一种单晶炉拉晶成品转移设备的制作方法

文档序号:37338974发布日期:2024-03-18 18:06阅读:8来源:国知局
一种单晶炉拉晶成品转移设备的制作方法

本发明属于单晶炉拉晶成品转移,具体的说是一种单晶炉拉晶成品转移设备。


背景技术:

1、单晶炉拉晶是指使用单晶炉进行单晶体的拉拔(拉晶)过程,首先使用高纯度的硅作为原材料,这个硅材料首先被熔化,通常在石墨坩埚中进行,将硅材料熔化后,形成一个熔融的硅池,在熔融池中引入一个小的单晶种子,缓慢提升和旋转引入的晶种,使之逐渐结晶成单晶体,这是一种用于生产单晶体的关键工艺,主要应用于半导体工业和光伏(太阳能)行业。

2、现有技术在使用单晶炉生产单晶硅时,当通过缓慢提升引入的晶种得到单晶体时,得到的单晶体大多数为梭形柱体,然后通过静置等待炉内的温度降低,再通过外置的机械手将梭形的单晶体取出,放置到传送钢带或工作台上。

3、上述现有技术中,由于自身机构限制机械手在放置单晶体时不会缓慢的轻放,会直接松开夹爪,使单晶体落至传送钢带或工作台上,即使机械手与传送钢带之间的距离较近,但是由于单晶体自身构造极为脆弱,所以放置时容易断裂损坏,且可能与其他单晶体发生碰撞,导致出现碎裂的问题。

4、为此,本发明提供一种单晶炉拉晶成品转移设备。


技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足,解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,该单晶炉包括炉体,所述炉体的顶端固接有顶板,所述顶板的上表面滑动设置有第一液压缸,所述第一液压缸的输出端贯穿顶板,所述第一液压缸的输出端固接有晶种,所述炉体的底面设置有石墨坩埚,所述炉体的内壁一侧固接有固定板,所述固定板的底端设置有夹持组件,所述夹持组件包括固接在固定板底面的两个定位板;

3、固接在固定板底面中部的连接板,所述连接板远离固定板的一端转动连接有转动板,所述转动板远离连接板的一端转动连接有旋转夹爪;

4、固接在炉体一侧的两个支撑板,两个所述支撑板之间的两端位置与炉体出料口底部均转动设置有转动辊,三个转动辊之间传动连接有传送带;

5、所述传送带的表面固接有若干个固定盒,所述固定盒内转动设置有转动轴,所述转动轴的圆周面上固接有若干个限位夹,所述限位夹靠近固定盒内壁底面的一端设置为勾形板,另一端所述限位夹为磁性板,且靠近固定盒内壁底面的一端为橡胶材质。

6、优选的,所述支撑板远离炉体的一端固接有支撑座,所述支撑座的上表面设置有第一电机;

7、以及固接在第一电机输出端的转动辊,所述转动辊的圆周面与传送带传动连接。

8、优选的,所述固定盒对应转动轴的两端固接有两个第一扭簧,所述第一扭簧用于转动轴的自动复位。

9、优选的,所述固定盒的底壁弹性设置有压板,所述固定盒的内壁两端均固接有第一电推杆,所述第一电推杆的输出端固接有限位管,所述限位管的内部内置有海绵 ,用于对梭形单晶体两个尖端进行保护。

10、优选的,所述固定盒的上表面固接有收纳板,所述收纳板靠近限位夹的一侧开设有若干个第一槽体,每个所述第一槽体内均固接有弹簧,每个所述弹簧远离第一槽体内壁的一端均固接有磁块,每个所述第一槽体内壁对应磁块的一侧均设置有电永磁块,所述固定盒的一端设置有按钮,所述按钮用于断开电永磁块与内置电池的连接。

11、优选的,所述顶板的一侧固接有隔板,所述顶板与隔板将上方的空间与炉体内部隔开,且均为隔热材料;

12、固接在顶板上表面的第二液压缸,所述第二液压缸的输出端与第一液压缸固接,所述第一液压缸的输出端用于牵引单晶体;

13、开设在顶板上表面的导向槽,第一液压缸的输出端沿着导向槽移动;

14、以及开设在导向槽两侧对称位置的滑槽,所述第一液压缸的底端固接有与滑槽对应的滑块,所述滑块沿着滑槽滑动,且滑块与滑槽均为“t”形。

15、优选的,所述夹持组件还包括固定板下表面对应炉体内部一侧转动设置的两个电控隔热板;

16、以及固接在固定板下表面的第二电机,所述第二电机的输出端固接有第一锥齿轮,所述固定板底端与连接板连接处转动设置有转动柱,所述转动柱靠近第一锥齿轮的一端固接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合。

17、优选的,所述旋转夹爪远离转动板的一端设置有两个夹头,其中一个所述夹头为弧形,另一个所述夹头呈梯形。

18、优选的,所述转动板的一侧固接有固定杆,所述固定杆靠近定位板的一端固接有凸块,所述定位板靠近连接板的一侧转动设置有转动块,每个所述定位板对应转动板转动的转动轨迹处均固接有气泵,每个所述气泵的输出端均固接有连接管,两个所述连接管彼此靠近的一侧均开设有环形槽,所述环形槽与单晶体的截面大小相同。

19、优选的,其中一个所述定位板对应固定杆的位置开设有半环槽,所述半环槽用于固定杆的导向。

20、本发明的有益效果如下:

21、1.本发明所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,通过将单晶体转运至固定盒中,通过固定盒内的若干个限位夹将单晶体卡在固定盒内,从而对其进行保护,防止其受到震动,或直接放置在传送钢带或工作台上时容易造成损坏,解决了由于机械手机械化程度高,使用时要注意其机械性,在放置单晶体时不会缓慢的轻放,会直接松开夹爪,使单晶体落至传送钢带或工作台上,即使机械手与传送钢带之间的距离较近,但是由于单晶体表现出有较强的脆弱性,所以在放置时容易发生断裂损坏,且可能与其他单晶体发生碰撞,导致出现碎裂的问题。

22、2.本发明所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,通过在转动板转动时,同时带着固接在其一侧的固定杆进行转动,然后固定杆在进行半环形运动时,会带动其一端固接的凸块,凸块在移动过程中会挤压转动设置在定位板上的转动块,转动块向上转动时会启动气泵,然后使气泵内喷出高压气体沿着连接管一端的环形槽喷出,此时正好是单晶体经过该位置,喷出的气体会对单晶体的圆周面进行冲击,从而达到对其圆周面进行清理的效果,一定程度上提高单晶体的质量的效果。



技术特征:

1.一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:该单晶炉包括炉体(1),所述炉体(1)的顶端固接有顶板(4),所述顶板(4)的上表面滑动设置有第一液压缸(42),所述第一液压缸(42)的输出端贯穿顶板(4),所述第一液压缸(42)的输出端固接有晶种,所述炉体(1)的底面设置有石墨坩埚(2),所述炉体(1)的内壁一侧固接有固定板(3),所述固定板(3)的底端设置有夹持组件,所述夹持组件包括固接在固定板(3)底面的两个定位板(31);

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述支撑板(11)远离炉体(1)的一端固接有支撑座(12),所述支撑座(12)的上表面设置有第一电机(13);

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述固定盒(16)对应转动轴(17)的两端固接有两个第一扭簧(18),所述第一扭簧(18)用于转动轴(17)的自动复位。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述固定盒(16)的底壁弹性设置有压板(117),所述固定盒(16)的内壁两端均固接有第一电推杆(110),所述第一电推杆(110)的输出端固接有限位管(111),所述限位管(111)的内部内置有海绵 ,用于对梭形单晶体(5)两个尖端进行保护。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述固定盒(16)的上表面固接有收纳板(112),所述收纳板(112)靠近限位夹(19)的一侧开设有若干个第一槽体(114),每个所述第一槽体(114)内均固接有弹簧(116),每个所述弹簧(116)远离第一槽体(114)内壁的一端均固接有磁块(115),每个所述第一槽体(114)内壁对应磁块(115)的一侧均设置有电永磁块(115),所述固定盒(16)的一端设置有按钮(113),所述按钮(113)用于断开电永磁块(115)与内置电池的连接。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述顶板(4)的一侧固接有隔板(41),所述顶板(4)与隔板(41)将上方的空间与炉体(1)内部隔开,且均为隔热材料;

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述夹持组件还包括固定板(3)下表面对应炉体(1)内部一侧转动设置的两个电控隔热板(32);

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述旋转夹爪(310)远离转动板(38)的一端设置有两个夹头(316),其中一个所述夹头(316)为弧形,另一个所述夹头(316)呈梯形。

9.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:所述转动板(38)的一侧固接有固定杆(39),所述固定杆(39)靠近定位板(31)的一端固接有凸块(311),所述定位板(31)靠近连接板(36)的一侧转动设置有转动块(33),每个所述定位板(31)对应转动板(38)转动的转动轨迹处均固接有气泵(312),每个所述气泵(312)的输出端均固接有连接管(313),两个所述连接管(313)彼此靠近的一侧均开设有环形槽(314),所述环形槽(314)与单晶体(5)的截面大小相同。

10.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶成品转移设备,其特征在于:其中一个所述定位板(31)对应固定杆(39)的位置开设有半环槽(318),所述半环槽(318)用于固定杆(39)的导向。


技术总结
本发明属于单晶炉拉晶成品转移技术领域,具体的说是一种单晶炉拉晶成品转移设备,该单晶炉包括炉体,炉体的顶端固接有顶板,顶板的上表面滑动设置有第一液压缸,第一液压缸的输出端贯穿顶板,炉体的底面设置有石墨坩埚,炉体的内壁一侧固接有固定板,固定板的底端设置有夹持组件,夹持组件包括固接在固定板底面的两个定位板;固接在固定板底面中部的连接板,连接板远离固定板的一端转动连接有转动板,转动板远离连接板的一端转动连接有旋转夹爪;通过设置在传送带上的固定盒,解决了由于单晶体表现出有较强的脆弱性,所以在放置时容易发生断裂损坏,且可能与其他单晶体发生碰撞,导致出现碎裂的问题。

技术研发人员:李小锋,王晓辉,李军,李方,孔德东
受保护的技术使用者:连城凯克斯科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/17
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