一种硒化氢高效回收系统的制作方法

本实用新型涉及气体回收领域，具体涉及一种硒化氢高效回收系统。

背景技术：

硒化氢是一种极为重要的电子特种气体，是制造硒化锌的必要原料之一。硒化锌是重要的ⅱ-ⅵ族半导体透光材料，是红外装置上的光学窗口、滤光片、红外透镜、棱镜等元件的重要材料，也是一种常用的优质镀膜材料。在半导体行业中，硒化氢作为生产半导体的原材料和还原气主要用于生产半导体器件时形成p-n结、保护层和隔离层，是国防尖端、航空航天急需的高纯气体。硒化氢还是led和集成电路制造过程中的掺杂气体。在制造新型光伏太阳能电池的生产过程中，硒化氢是生产cigs的重要基础原料。

现有的硒化氢通过化学的方式直接处理，生产系统设备较多，且不易控制收率，成本较高，也导致能源的浪费。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种硒化氢高效回收系统，通过对硒化氢尾气进行回收的方式获得硒化氢，降低成本，节约了能源。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种硒化氢高效回收系统，包括硒化氢尾气气源、换热器、气液分离器、吸附器、物料泵以及产品钢瓶，所述硒化氢尾气气源的出口连接至所述换热器的物料入口，所述换热器的物料出口连接至所述气液分离器的入口，所述气液分离器的气相出口连接至所述吸附器的入口，所述吸附器的出口连接至外界，所述气液分离器的液相出口连接至所述物料泵的入口，所述物料泵的出口连接至所述产品钢瓶的入口。

上文中，硒化氢尾气中含有h2se，h2,固体硒的细微颗粒等。

进一步的，所述换热器为高效换热器。

进一步的，所述换热器的冷媒入口连接于液体二氧化碳储罐。

进一步的，所述换热器和所述气液分离器的外侧均设有保温层。

进一步的，所述吸附器中的吸附剂为分子筛或活性炭。

进一步的，所述物料泵为气动隔膜增压泵。

进一步的，还包括过滤器，所述气液分离器的液相出口连接至所述过滤器的入口，所述过滤器的出口连接至所述物料泵的入口。

进一步的，所述过滤器为高效过滤器。

进一步的，所述物料泵与所述产品钢瓶之间设有一充装管路，所述充装管路包括一条总管段和两条支管段，所述总管段的一端与所述物料泵的出口连通，所述总管段的另一端与所述两条支管段的入口连通，所述两条支管段的出口分别与两只所述钢瓶连接，每条所述支管段上还设有阀门。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型公开的硒化氢高效回收系统，针对含硒化氢的尾气，采用高效换热技术，先行换热冷凝，再进行气液分离、过滤后回收充装纯度比较高的硒化氢，可以再次用于生产。

附图说明

图1是本实用新型公开的硒化氢高效回收系统的组成示意图。

其中，1、硒化氢尾气气源；2、换热器；3、气液分离器；4、吸附器；5、物料泵；6、产品钢瓶；7、液体二氧化碳储罐；8、保温层；9、过滤器；10、阀门。

具体实施方式

结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

参见图1，如其中的图例所示，一种硒化氢高效回收系统，包括硒化氢尾气气源1、换热器2、气液分离器3、吸附器4、物料泵5以及产品钢瓶6，硒化氢尾气气源1的出口连接至换热器2的物料入口，换热器2的物料出口连接至气液分离器3的入口，气液分离器3的气相出口连接至吸附器4的入口，吸附器4的出口连接至外界，气液分离器4的液相出口连接至物料泵5的入口，物料泵5的出口连接至产品钢瓶6的入口。

本实施例中优选的实施方式，换热器2为高效换热器。

本实施例中优选的实施方式，换热器3的冷媒入口连接于液体二氧化碳储罐7。

本实施例中优选的实施方式，换热器2和气液分离器3的外侧均设有保温层8。

本实施例中优选的实施方式，吸附器4中的吸附剂为分子筛或活性炭。

本实施例中优选的实施方式，物料泵5为气动隔膜增压泵。

本实施例中优选的实施方式，还包括过滤器9，气液分离器3的液相出口连接至过滤器9的入口，过滤器9的出口连接至物料泵5的入口。

本实施例中优选的实施方式，过滤器9为高效过滤器。

本实施例中优选的实施方式，物料泵5与产品钢瓶6之间设有一充装管路，充装管路包括一条总管段和两条支管段，总管段的一端与物料泵5的出口连通，总管段的另一端与两条支管段的入口连通，两条支管段的出口分别与两只钢瓶6连接，每条支管段上还设有阀门10。

具体回收流程如下：

①硒化氢尾气进入换热器，换热器工作温度为-62度，不凝性气体(多余的h2)进入吸附器除杂后直接排空；

②冷凝液体进入气液分离器，气液分离器工作温度为-62度，气液分离器顶部的极少部分未冷凝的尾气(多余的h2)进入吸附器除杂后直接排空；

③气液分离器底部物料经过滤装置过滤颗粒杂质(固体硒的细微颗粒)；

④经物料泵加压充装钢瓶，可再次用于生产。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

技术特征：

1.一种硒化氢高效回收系统，其特征在于，包括硒化氢尾气气源、换热器、气液分离器、吸附器、物料泵以及产品钢瓶，所述硒化氢尾气气源的出口连接至所述换热器的物料入口，所述换热器的物料出口连接至所述气液分离器的入口，所述气液分离器的气相出口连接至所述吸附器的入口，所述吸附器的出口连接至外界，所述气液分离器的液相出口连接至所述物料泵的入口，所述物料泵的出口连接至所述产品钢瓶的入口。

2.如权利要求1所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，所述换热器为高效换热器。

3.如权利要求1所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，所述换热器的冷媒入口连接于液体二氧化碳储罐。

4.如权利要求1所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，所述换热器和所述气液分离器的外侧均设有保温层。

5.如权利要求1所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，所述吸附器中的吸附剂为分子筛或活性炭。

6.如权利要求1所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，所述物料泵为气动隔膜增压泵。

7.如权利要求1所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，还包括过滤器，所述气液分离器的液相出口连接至所述过滤器的入口，所述过滤器的出口连接至所述物料泵的入口。

8.如权利要求7所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，所述过滤器为高效过滤器。

9.如权利要求1所述的硒化氢高效回收系统，其特征在于，所述物料泵与所述产品钢瓶之间设有一充装管路，所述充装管路包括一条总管段和两条支管段，所述总管段的一端与所述物料泵的出口连通，所述总管段的另一端与所述两条支管段的入口连通，所述两条支管段的出口分别与两只所述钢瓶连接，每条所述支管段上还设有阀门。

技术总结
本实用新型公开了一种硒化氢高效回收系统，包括硒化氢尾气气源、换热器、气液分离器、吸附器、物料泵以及产品钢瓶，硒化氢尾气气源的出口连接至换热器的物料入口，换热器的物料出口连接至气液分离器的入口，气液分离器的气相出口连接至吸附器的入口，吸附器的出口连接至外界，气液分离器的液相出口连接至物料泵的入口，物料泵的出口连接至产品钢瓶的入口。本实用新型公开的硒化氢高效回收系统，针对含硒化氢的尾气，采用高效换热技术，先行换热冷凝，再进行气液分离、过滤后回收充装纯度比较高的硒化氢，可以再次用于生产。

技术研发人员：金向华;李莉;温海涛;张红敏;刘晶;齐相前;栗鹏伟;侯倩
受保护的技术使用者：苏州金宏气体股份有限公司
技术研发日：2019.09.26
技术公布日：2020.05.19