另外，无滑动阀b1也可包括阀体33与阀座35、阀座36进行金属接触的结构。所谓金属接触，是指由金属构成的构件彼此接触。即，阀体33及阀座35、阀座36包含金属，使阀杆31向右旋转时，阀体33及阀座35、阀座36相互接触。由此，当将无滑动阀b1关闭时，阀体33与阀座35、阀座36进行金属接触。因此，由于无滑动阀b1的耐热温度超过200℃，故而能够将无滑动阀b1在超过200℃的温度下使用。此外，无滑动阀b2～无滑动阀b4以及后述无滑动阀b5～无滑动阀b8包括与无滑动阀b1相同的结构。另外，无滑动阀b1～无滑动阀b8的结构并不限定于此处所说明的结构，若为阀体与阀座不滑动的结构，则并无特别限定。

[实施方式2]

图4是表示本发明的实施方式2的制造装置1的构成的一例的示意图。此外，为了便于说明，对具有与所述实施方式中所说明的构件相同的功能的构件，标注相同附图标记，不重复其说明。

制造装置1除了包括图1所示的构成以外，还包括图4所示的热交换器21、加热器22、第二反应容器23、第二过滤器24、第二收纳槽25、以及无滑动阀b5～无滑动阀b8。制造装置1所包括的这些构成元件相互由配管来连接。此外，本实施方式中，在三氯硅烷的制造系统中所谓金属硅粉体所流通的流路，是指第二导入流路f5、第二排出流路f61、第二排出流路62、以及第二导出流路f8。

对热交换器21供给氢气及四氯硅烷。此四氯硅烷例如也可利用所述反应容器3，作为副反应而产生。热交换器21将经由第二反应容器23的金属硅粉体、氢气及三氯硅烷，与氢气及四氯硅烷进行热交换。热交换器21将氢气及四氯硅烷供给至加热器22。

加热器22对四氯硅烷及氢气进行加热，将四氯硅烷及氢气供给至第二反应容器23。第二反应容器23收纳四氯硅烷、氢气以及从外部供给的金属硅粉体，使四氯硅烷、氢气及金属硅粉体进行反应而生成三氯硅烷。第二反应容器23将金属硅粉体、氢气、三氯硅烷及未反应的四氯硅烷经由热交换器21供给至第二过滤器24。

第二过滤器24从经由热交换器21而从第二反应容器23供给的金属硅粉体、氢气、三氯硅烷及未反应的四氯硅烷中，去除金属硅粉体。第二过滤器24将经去除的金属硅粉体供给至第二收纳槽25。

在从第二反应容器23的外部向第二反应容器23中导入金属硅粉体的第二导入流路f5的配管上设置无滑动阀b5。无滑动阀b5对第二导入流路f5进行开闭。第二导入流路f5在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。由此，当在从第二反应容器23的外部向第二反应容器23导入金属硅粉体的第二导入流路f5中，将无滑动阀b5关闭时，能够减少由于金属硅粉体进入而引起的阀座的损伤。因此，能够降低无滑动阀b5的更换频率，从而能够降低无滑动阀b5的更换所花费的成本。

从第二反应容器23中排出的金属硅粉体所流通的第二排出流路f6是从第二反应容器23至第二收纳槽25为止的流路。在第二排出流路f6中的第二排出流路f61的配管上设置无滑动阀b6。无滑动阀b6对第二排出流路f61进行开闭，并位于热交换器21与第二过滤器24之间。第二排出流路f61位于第二反应容器23与将金属硅粉体去除的第二过滤器24之间。第二排出流路f61在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。此外，无滑动阀b6还可位于第二反应容器23与热交换器21之间。

由此，当在从第二反应容器23中排出的金属硅粉体所流通的第二排出流路f61中，将无滑动阀b6关闭时，能够减少由于金属硅粉体进入而引起的阀座的损伤。因此，能够降低无滑动阀b6的更换频率，从而能够降低无滑动阀b6的更换所花费的成本。

在第二排出流路f6中的第二排出流路f62中，供第二过滤器24所去除的金属硅粉体流通。在第二排出流路f62的配管上设置无滑动阀b7。无滑动阀b7将第二排出流路f62进行开闭。第二排出流路f62位于第二过滤器24与第二收纳槽25之间。第二排出流路f62在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。

由此，当在金属硅粉体所流通的第二排出流路f62中将无滑动阀b7关闭时，能够减少由于金属硅粉体进入而引起的阀座的损伤。因此，能够降低无滑动阀b7的更换频率，从而能够降低无滑动阀b7的更换所花费的成本。

在从第二反应容器23的下部取出的金属硅粉体所流通的第二导出流路f8的配管上设置无滑动阀b8。无滑动阀b8对第二导出流路f8进行开闭。第二导出流路f8位于第二反应容器23与将从第二反应容器23的下部取出的金属硅粉体加以收纳的第二收纳槽25之间。第二导出流路f8在三氯硅烷的制造系统中为金属硅粉体所流通的流路的一部分。

由此，当在供从第二反应容器23的下部取出的金属硅粉体流通的第二导出流路f8中，将无滑动阀b8关闭时，能够减少由于金属硅粉体夹入而引起的阀座的损伤。因此，能够降低无滑动阀b8的更换频率，从而能够降低无滑动阀b8的更换所花费的成本。

本发明并不限定于所述各实施方式，可在技术方案所示的范围内进行各种变更，将不同实施方式中分别公开的技术性手段适当组合而获得的实施方式也包含于本发明的技术性范围内。

(总结)

本发明的一方式的制造方法为三氯硅烷的制造方法，使用包括设置为能相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体的无滑动阀，在所述三氯硅烷的制造系统中将金属硅粉体所流通的流路进行开闭。

根据所述构成，无滑动阀具有设置为能相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体。由此，无滑动阀的阀座不会由于金属硅粉体而受损，能够防止内漏的发生。另外，无滑动阀中，由于阀体相对于阀座而以非接触的状态来旋转，故而能够提高无滑动阀的耐久性。因此，能够容易连续地进行三氯硅烷的制造。

本发明的一方式的制造方法优选为使所述金属硅粉体与氯化氢气进行反应而生成所述三氯硅烷。

根据所述构成，在使金属硅粉体与氯化氢气进行反应而生成三氯硅烷的情况下，无滑动阀的阀座不会由于金属硅粉体而受损，能够防止内漏的发生。另外，无滑动阀中，由于阀体相对于阀座而以非接触的状态来旋转，故而能够提高无滑动阀的耐久性。因此，能够容易连续地进行三氯硅烷的制造。

本发明的一方式的制造方法优选为，所述流路的一部分是导入流路，该导入流路从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的外部向所述反应容器中导入所述金属硅粉体，且使用所述无滑动阀对所述导入流路进行开闭。

根据上述构成，使用无滑动阀，对从反应容器的外部向反应容器中导入金属硅粉体的导入流路进行开闭。由于金属硅粉体的粒径小，故而即便将现有的阀的滑动部尽可能减小，在阀的滑动时金属硅粉体也会进入，阀座受到由金属硅粉体所引起的损伤。因此，优选使用不存在滑动部的无滑动阀。

由此，即便在从反应容器的外部向反应容器中导入金属硅粉体的导入流路中，将无滑动阀关闭，在无滑动阀中，也难以由于金属硅粉体的夹入而使阀座受损。因此，能够降低无滑动阀的更换频率，从而能够降低无滑动阀的更换所花费的成本。

本发明的一方式的制造方法优选为，所述流路的一部分是导出流路，供从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的下部取出的所述金属硅粉体流通，并且所述导出流路位于所述反应容器与将从所述反应容器的下部取出的所述金属硅粉体加以收纳的收纳槽之间，且使用所述无滑动阀对所述导出流路进行开闭。

根据所述构成，使用无滑动阀，对供从反应容器的下部取出的金属硅粉体流通的导出流路进行开闭。由此，即便在供从反应容器的下部取出的金属硅粉体流通的导出流路中，将无滑动阀关闭，在无滑动阀中，也难以由于金属硅粉体的进入而使阀座受损。因此，能够降低无滑动阀的更换频率，从而能够降低无滑动阀的更换所花费的成本。

本发明的一方式的制造方法优选为，所述流路的一部分是排出流路，供从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的上部排出的所述金属硅粉体流通，并且所述排出流路位于所述反应容器与将所述金属硅粉体去除的过滤器之间，且使用所述无滑动阀对所述排出流路进行开闭。

根据所述构成，使用无滑动阀，对供从反应容器的上部排出的金属硅粉体流通的排出流路进行开闭。由此，即便在供从反应容器的上部中排出的金属硅粉体流通的排出流路中，将无滑动阀关闭，在无滑动阀中，也难以由于金属硅粉体的夹入而使阀座受损。因此，能够降低无滑动阀的更换频率，从而能够降低无滑动阀的更换所花费的成本。

本发明的一方式的制造方法优选为，所述流路的一部分排出流路，供从使所述金属硅粉体与所述氯化氢气体进行反应而生成所述三氯硅烷的反应容器的上部排出的所述金属硅粉体流通，并且所述排出流路位于将所述金属硅粉体去除的过滤器与将由此过滤器所去除的所述金属硅粉体加以收纳的收纳槽之间，且使用所述无滑动阀对所述排出流路进行开闭。

根据所述构成，使用无滑动阀，对位于将金属硅粉体去除的过滤器与将由此过滤器所去除的金属硅粉体加以收纳的收纳槽之间的排出流路进行开闭。由此，即便在位于过滤器与收纳槽之间且供金属硅粉体流通的排出流路中关闭无滑动阀，在无滑动阀中，也难以由于金属硅粉体的夹入而使阀座受损。因此，能够降低无滑动阀的更换频率，从而能够降低无滑动阀的更换所花费的成本。

本发明的一方式的制造装置为三氯硅烷的制造装置，包括供金属硅粉体流通的配管、以及无滑动阀，所述无滑动阀具有设置为能相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体，且所述无滑动阀在所述三氯硅烷的制造系统中设置于所述配管上，对所述配管的流路进行开闭。

根据所述构成，无滑动阀具有设置为能相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体。由此，无滑动阀的阀座不会由于金属硅粉体而受损，能够防止内漏的发生。另外，无滑动阀中，由于阀体相对于阀座而以非接触的状态来旋转，故而能够提高无滑动阀的耐久性。因此，能够容易连续地进行三氯硅烷的制造。

本发明的一方式的制造装置优选为，所述无滑动阀具有所述阀体与所述阀座进行金属接触的结构。

根据所述构成，无滑动阀具有阀体与阀座进行金属接触的结构。由此，由于无滑动阀的耐热温度超过200℃，故而能够将无滑动阀在超过200℃的温度下使用。

产业上的可利用性

本发明能够用于制造三氯硅烷。

附图标记的说明

1:制造装置

2、11:压缩机

3:反应容器

10:冷凝器

5:过滤器

6:收纳槽

8:热媒滚筒

4、7、9:冷却器

13:蒸馏塔

15:热媒管

21:热交换器

22:加热器

23:第二反应容器

24:第二过滤器

25:第二收纳槽

31、32:阀杆

33:阀体

34:配管

35、36:阀座

37:开口部

38:入口部

39:出口部

40:主体部

b1～b8:无滑动阀

f1:导入流路

f2:导出流路

f3、f31、f32:排出流路

f5:第二导入流路

f6、f61、f62:第二排出流路

f8:第二导出流路