外延生长装置及设备的制作方法

本发明涉及外延片制造，特别涉及一种外延生长装置及设备。

背景技术：

1、外延层的生长速率会随着温度的升高而加快，不均匀的生长速度会影响生产的外延片的平整度或者产生重排等结晶缺陷。外延生长腔的石英罩的底部一直处于热辐射的内测，在反光板和底部石英罩脖颈夹层处存在部分未经辐射的高温气体，该高温气体与反光板外侧存在温度差，导致局部热交换，从而引起气流流动，而这部分的局部热辐射无法通过控制布置在周围的灯的功率来进行控制。该局部的气流交换会造成局部的热传递差，形成局部温差，从而影响外延层生长的平稳性。

技术实现思路

1、本发明实施例提供一种外延生长装置及设备，能够降低外延生长腔室的石英钟罩底部的气流流动，以及局部热传递，从而保证石英钟罩底部温度波动的平稳性，制造出厚度均匀缺陷少的外延片。

2、为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

3、本发明实施例提供一种外延生长装置，包括：

4、外延生长腔室以及反光板；

5、所述外延生长腔室包括石英钟罩；

6、所述反光板嵌套于所述石英钟罩的底部；

7、所述反光板的底部设置有多个通气孔。

8、进一步地，每个所述通气孔的直径相同。

9、进一步地，每个所述通气孔的直径不同。

10、进一步地，所述通气孔的直径为2mm-10mm。

11、进一步地，所述多个通气孔在所述反光板的底部阵列分布；

12、在第一方向上，两个所述通气孔之间的第一距离为2mm-10mm；

13、在第二方向上，两个所述通气孔之间的第二距离为2mm-10mm；

14、所述第一方向与所述第二方向垂直。

15、进一步地，所述反光板的材质为金属。

16、进一步地，所述反光板表面电镀有镍。

17、进一步地，所述反光板表面电镀有金。

18、进一步地，第一区域的底部与所述反光板底部的第三距离为5mm-30mm，所述第一区域为所述多个通气孔分布的区域；

19、所述第三距离为所述第一区域的底部与所述反光板底部的最小垂直距离，且所述第三距离大于所述第一距离和所述第二距离。

20、本发明实施例还提供了一种外延生长设备，包括：

21、壳体以及如上所述的外延生长装置；

22、所述外延生长装置设置于所述壳体内部。

23、本发明的有益效果是：

24、本发明实施例的外延生长装置，通过在外延生长腔室的底部设置所述反光板，对所述石英钟罩底部的热量进行聚集；通过在所述反光板的底部设置多个通孔，提高因所述反光板内侧与外侧的温差导致的气流流动的平缓性，提高热交换的速度，保证所述石英钟罩底部温度波动的均衡性，从而影响外延生长腔室内的温度，制造出厚度均匀、缺陷少的良好的外延片。

技术特征：

1.一种外延生长装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于，每个所述通气孔(21)的直径相同。

3.根据权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于，每个所述通气孔(21)的直径不同。

4.根据权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于，所述通气孔(21)的直径为2mm-10mm。

5.根据权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于，所述多个通气孔(21)在所述反光板(2)的底部阵列分布；

6.根据权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于，所述反光板(2)的材质为金属。

7.根据权利要求1所述的外延生长装置，其特征在于，所述反光板(2)表面电镀有镍。

8.根据权利要求1或7所述的外延生长装置，其特征在于，所述反光板(2)表面电镀有金。

9.根据权利要求5所述的外延生长装置，其特征在于，第一区域的底部与所述反光板(2)底部的第三距离为5mm-30mm，所述第一区域为所述多个通气孔(21)分布的区域；

10.一种外延生长设备，其特征在于，包括：

技术总结
本发明提供了一种外延生长装置及设备，涉及外延片制造技术领域。该外延生长装置包括：外延生长腔室以及反光板；所述外延生长腔室包括石英钟罩；所述反光板嵌套于所述石英钟罩的底部；所述反光板的底部设置有多个通气孔。本发明实施例的外延生长装置，通过在外延生长腔室的底部设置所述反光板，对所述石英钟罩底部的热量进行聚集；通过在所述反光板的底部设置多个通孔，提高因所述反光板内侧与外侧的温差导致的气流流动的平缓性，提高热交换的速度，保证所述石英钟罩底部温度波动的均衡性，从而影响外延生长腔室内的温度，制造出厚度均匀、缺陷少的良好的外延片。

技术研发人员：贾帅,牛景豪
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13