一种单晶炉快速冷却装置的制作方法

文档序号:23884445发布日期:2021-02-05 19:26阅读:94来源:国知局
一种单晶炉快速冷却装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及单晶炉辅助设备技术领域,尤其涉及一种单晶炉快速冷却装置。


背景技术:

[0002]
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。使用单晶炉的过程中,需要通过冷水机对单晶炉进行冷却。
[0003]
但是现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;为了方便移动,冷水机的底部一般会安装万向轮,但是方便移动的同时,万向轮的安装也导致现有的单晶炉冷却用冷水机的稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差,为此我们提出一种单晶炉快速冷却装置。


技术实现要素:

[0004]
本实用新型提出的一种单晶炉快速冷却装置,解决了现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;为了方便移动,冷水机的底部一般会安装万向轮,但是方便移动的同时,万向轮的安装也导致现有的单晶炉冷却用冷水机的稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差的问题。
[0005]
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
[0006]
一种单晶炉快速冷却装置,包括支撑箱,所述支撑箱的顶壁的四角均开设有活动孔,所述活动孔的内部间隙配合有垂直的活动柱,四个所述活动柱的顶端固定连接有支撑板,所述支撑板的顶壁上安装有冷水机本体,所述支撑箱的外顶壁的四角分别与所述支撑板的底壁的四角连接有弹簧,所述支撑箱的两侧内侧壁上分别通过轴承转动连接有第一丝杆和水平的第二丝杆,所述第一丝杆与第二丝杆固定连接,所述支撑箱的内顶壁的两侧均滑动连接有垂直的传动板,两个所述传动板分别螺旋配合连接在所述第一丝杆的外圈和所述第二丝杆的外圈,所述支撑箱的底壁的两侧均开设有升降孔,所述升降孔的内部间隙配合有垂直的升降柱,所述升降柱的顶端延伸至支撑箱的内部且固定连接有水平的连接板,所述连接板的顶端铰接有呈倾斜设置的连接杆,两个所述连接杆的顶端分别铰接在两个所述传动板的底端,两个所述升降柱的底端延伸至支撑箱的下方且固定连接有水平的升降板,所述升降板的底壁上固定有压地板,位于两个传动板之间的所述第一丝杆的外圈固定套接有锥齿圈,所述支撑箱的内底壁上通过安装座安装有步进电机,步进电机的输出端固定连接有锥齿轮,锥齿轮与锥齿圈啮合连接,所述支撑箱的外底壁的四角均安装有万向轮。
[0007]
优选的,所述压地板由橡胶材料制成,所述压地板的底壁上开设有多个防滑槽,所述压地板的底端高于所述万向轮的底端。
[0008]
优选的,所述弹簧套设在所述活动柱的外圈,所述活动柱的底端延伸至支撑箱的内部且焊接有限位板。
[0009]
优选的,所述支撑箱的内顶壁的两侧均沿长度方向开设有滑槽,滑槽内滑动设置有滑块,两个所述传动板分别固定在两个滑块的底端。
[0010]
优选的,所述第一丝杆的螺纹方向与所述第二丝杆的螺纹方向相反。
[0011]
优选的,两个所述连接杆底端的间距大于两个所述连接杆顶端的间距。
[0012]
本实用新型的有益效果:
[0013]
1、通过支撑箱、活动孔、活动柱、弹簧和支撑板的配合作用,可有效的减小单晶炉冷却用冷水机工作时发生的震动,有效的降低了工作噪音,可避免造成噪音污染,环保性优良。
[0014]
2、通过支撑箱、万向轮、升降孔、升降柱、升降板、压地板、连接板、连接杆、传动板、第一丝杆、第二丝杆、步进电机、锥齿轮和锥齿圈的配合作用,通过步进电机的工作,使得压地板抵压地面,可有效的提高单晶炉冷却用冷水机的稳定性,可防止单晶炉冷却用冷水机在地面上发生晃动,实用性较高。
[0015]
本实用新型设计新颖,工作时发生的震动较小,工作噪音较小,可避免造成噪音污染,环保性优良,稳定性较高,不易在地面上发生晃动,实用性较高。
附图说明
[0016]
图1为本实用新型提出的一种单晶炉快速冷却装置的结构示意图;
[0017]
图2为本实用新型提出的一种单晶炉快速冷却装置的支撑箱的剖视图;
[0018]
图3为图中a部分的局部放大图;
[0019]
图4为图中b部分的局部放大图;
[0020]
图5为图中c部分的局部放大图。
[0021]
图中标号:1、支撑箱;2、弹簧;3、支撑板;4、冷水机本体;5、升降板;6、压地板;7、万向轮;8、第一丝杆;9、连接板;10、升降柱;11、连接杆;12、传动板;13、步进电机;14、第二丝杆;15、锥齿圈;16、锥齿轮;17、升降孔;18、防滑槽;19、活动孔;20、活动柱。
具体实施方式
[0022]
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0023]
参照图1-5,一种单晶炉快速冷却装置,包括支撑箱1,支撑箱1的顶壁的四角均开设有活动孔19,活动孔19的内部间隙配合有垂直的活动柱20,四个活动柱20的顶端固定连接有支撑板3,支撑板3的顶壁上安装有冷水机本体4,支撑箱1的外顶壁的四角分别与支撑板3的底壁的四角连接有弹簧2,支撑箱1的两侧内侧壁上分别通过轴承转动连接有第一丝杆8和水平的第二丝杆14,第一丝杆8与第二丝杆14固定连接,支撑箱1的内顶壁的两侧均滑动连接有垂直的传动板12,两个传动板12分别螺旋配合连接在第一丝杆8的外圈和第二丝杆14的外圈,支撑箱1的底壁的两侧均开设有升降孔17,升降孔17的内部间隙配合有垂直的升降柱10,升降柱10的顶端延伸至支撑箱1的内部且固定连接有水平的连接板9,连接板9的顶端铰接有呈倾斜设置的连接杆11,两个连接杆11的顶端分别铰接在两个传动板12的底端,两个升降柱10的底端延伸至支撑箱1的下方且固定连接有水平的升降板5,升降板5的底壁上固定有压地板6,位于两个传动板12之间的第一丝杆8的外圈固定套接有锥齿圈15,支撑箱1的内底壁上通过安装座安装有步进电机13,通过步进电机13自带的控制器可控制步
进电机13的双向运转,步进电机13的输出端固定连接有锥齿轮16,锥齿轮16与锥齿圈15啮合连接,支撑箱1的外底壁的四角均安装有万向轮7。
[0024]
压地板6由橡胶材料制成,压地板6的底壁上开设有多个防滑槽18,当压地板6抵压地面上,可增加压地板6与地面的静摩擦力,压地板6的底端高于万向轮7的底端,需要移动冷水机本体4时,通过万向轮7支撑地面,可通过推移的方式移动冷水机本体4。
[0025]
弹簧2套设在活动柱20的外圈,活动柱20的底端延伸至支撑箱1的内部且焊接有限位板,可防止活动柱20脱离支撑箱1的顶壁。
[0026]
支撑箱1的内顶壁的两侧均沿长度方向开设有滑槽,滑槽内滑动设置有滑块,两个传动板12分别固定在两个滑块的底端,可确保传动板12能够平稳地水平移动。
[0027]
第一丝杆8的螺纹方向与第二丝杆14的螺纹方向相反,当第一丝杆8和第二丝杆14同向转动时,通过第一丝杆8和第二丝杆14分别与两个传动板12的螺旋传动,会使得两个传动板12相互靠近或者相互远离。
[0028]
两个连接杆11底端的间距大于两个连接杆11顶端的间距,由于连接杆11顶端的高度固定,因此当两个连接杆11的顶端相互远离时,会使得两个连接杆11的底端下降。
[0029]
工作原理:通过步进电机13的正向运转,通过锥齿轮16与锥齿圈15的传动,可带动第一丝杆8和第二丝杆14转动,通过第一丝杆8和第二丝杆14分别与两个传动板12的螺旋传动,可使得两个传动板12相互远离,即可带动两个连接杆11的顶端相互远离,即可使得两个连接杆11的底端下降,即可带动连接板9下降,即可带动升降柱10和升降板5下降,即可推动压地板6下降,直至压地板6抵压地面,即可有效的提高单晶炉冷却用冷水机的稳定性,可防止在地面上发生滑动;当冷水机本体4工作时会发生震动,即会带动支撑板3和活动柱20发生震动,即会使得冷水机本体4、支撑板3和活动柱20不断升降,即会使得弹簧2不断伸缩,通过弹簧2的弹性势能作用,可使弹簧2不断伸缩比迅速趋于回位,即可使得支撑板3、活动柱20和冷水机本体4迅速趋于回位,从而有效的减小了单晶炉冷却用冷水机工作时发生的震动。
[0030]
本实用新型设计新颖,工作时发生的震动较小,工作噪音较小,可避免造成噪音污染,环保性优良,稳定性较高,不易在地面上发生晃动,实用性较高。
[0031]
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0032]
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0033]
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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