一种单晶炉除尘装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉除尘技术领域，尤其涉及一种单晶炉除尘装置。


背景技术：

2.目前对于rcz多次复投料拉多棒单晶技术，其单晶炉的除尘仍采用图1中的传统除尘装置200。如图1所示，采用干泵220对单晶炉进行持续的抽真空，炉内产生的挥发物通过抽真空进入除尘罐210中进行沉积和过滤，以此来保持单晶炉内的洁净状态。然而采用rcz技术拉制多棒单晶时，炉台运行时间较长，总运行时间通常在450小时左右。当连续拉晶到200小时左右时，由于除尘罐里的挥发物沉积过多，致使炉台抽真空干泵的负荷增加(通常会由之前的80％增加到100％)，且继续拉晶炉内产生的挥发物不能抽干净，直接影响炉台的成晶情况，使得后续拉晶引晶、放肩、等径等的成活率降低，只能通过多次反复的引放和回熔提渣继续拉晶，延长生产时间、增加生产成本。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种单晶炉除尘装置，以解决目前现有单晶炉除尘装置在炉台运行时间较长时炉内挥发物除不干净、影响后续成晶的技术问题。
4.本实用新型所解决的技术问题可以采取以下方案来实现：
5.一种单晶炉除尘装置，包括除尘罐、干泵，其特征在于：所述除尘罐包括第一除尘罐、第二除尘罐，所述第一除尘罐、第二除尘罐能够与所述干泵及单晶炉相连通，所述第一除尘罐、第二除尘罐之间能够进行切换，所述干泵能够将单晶炉内的挥发物抽入所述第一除尘罐或第二除尘罐中。
6.进一步的：所述第一除尘罐的进气端与单晶炉之间连接有第一管道，所述第一除尘罐的出气端与所述干泵之间连接有第二管道，所述第一管道上设置有第一阀门，所述第二管道上设置有第二阀门；所述第二除尘罐与所述第一除尘罐并联设置，所述第二除尘罐的进气端与单晶炉之间连接有第三管道、所述第二除尘罐的出气端与所述干泵之间连接有第四管道，所述第三管道上设置有第三阀门，所述第四管道上设置有第四阀门。
7.进一步的：当所述第一阀门、第二阀门处于开启状态时，所述第三阀门、第四阀门能够处于关闭状态；当所述第三阀门、第四阀门处于开启状态时，所述第一阀门、第二阀门能够处于关闭状态。
8.进一步的：所述第一管道、第三管道均通过第五管道与单晶炉相连通。
9.进一步的：所述第二管道、第四管道均通过第六管道与所述干泵相连通。
10.进一步的：所述第一管道、第三管道及第五管道的交汇处设置有三通管ⅰ，所述述第二管道、第四管道、第六管道的交汇处设置有三通管ⅱ。
11.相比于现有的单晶炉除尘装置单个除尘罐的设置，本实用新型的除尘装置包括第一除尘罐和第二除尘罐，第一除尘罐和第二除尘罐均能够独立运行且可以进行切换。炉台在启动时由第一除尘罐进行除尘作业，第二除尘罐处于非工作状态；炉台运行时间较长后
(通常在200小时左右)，在不影响炉台继续运行的前提下，将第一除尘罐切换为第二除尘罐，此时由第二除尘罐进行除尘作业，第一除尘罐则处于非工作状态。切换以后可以在不停炉的状态下对第一除尘罐进行清理，不停炉状态下进行清理可以保护炉内不被氧化，清理完毕之后则可以重新切回第一除尘罐进行除尘。由此可以避免除尘罐内因沉积过多挥发物而导致抽真空干泵负荷增加、炉内挥发物抽不干净等问题的产生，保证后续正常拉晶，从而能够解决rcz炉台拉晶运行时间较长(通常在200小时左右)后成晶困难的问题，有效的节省时间、提高产量、降低生产成本。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
13.图1是现有的单晶炉除尘装置的结构示意图；
14.图2是本实用新型实施例单晶炉除尘装置的结构示意图；
15.主要标件与标号：
16.除尘装置：100
17.第一除尘罐：111；第二除尘罐：112；
18.干泵：120；
19.第一管道：131；第二管道：132；第三管道：133；第四管道：134；第五管道：135；第六管道：136；
20.第一阀门：141；第二阀门：142；第三阀门：143；第三阀门：144；
21.三通管ⅰ：151；三通管ⅱ：152。
具体实施方式
22.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚地展示，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
23.实施例
24.图2为本实施例单晶炉除尘装置100的结构示意图，如图2所示，除尘装置100包括第一除尘罐111、第二除尘罐112、干泵120，所述第一除尘罐111、第二除尘罐112能够与所述干泵120及单晶炉相连通；所述第一除尘罐111、第二除尘罐112之间能够进行切换以独立进行除尘作业，即当所述第一除尘罐111处于工作状态时，所述第二除尘罐112处于停运状态，当所述第二除尘罐112处于工作状态时，所述第一除尘罐111处于停运状态。当所述第一除尘罐111处于工作状态时，所述干泵120能够将单晶炉内的挥发物抽入所述第一除尘罐111中；当所述第二除尘罐112处于工作状态时，所述干泵120能够将单晶炉内的挥发物抽入所述第二除尘罐112中。
25.进一步的，所述第一除尘罐111的进气端与单晶炉的出气端之间连接有第一管道131，所述第一除尘罐111的出气端与所述干泵120的进气端之间连接有第二管道132，所述第一管道131上设置有第一阀门141，所述第二管道132上设置有第二阀门142；所述第二除
尘罐112与所述第一除尘罐111并联设置，所述第二除尘罐112的进气端与单晶炉的出气端之间连接有第三管道133、所述第二除尘罐112的出气端与所述干泵120的进气端之间连接有第四管道134，所述第三管道133上设置有第三阀门143，所述第四管道134上设置有第四阀门144。
26.进一步的：当所述第一阀门141、第二阀门142处于开启状态时，所述第三阀门143、第四阀门144能够处于关闭状态；当所述第三阀门143、第四阀门144处于开启状态时，所述第一阀门141、第二阀门142能够处于关闭状态。单晶炉启动时，由第一除尘罐111进行除尘作业，此时第一阀门141、第二阀门142处于打开状态，单晶炉工作一段时间之后，关闭第一阀门141、第二阀门142，同时使第三阀门143、第四阀门144处于打开状态，即可由第一除尘罐111切换至第二除尘罐112，由第二除尘罐112进行除尘作业。
27.进一步的，所述第一管道131、第三管道133均通过第五管道135与单晶炉相连通；进一步的，所述第二管道132、第四管道134均通过第六管道136与所述干泵120相连通
28.进一步的，为了保证各个管道的交汇处连通顺畅，在所述第一管道131、第三管道及第五管道135的交汇处内部设置有三通管ⅰ141，所述第二管道132、第四管道134、第六管道136的交汇处内部设置有三通管ⅱ141。
29.本实施例单晶炉除尘装置在工作时，当单晶炉运行起来以后，第三阀门、第四阀门处于关闭状态，第二除尘罐处于非工作状态，第一阀门、第二阀门为打开状态，单晶炉通过干泵不停的抽真空，使炉内产生的挥发物通过抽真空进入第一除尘罐进行沉积和过滤，来保持单晶炉内的洁净状态。在单晶炉运行一段时间后(例如200小时左右)，第一除尘罐里挥发物沉积过多，干泵负荷增加，炉内产生的挥发物不能顺利抽出、沉积，此时启动第二除尘罐，打开第三阀门、第四阀门，同时关闭第一阀门、第二阀门和主除尘罐，改用第二除尘罐工作。在第二除尘罐工作期间，将第一除尘罐打开清理，等清理完之后通过各个阀门的启闭将第一除尘罐切换回来继续使用，这样就可以解决单晶炉运行时间过长、继续拉晶时炉内挥发物抽不干净的问题，保证后续正常拉晶。
30.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。