一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统的制作方法

文档序号:36078606发布日期:2023-11-18 00:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,包括筒体(1)、观察镜片(2)和防护镜片(3),所述筒体(1)能够倾斜设置在炉体(60)上并与炉体(60)连通,所述观察镜片(2)和所述防护镜片(3)均置于所述筒体(1)内且所述观察镜片(2)和所述防护镜片(3)的外周均与所述筒体(1)的内壁抵接,所述防护镜片(3)相较于所述观察镜片(2)更靠近所述筒体(1)与炉体(60)的连通处。

2.根据权利要求1所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述防护镜片(3)由氟化钙晶体制成。

3.根据权利要求1所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述筒体(1)内设置有支撑环(4),所述支撑环(4)与所述筒体(1)的内壁固定连接,所述支撑环(4)的数量至少是两个,至少一个所述支撑环(4)与所述观察镜片(2)抵接,至少一个所述支撑环(4)与所述防护镜片(3)的底端抵接。

4.根据权利要求3所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述防护镜片(3)与相邻两个支撑环(4)之间均设置有密封圈(5),所述观察镜片(2)与一个相邻所述支撑环(4)之间也设置有所述密封圈(5),所述密封圈(5)用于密封所述观察镜片(2)与所述筒体(1)抵接的周边区域以及所述防护镜片(3)与所述筒体(1)抵接的周边区域。

5.根据权利要求3所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述筒体(1)外侧设置有输送管道(6),所述输送管道(6)贯穿与所述观察镜片(2)抵接的支撑环(4)并与所述筒体(1)连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述筒体(1)上连接有潜望ccd(7),所述潜望ccd(7)能够将炉体(60)内影像显示在显示器上。

7.根据权利要求6所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述筒体(1)上设置有遮光罩(8),所述遮光罩(8)与所述筒体(1)远离炉体(60)的一端连接,所述潜望ccd(7)嵌设在所述遮光罩(8)上。

8.根据权利要求7所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述遮光罩(8)内设置有衰减片(9),所述衰减片(9)连接在所述潜望ccd(7)靠近所述筒体(1)的一端。

9.根据权利要求1所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述观察镜片(2)远离所述防护镜片(3)的一侧连接有增透膜(10)。

10.根据权利要求1所述的一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,其特征在于,所述筒体(1)的一端设置有挡板(20),所述挡板(20)与炉体(60)转动连接,所述挡板(20)能够密封炉体(60)位于所述筒体(1)附近的周边区域。


技术总结
本申请涉及一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统,涉及晶体生长设备技术领域,一种用于氟化物晶体生长的观察窗系统包括筒体、观察镜片和防护镜片,筒体能够倾斜设置在炉体上并与炉体连通,观察镜片和防护镜片均置于筒体内且观察镜片和防护镜片的外周均与筒体的内壁抵接,防护镜片相较于观察镜片更靠近筒体与炉体的连通处。本申请中的防护镜片能够有效地阻挡炉体内产生的氟化氢进入筒体内腐蚀观察镜片,防止观察镜片被腐蚀后产生的化合物污染炉内环境和原料,本申请具有提高观察镜片稳定性的效果。

技术研发人员:刘景峰
受保护的技术使用者:北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司
技术研发日:20230628
技术公布日:2024/1/15
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