一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道的制作方法

1.本实用新型涉及真空管道技术领域，特别涉及一种防爆口隔离机构及真空管道。


背景技术：

2.真空管道是单晶炉真空系统重要的组成部分，是真空泵与主炉室之间重要的连接部件，单晶炉运行时真空泵通过真空管道对主炉室进行抽空。使用时，真空管道一端连接至真空泵，另一端通过主炉室连接管连接主炉室，真空管道的横管两端均设有防爆口，防爆口外安装防爆阀盲板，工作状态下盲板为低压吸合关闭状态，盲板端面与防爆口处的密封圈配合密封。真空管道防爆口为斜面，防爆口上安装有密封圈，因密封圈安装在防爆口上，清理管道时硅料粉尘等异物容易附着在密封圈上，导致密封泄漏，抽空不达标，浪费工时；且密封圈易被磕碰损坏；同时盲板与安装座通过铰链连接，无旋转限位，盲板打开后旋转角度大，存在砸坏后方主炉室连接管导致抽空管道泄漏等异常风险。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
5.本实用新型的一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构，包括：
6.转动安装座，所述转动安装座设于所述防爆口的上侧；
7.盲板，所述盲板通过所述转动安装座与所述防爆口转动连接，所述盲板上设有用于密封所述防爆口的密封圈。
8.进一步地，所述转动安装座远离所述防爆口的一侧设有限位凸台，所述限位凸台适于限制所述盲板转动一定角度，所述盲板打开状态下，所述盲板与主炉室连接管具有一定间距。
9.进一步地，所述限位凸台沿所述防爆口的径向设置。
10.进一步地，所述转动安装座上设有与所述盲板转动连接的凸耳。
11.进一步地，所述盲板和所述凸耳通过螺栓转动连接，所述螺栓采用标准件螺栓。
12.本实用新型的一种用于单晶炉真空系统的真空管道，包括横管，所述横管的两端均设有防爆口，所述防爆口处设有如前所述的防爆口隔离机构。
13.综上，本实用新型的技术效果和优点：
14.1、密封圈安装在盲板上，且转动安装座设于防爆口的上侧，打开盲板后，盲板和密封圈处于防爆口的上方，对真空管道进行清理时，能够避免硅料及异物附着密封圈导致密封不严泄漏风险，同时降低密封圈磕碰损坏的概率；
15.2、转动安装座上设有限位凸台，在限位凸台作用下，能够对盲板的旋转角度进行限位，防止旋转角度大砸坏后方主炉室连接管；
16.3、盲板与凸耳采用标准件螺栓转动连接，使螺栓更换方便且成本更低，便于对螺
栓维护，从而降低运行中因螺栓断裂，盲板错位漏气硅液氧化风险。
附图说明
17.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型一实施例中真空管道的结构示意图一；
19.图2为本实用新型一实施例中真空管道的结构示意图二；
20.图3为本实用新型一实施例中转动安装座与盲板的连接示意图；
21.图4为本实用新型一实施例中真空管道的使用状态图。
22.图中：1、转动安装座；2、盲板；3、主炉室连接管；4、横管；5、真空泵连接管；6、主炉室；7、真空泵；11、限位凸台；12、凸耳；13、螺栓；21、密封圈；41、防爆口。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
27.为了解决现有技术中的问题。本实用新型一实施例提供一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构，如图1-4所示，包括转动安装座1和盲板2。其中转动安装座1用于安装盲板2，盲板2用于开闭防爆口41。转动安装座1设于防爆口41的上侧；盲板2通过转动安装座1与防爆口41转动连接，盲板2上设有用于密封防爆口41的密封圈21。
28.本实施例中，密封圈21安装在盲板2上，且转动安装座1设于防爆口41的上侧，打开盲板2后，盲板2和密封圈21处于防爆口41的上方，对真空管道进行清理时，能够避免硅料及异物附着密封圈21导致密封不严泄漏风险，同时降低密封圈21磕碰损坏的概率。
29.进一步地，转动安装座1远离防爆口41的一侧设有限位凸台11，限位凸台11适于限
制盲板2转动一定角度，盲板2打开状态下，盲板2与主炉室连接管3具有一定间距。限位凸台11与防爆口41的径向可以具有一定的角度，也可以与防爆口41的径向平行。本实施例优选地，限位凸台11沿防爆口41的径向设置。打开盲板2时，当盲板2转动到盲板2的背面与限位凸台11抵触时，盲板2将不能再继续转动。此时，盲板2的背面与主炉室连接管3具有一定的距离，能够防止盲板2的旋转角度大砸坏后方的主炉室连接管3。本实施例中，盲板2可以打开旋转约185
°
。
30.可选地，转动安装座1上设有与盲板2转动连接的凸耳12。凸耳12个数为两个，且间隔设置；盲板2上设有一沿盲板2的径向突出的凸起，凸耳12和凸起上均设有通孔。进一步地，盲板2和凸耳12通过螺栓13转动连接，螺栓13采用标准件螺栓13。安装时，盲板2的凸起插入两个凸耳12的间隔处，螺栓13依次穿过各个通孔，螺栓13的伸出端连接有螺母，从而实现盲板2与凸耳12的转动连接。本实施例中，盲板2与凸耳12采用标准件螺栓13转动连接，使螺栓13更换方便且成本更低，便于对螺栓13维护，从而降低运行中因螺栓13断裂，盲板2错位漏气硅液氧化风险。
31.本实施例还提供一种用于单晶炉真空系统的真空管道，包括横管4，横管4的两端均设有防爆口41，横管4的管体一侧与真空泵连接管5连接，横管4的管体的另一侧与主炉室连接管3连接；防爆口41处设有如前的防爆口隔离机构。
32.使用时，真空泵连接管5与真空泵7连接，主炉室连接管3与主炉室6连接；本实施例中主炉室连接管3个数为2个，主炉室连接管3采用波纹管。工作状态下，盲板2为低压吸合关闭状态，盲板2上的密封圈21与防爆口41密封，真空泵7通过真空管道对主炉室6进行抽空。密封圈21安装在盲板2上，打开盲板2后密封圈21处于防爆口41上方，对真空管道进行清理时，能够避免硅料及异物附着密封圈21导致密封不严泄漏风险，同时降低密封圈21磕碰损坏概率；当盲板2打开旋转约185
°
时，因转动安装座1上有限位凸台11，限位凸台11能够对盲板2旋转角度进行限位，防止旋转角度大砸坏后方主炉室连接管3。
33.最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。