一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构及其稳定方法与流程

文档序号:37141242发布日期:2024-02-26 16:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,包括单晶炉本体(1)、稳定系统(2)和稳定机构(3),其特征在于:所述稳定机构(3)栓接在单晶炉本体(1)的内侧,所述稳定系统(2)包括控制中枢(201)、检测模组(202)和纠正模组(203),所述控制中枢(201)与检测模组(202)单向电性连接,所述检测模组(202)与纠正模组(203)单向电性连接,所述稳定系统(2)单向电性连接有供电模块(204),所述稳定机构(3)包括下桶组件(301)、上桶组件(302)、底座组件(303)、检测组件(304)、传递组件(305)和制备组件(306),所述下桶组件(301)连通在单晶炉本体(1)的顶部,所述上桶组件(302)连通在下桶组件(301)的顶部,所述底座组件(303)栓接在下桶组件(301)内侧的底部,所述检测组件(304)栓接在底座组件(303)的顶部,所述传递组件(305)卡接在检测组件(304)的内侧,所述制备组件(306)栓接在上桶组件(302)内侧的顶部。

2.根据权利要求1所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述检测模组(202)包括感应模块(2021)、记忆模块(2022)和信号模块(2023),所述感应模块(2021)与记忆模块(2022)单向电性连接,所述记忆模块(2022)与信号模块(2023)单向电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述纠正模组(203)包括对比模块(2031)、储存模块(2032)和报警模块(2033),所述对比模块(2031)与储存模块(2032)单向电性连接,所述储存模块(2032)与报警模块(2033)单向电性连接。

4.根据权利要求3所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述下桶组件(301)包括下拉晶桶(3011)、下限位环(3012)和下活动孔(3013),所述下拉晶桶(3011)栓接在单晶炉本体(1)的顶部,所述下限位环(3012)栓接在下拉晶桶(3011)的顶部,所述下活动孔(3013)开设在下拉晶桶(3011)的底部。

5.根据权利要求4所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述上桶组件(302)包括上拉晶桶(3021)、上限位环(3022)和上活动孔(3023),所述上拉晶桶(3021)栓接在下限位环(3012)的顶部,所述上限位环(3022)栓接在上拉晶桶(3021)的顶部,所述上活动孔(3023)开设在上拉晶桶(3021)的顶部,所述上限位环(3022)与单晶炉本体(1)栓接。

6.根据权利要求5所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述底座组件(303)包括限位底座(3031)、支撑底板(3032)和传动底板(3033),所述限位底座(3031)栓接在下活动孔(3013)的内侧,所述支撑底板(3032)栓接在限位底座(3031)的顶部,所述传动底板(3033)栓接在支撑底板(3032)的顶部。

7.根据权利要求6所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述检测组件(304)包括传动外板(3041)、束缚环(3042)和mems压力传感器(3043),所述传动外板(3041)栓接在传动底板(3033)的顶部,所述束缚环(3042)栓接在传动外板(3041)的表面,所述mems压力传感器(3043)栓接在束缚环(3042)的前侧。

8.根据权利要求7所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述传递组件(305)包括防护内衬(3051)和传递板(3052),所述传递板(3052)栓接在传动外板(3041)的内侧,所述防护内衬(3051)栓接在传递板(3052)的内侧。

9.根据权利要求8所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构,其特征在于:所述制备组件(306)包括提拉柱(3061)、传动杆(3062)和mems动力传感器(3063),所述提拉柱(3061)滑动连接在上活动孔(3023)的内侧,所述提拉柱(3061)的顶部与单晶炉本体(1)的顶部栓接,所述传动杆(3062)栓接在提拉柱(3061)的顶部,所述mems动力传感器(3063)栓接在提拉柱(3061)的顶部,所述mems动力传感器(3063)的表面与传动杆(3062)栓接。

10.如权利要求1-9所述的一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构的稳定方法,其特征在于:包括以下步骤:


技术总结
本发明公开了一种可稳定籽晶轴运动的单晶炉结构及其稳定方法,应用在单晶炉技术领域,本发明通过设置稳定系统,控制中枢可以对检测模组和纠正模组进行控制,检测模组可以对稳定机构内籽晶轴的偏心轴转动进行检测,并且将信息传输给纠正模组,纠正模组可以对信息进行分析和处理,并且可以将信息传输给控制中枢,可以让控制中枢对信息进行分析和处理,再将信息通过检测模组传递给纠正模组,从而让纠正模组对周围的使用者进行警示,让使用者快速将单晶炉本体的运作停止,及时止损。

技术研发人员:程鹏,陈元瑞,程波
受保护的技术使用者:无锡晶名光电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/25
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