缝喷嘴、涂布方法以及涂布装置的制造方法
【专利摘要】提供一种缝喷嘴、涂布方法以及涂布装置，该缝喷嘴能够减小存在于涂布膜的宽度方向两端部的膜厚不良部的长度而扩大膜厚均匀的产品区域。本发明的缝喷嘴(10)具有：供给口(16)，其供给涂布液；集流腔(13)，其使从供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部(14)，其与集流腔连接而将涂布液引导至喷出口(17)，该缝喷嘴还具有：喷出口面(20)，其与喷出口大致同一平面；以及一对上升面(21L、21R)，它们分别与喷出口面的长度方向两端的缘部相连并向集流腔侧延伸，当流路部的与集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、喷出口的长度方向长度为Wd时，We＞Wd。
【专利说明】
缝喷嘴、涂布方法以及涂布装置
技术领域
[0001]本发明涉及用于从缝状的喷出口喷出涂布液而在被涂布部件上形成涂布膜的缝喷嘴、使用该缝喷嘴在被涂布部件上形成涂布膜的涂布方法以及使用该缝喷嘴在被涂布部件上形成涂布膜的涂布装置。
【背景技术】
[0002]作为在玻璃基板及膜等被涂布部件上涂布涂布液而形成涂布膜的涂布器，公知有从缝状的喷出口喷出涂布液的缝喷嘴。缝喷嘴具有:供给口，其供给涂布液;集流腔，其与供给口流体性连通而将涂布液在缝喷嘴的长度方向上扩宽；喷出缝(流路部)，其与集流腔连接而供涂布液流过；以及喷出口，其是喷出缝的出口且喷出涂布液。从供给口流入到集流腔的涂布液被集流腔在长度方向上扩宽，一旦在集流腔内成为充满的状态，则流过喷出缝而从喷出口喷出到离开一定的间隔(间隙)的被涂布部件上。此时，当使缝喷嘴与被涂布部件相对地移动时，由于涂布液在喷出口的长度方向全长范围内均匀地喷出，所以能够在被涂布部件上形成均匀的膜厚的涂布膜。在专利文献I中公开了如下的缝喷嘴:对上述的集流腔的截面形状或喷出缝的缝宽度进行最适化，从而在缝喷嘴的长度方向即涂布膜宽度方向上形成均匀的涂布膜。
[0003]但是，根据涂布液的特性(粘性和润湿性等)和涂布条件(涂布速度、间隙、喷出压力等)，如图6的(a)所示，从长度方向的长度为Wd的喷出口 17喷出到被涂布部件W上的涂布液从喷出口 17的两端向长度方向两侧扩展，涂布宽度成为比长度Wd大的长度Wc而在被涂布部件W上形成涂布膜。关于这样形成的涂布膜的膜厚，如图6的(b)所示，虽然中央部形成为规定的膜厚to且均匀，但在涂布膜宽度方向两端部由于受到上述的涂布液的局部的扩展的影响，膜厚变得比膜厚to小。其结果是，在与涂布膜宽度方向两端部相当的长度范围内产生膜厚不处于一定的基准内的膜厚不良部，使能够作为产品使用的均匀膜厚的区域显著地减少。
[0004]专利文献I:日本特开2010-5616号公报
[0005]对于作为上述的问题的根本原因的涂布液的局部性扩展，凭借专利文献I所示的对集流腔的截面形状和喷出缝的缝宽度进行最适化而整体地均匀地喷出涂布液的方法完全无法抑制，所以不能消除涂布膜宽度方向两端部的膜厚减少。
【发明内容】
[0006]本发明是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供缝喷嘴、涂布方法和涂布装置，该缝喷嘴即使在任何特性的涂布液及涂布条件下，也能够减小在涂布膜宽度方向两端部比规定的膜厚减少的膜厚不良部的区域，而扩大以规定的膜厚达到均匀的产品区域，该涂布方法和涂布装置能够使用该缝喷嘴在整个区域内形成膜厚均匀且高品质的涂布膜。
[0007]本发明的缝喷嘴从缝状的喷出口喷出涂布液，其特征在于，该缝喷嘴具有:供给口，其供给涂布液;集流腔，其使从供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部，其与集流腔连接而将涂布液引导至喷出口，该缝喷嘴还具有:喷出口面，其与喷出口大致同一平面；以及一对上升面，它们分别与该喷出口面的长度方向两端的缘部相连而向集流腔侧延伸，并且，当流路部的与集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、喷出口的长度方向长度为Wd时，We>Wd。
[0008]本发明的涂布方法的特征在于，该涂布方法一边使上述缝喷嘴相对于被涂布部件相对地移动，一边从喷出口喷出涂布液，从而在被涂布部件的表面上涂布涂布液而形成涂布膜。
[0009]本发明的涂布装置的特征在于，具有:上述缝喷嘴;供给构件，其对缝喷嘴供给涂布液;支承构件，其对被涂布部件进行支承；以及移动构件，其使缝喷嘴相对于被支承构件支承的被涂布部件相对地移动。
[0010]根据本发明的缝喷嘴，虽然在喷出口的长度方向两端部产生涂布液的局部性扩展，而以比喷出口的长度方向长度大的涂布宽度来涂布，但由于在喷出口的长度方向两端部根据涂布液的扩展而局部性地增加涂布液而喷出，所以能够大幅降低涂布膜宽度方向两端部的膜厚减少。其结果是，由于能够在涂布膜宽度方向两端部极力减小比规定的膜厚减少的膜厚不良部的区域，所以能够显著地扩大以规定的膜厚达到均匀的产品区域。
[0011]根据本发明的涂布方法和涂布装置，通过使用上述的优良的缝喷嘴来在被涂布部件上涂布涂布液，能够在涂布膜的大致整个区域内形成膜厚均匀且高品质的涂布膜。
【附图说明】
[0012]图1是示意性地示出了本发明的一实施方式中的缝喷嘴的构成的侧视剖视图。
[0013]图2是示意性地示出了具有本发明的一实施方式中的缝喷嘴的涂布装置的构成的立体图。
[0014]图3是本发明的一实施方式中的缝喷嘴的分解立体图。
[0015]图4是本发明的一实施方式中的缝喷嘴的沿着长度方向的主视剖视图。
[0016]图5的(a)是示出缝喷嘴的涂布状况的主视剖视图，图5的(b)是沿着缝喷嘴的长度方向的涂布膜的膜厚分布图。
[0017]图6的(a)是示出现有的缝喷嘴的涂布状况的主视剖视图，图6的(b)是沿着缝喷嘴的长度方向的涂布膜的膜厚分布图。
[0018]图7是作为使用本发明的缝喷嘴进行涂布时的一例的、沿着长度方向的涂布膜的膜厚分布图。
[0019]图8的(a)是本发明的其他实施方式中的缝喷嘴的沿着长度方向的主视剖视图，图8的(b)是同一缝喷嘴的侧视剖视图。
[0020]标号说明
[0021]1:涂布装置;2:载台(支承构件)；3:移动构件;4:配管;5:栗(供给构件)；6:容器；10:缝喷嘴；11:第I块;12:第2块;13:集流腔;14:流路部(喷出缝)；15:垫片；15aL、15aR:第I内壁；15bL、15bR:第2内壁；16:供给口； 17:喷出口；20:喷出口面;21L、21R:上升面;31:内面;32:内面;33L、33R:缘部。
【具体实施方式】
[0022]以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细地说明。另外，本发明并不限定于以下的实施方式。并且，能够在不脱离实现本发明的效果的范围内进行适当变更。
[0023]图1是示意性地示出了本发明的一实施方式中的缝喷嘴10的构成的侧视剖视图，图2是示意性地示出了具有本实施方式中的缝喷嘴10的涂布装置I的构成的立体图。
[0024]如图1所示，本实施方式中的缝喷嘴10具有:供给口16，其供给涂布液;集流腔13，其使从供给口 16供给的涂布液在长度方向上分散；以及流路部(喷出缝)14，其与集流腔13连接而将涂布液引导至喷出口 17。供给口 16和集流腔13设置在第I块11内。并且，将垫片15夹入第I块11的内面31与第2块12的内面32之间，并使第I块11与第2块12彼此结合为一体。由此，设置于流路部14的内面31与内面32之间的X方向的间隔为缝间隔Lp。因此，垫片15的厚度与缝间隔Lp相等。并且，与喷出口 17大致同一平面的第I块11和第2块12的最下端面成为喷出口面20。喷出口面20在与纸面垂直的长度方向(Y方向)上延伸。
[0025]使用该缝喷嘴10来进行涂布时，将流路部14的出口即喷出口17与被涂布部件W之间保持为一定的间隔(间隙)G，并一边使缝喷嘴10在X方向上移动，一边从缝状的喷出口 17喷出涂布液。由此，涂布液从喷出口 17沿着喷出口面20在X方向上扩展然后到达被涂布部件W，并在被涂布部件W上形成涂布膜M。
[0026]如图2所示，本实施方式中的涂布装置I具有:载台(支承构件)2，其支承玻璃基板等被涂布部件W;缝喷嘴10，其对该载台2上的被涂布部件W喷出涂布液;容器6，其贮存涂布液;栗(供给构件)5，其将容器6内的涂布液供给到缝喷嘴10;以及移动构件3，其使缝喷嘴10相对于被载台2支承的被涂布部件W在X方向上相对地移动。通过栗5并借助配管4将容器6内的涂布液供给到缝喷嘴1。并且，涂布装置I还具有未图示的、使缝喷嘴10在上下方向即Z方向上自由地移动的Z方向移动构件。由此，能够在Z方向上将缝喷嘴1的喷出口 17与被涂布部件W之间的距离设定成一定的间隔(间隙)G。
[0027]在缝喷嘴10中，如图3所示，第I块11、第2块12、集流腔13和喷出口面20在长度方向即Y方向上延伸。喷出口面20在长度方向中央部由第I块11和第2块12的上下方向(Z方向)的最下端面构成，但是在长度方向两端部还进一步添加了垫片15的最下端面来构成喷出口面20。总之，与喷出口 17大致同一平面的所有部分均为喷出口面20。
[0028]并且，在图3中示出了喷出口面20的长度方向的两端即缘部33L、33R和从缘部33L、33R起向喷出口面20的相反侧在长度方向上倾斜而延伸的上升面21L、21R。缘部33L、33R和上升面21L、21R与喷出口面20同样是通过将第I块11、第2块12和垫片15的该部分组合而构成的。即，缘部33L、33R构成为与第I块11、第2块12和垫片15的该线段大致呈一直线状。另一方面，上升面21L、21R构成为与第I块11、第2块12和垫片15的相应的倾斜面大致同一平面。
[0029]接着，当对沿着缝喷嘴10的长度方向的主视剖视图即图4进行观察时，缝喷嘴10具有与喷出口 17大致同一平面的喷出口面20和分别与喷出口面20的长度方向两端的缘部33L、33R相连并向集流腔13侧延伸的一对上升面21L、21R。如上所述，上升面21L、21R与喷出口面20同样由第I块11、第2块12和垫片15的相应的位置处的倾斜面构成。另外，在图4中，处于喷出口面20的长度方向两端的缘部33L与33R之间的长度方向的长度为Wp。
[0030]并且，如图4所示，在缝喷嘴10的内部具有垫片15，该垫片15形成流路部14所占据的区域字状的凹部)。这里，为了形成流路部14，在垫片15的集流腔13侧的长度方向两端，第I内壁15aL、15aR在长度方向上形成为一定长度，在相反的喷出口 17侧的长度方向两端，第2内壁15bL、15bR在喷出方向的倾斜长度L的范围内设置成朝向喷出口 17而向中央侧倾斜。另外，喷出方向为Z方向。由此，流路部14形成为:在从集流腔13到喷出口 17的路径的途中，从集流腔13侧朝向喷出口 17侧，长度方向的长度在喷出方向的倾斜长度L的范围内逐渐减小。作为其结果，形成为:当使流路部14与集流腔13的连接位置C-C处的长度方向的长度为We、喷出口 17的长度方向的长度为Wd时，We>Wd。
[0031]接着，使用图5说明对图4所示的构成的缝喷嘴10供给涂布液而在被涂布部件W上形成涂布膜时的作用。图5的(a)是示出缝喷嘴10的涂布状况的主视剖视图，图5的(b)是沿着长度方向的涂布膜的膜厚分布图。
[0032]首先，从图5的(a)来看，作为主视剖视图示出了对图4所示的构成的缝喷嘴10供给涂布液而在被涂布部件W上以长度方向的长度Wc进行涂布的状况。当以流量Q从栗5对缝喷嘴10的供给口 16供给涂布液时，涂布液充满集流腔13之后，在连接位置C-C处被挤出至流路部14。在涂布液从连接位置C-C朝向喷出口 17时的长度方向长度一定的区域(第I内壁15aL、15aR所规定的区域)内，涂布液以每单位长度的流量即单位流量q0均匀地流过长度方向的长度We的整个区域。另外，q0 X We = Q。在与长度方向的长度一定的区域相接且长度方向的长度从We逐渐减少至Wd的区域(第2内壁15bL、15bR所规定的区域)内，在流路部14的长度方向两端部附近流动的涂布液被第2内壁15bL、15bR引导，而朝向位于中央侧的喷出口 17的长度方向两端部，并聚集在长度方向的长度Wl的范围。其结果是，作为从喷出口 17喷出的涂布液，在其中央部是在长度方向的长度WO的范围内以单位流量q0喷出，另一方面，在距喷出口17的长度方向两端部为长度Wl的范围内，从流路部14的长度方向两端部附近以比单位流量q0增加涂布液所朝向的量的单位流量ql喷出。另外，q0 X WO+2 XqlXffl = Q0因此，虽然从长度方向的长度Wd的喷出口 17喷出的涂布液从喷出口 17的长度方向两端扩展，而以比长度Wd大的长度Wc涂布到被涂布部件W上，从单位流量q0增加到ql的增量也能够对从喷出口 17的长度方向两端产生的涂布液扩展所导致的膜厚减少量进行补充。其结果是，如图5的(b)所示，能够在比喷出口 17的长度Wd大的长度方向的长度Wf的范围内，以中央部的膜厚t0达到均匀。另外，当缝喷嘴1的X方向的移动速度为VO时，t0 = q0/V0。
[0033]并且，在图5的(a)中，作为涂布膜的涂布宽度的长度方向的长度Wc是比处于喷出口面20的长度方向两端的缘部33U33R之间的长度方向的长度Wp稍大的值。这是因为一对上升面21L、21R在长度方向上与缘部33L、33R连接而形成，所以从喷出口 17的两端部产生的涂布液的扩展因越过了缘部33L、33R的I对上升面21L、21R而受到限制。
[0034]根据以上说明的作用，当使用本实施方式的缝喷嘴10来形成涂布膜时，从喷出口17的长度方向两端喷出局部性增量的涂布液，并且既限制所喷出的涂布液的扩展也制约了涂布膜的涂布宽度(长度Wc)，所以能够防止膜厚在缝喷嘴10的长度方向、即涂布膜宽度方向的两端部的区域内变小，而能够使其与中央部的膜厚大致相同。由此，能够减小涂布膜的宽度方向两端部处的膜厚不良部的长度，而能够扩大膜厚均匀的产品区域。
[0035]以上的作用效果在从喷出口17的长度方向两端产生的涂布液的扩展量大、作为涂布宽度的长度Wc为I对缘部33L、33R之间的长度Wp以上即Wc 2 Wp的情况下尤其能够发挥，此时，以We>Wd、更优选以We > Wp的方式构成缝喷嘴10。并且，在从喷出口 17的两端部产生的涂布液的扩展量小而Wc<Wp的情况下，只要We>Wd，就能够防止膜厚在长度方向两端部的区域内变小，而能够使中央部的膜厚大致相同。
[0036]另外，下面作为比较例示出以We、Wd、Wp不为优选的条件构成缝喷嘴10的情况、SP利用现有的缝喷嘴进行涂布的情况下的膜厚分布。图6的(a)是与图5的(a)对应的、示出在We、Wd、Wp不为优选的条件下构成的缝喷嘴10的涂布状况的主视剖视图，图6的(b)是沿着此时的缝喷嘴10的长度方向的涂布膜的膜厚分布图。
[0037]从图6的(a)来看，缝喷嘴1构成为Wp > We = Wd = Wm，以比长度Wp大的长度Wc为涂布宽度而在被涂布部件上形成涂布膜。另外，长度Wm为集流腔13的长度方向的长度。
[0038]首先，当以流量Q从供给口16供给涂布液时，从集流腔13到连接位置C-C，在长度We的范围内以单位流量q0均匀地将涂布液挤出到流路部14，并且以相同的单位流量q0在长度Wd的范围内均匀地从喷出口 17喷出涂布液。之后，涂布液扩展至长度Wc而涂布到被涂布部件上。当通过图6的(b)来观察这样形成的涂布膜的长度方向的膜厚分布时，与中央部的膜厚t0相比，由于涂布液从喷出口 17的长度方向的长度Wd扩展至涂布膜的涂布宽度即长度Wc，所以越趋向涂布膜的两端部，膜厚越变得比膜厚t0小。进而，当涂布液从喷出口 17的长度方向两端在长度方向(涂布膜的宽度方向)上扩展时，伴随着从长度Wd的喷出口 17的长度方向两端部的附近带出涂布液，因此作为膜厚t0的区域的长度方向长度成为比喷出口 17的长度Wd小的长度W。
[0039]由此，为了将膜厚为规定的值t0且均匀的产品区域扩大至喷出口17的长度Wd以上而接近涂布膜的涂布宽度即长度Wc，需要按照上述的优选条件即We>Wd、进而更优选的条件即We>Wp来构成缝喷嘴10。
[0040]在本实施方式中，根据涂布液的特性(粘性和润湿性等)和涂布条件(涂布速度和喷出压力等)来适当决定流路部14的长度方向的长度的渐减率(We-Wd)/L即可。另外也可以根据涂布膜的宽度方向两端部的膜厚的减少程度来决定。但是，优选与渐减率有关的倾斜长度L为20mm以下。这样，在喷出口 17的长度方向两端部局部性增加涂布液的喷出流量，增加的量不会在喷出口 17的长度Wd的全长范围内被平均化。
[0041]并且，在本实施方式中，为了使在流路部14的长度方向两端部流动的涂布液朝向中央侧，以直线的倾斜面来形成第2内壁15bL、15bR，但是并不仅限于此，例如也可以是圆弧状或曲线状的倾斜面。
[0042]并且，在本实施方式中，由于根据配置在缝喷嘴10内的垫片15来规定形成流路部14的区域，所以能够将缝喷嘴10内所具有的垫片15更换成不同的垫片，从而调整流路部14的长度方向的长度的渐减率。
[0043]通常，喷出口17的长度方向的长度Wd是根据所形成的涂布膜的涂布宽度和缝喷嘴1的构成来决定的，所以为了进行流路部14的长度方向的长度的渐减率的调整，对流路部14与集流腔13的连接位置C-C处的长度方向的长度We和倾斜长度L进行调整即可。
[0044]另外，如图4所示，关于集流腔13的长度方向的长度Wm，通常为了使Wm2We，优选预先较大地形成该长度Wm。由此，即使更换为长度We大幅不同的垫片15，也通常能够从集流腔13将涂布液在连接位置C-C处以在长度方向的长度We范围内相同的单位流量q0均匀地挤出到流路部14。
[0045]并且，在图4所示的本实施方式中，将从喷出口17的长度方向的两端到缘部33L、33R的长度方向的长度示出为长度Wg。由于当该长度Wg较小时从喷出口 17的两端产生的涂布液的扩展量变小，所以优选Wg为Imm以下。由此，能够易于减小涂布膜的宽度方向两端部处的膜厚不良部的长度。
[0046]接着，使用图7对通过缝喷嘴1来涂布表面张力高的涂布液时的膜厚形状的改善作用进行说明。图7是作为使用上述的实施方式的缝喷嘴10进行涂布时的一例的、沿着长度方向的涂布膜的膜厚分布图。在图7中，当使用现有的缝喷嘴(例如We=Wd<Wp)进行涂布时，如虚线所示，在涂布膜的宽度方向两端部，涂布液被表面张力被从附近拉聚，涂布膜两端部的膜厚相比于中央部的膜厚to相当大，另一方面由于拉聚涂布液而带出的涂布膜两端部附近的膜厚相反地相比于中央部的膜厚to相当小。在该情况下，如果使用本发明的一实施方式中的缝喷嘴1，则由于满足We 2 Wp以及We > Wd，因此涂布液的喷出流量仅在喷出口17的长度方向两端部局部性增量，该增加的量被补充到由于拉聚涂布液而带出的涂布膜的宽度方向两端部附近，从而如实线所示，即使在涂布膜两端部附近也能够消除相比于中央部的膜厚t0的减少，而维持相同的膜厚t0。由此，能够在比喷出口 17的长度Wd大的长度Wf的范围内维持均匀的膜厚to。其结果是，即使在涂布表面张力高的涂布液时，也能够减小膜厚不良部的长度，而扩大膜厚均匀的产品区域。
[0047]以上通过优选的实施方式对本发明进行了说明，但是上述的记载并不是限定事项，当然能够进行各种的改变。
[0048]例如，在上述实施方式中，垫片15的外壳形状是与第I块11和第2块12的外壳形状一致地形成并配置的。对此，例如，也可以采用图8所示的方式。这里，图8的(a)是其他实施方式的沿着缝喷嘴10的长度方向的主视剖视图，图8的(b)是同一缝喷嘴10的侧视剖视图。从图8的(a)来看，是仅在形成流路部14的区域内配置了 I对垫片15L、15R的方式。在该情况下，如图8的(b)所示，第I块11的内面31A取代垫片15而被推抵于第2块12的内面32上，在内面31A与内面31B之间获得层差，该层差量成为缝间隔Lp。
[0049]并且，此外，在上述实施方式中，使上升面21L、21R形成为从喷出口面20向集流腔13侧延伸的直线的倾斜面，但是上升面21L、21R并不仅限于此，例如，也可以是圆弧状或曲线状的倾斜面。并且，上升面21L、21R相对于喷出口面20的倾斜角也没有特别地限制，例如优选设定为I?75°的范围。
[0050]另外，作为本发明的涂布方法，一边使用涂布装置I来使上述说明的优选的实施方式的缝喷嘴10相对于被涂布部件W在X方向上相对地移动，一边从喷出口 17喷出涂布液而将涂布液涂布到被涂布部件W的表面上而形成涂布膜。还可以更换缝喷嘴10内所具有的垫片15从而调整为不同的长度We而喷出涂布液。更具体地来说，能够按照以下的步骤(I)?(3)来进行。
[0051](I)在涂布装置I中，使缝喷嘴10移动至被涂布部件W的涂布开始位置，然后通过未图示的Z方向移动构件使缝喷嘴1下降，而使喷出口 17与被涂布部件W的表面之间的Z方向的间隔(间隙)G成为规定的值。
[0052](2)接着，使缝喷嘴10在X方向上以速度VO开始移动，并且以流量Q从栗5对缝喷嘴10供给涂布液。由此从喷出口 17朝向在X方向上相对地移动的被涂布部件W喷出涂布液，在被涂布部件W的表面上涂布涂布液而形成涂布膜。
[0053](3)当缝喷嘴10移动至被涂布部件的涂布结束位置之后，停止来自栗5的涂布液供给，并且驱动未图示的Z方向移动构件来使缝喷嘴10上升而结束涂布。将形成有涂布膜的被涂布部件W移动至干燥等的后续工序。
[0054]另外，也可以根据所形成的涂布膜的宽度方向(缝喷嘴10长度方向)的膜厚分布来置换长度We不同的垫片15而实施以上的涂布方法。由此，能够调整并改善膜厚分布，扩大以中央部的膜厚实现均匀的产品区域。
【主权项】
1.一种缝喷嘴，从缝状的喷出口喷出涂布液，其中，该缝喷嘴具有: 供给口，其供给涂布液； 集流腔，其使从所述供给口供给的涂布液在长度方向上分散；以及 流路部，其与所述集流腔连接而将涂布液引导至所述喷出口， 该缝喷嘴还具有: 喷出口面，其与所述喷出口大致同一平面；以及 一对上升面，它们分别与该喷出口面的长度方向两端的缘部相连而向所述集流腔侧延伸， 并且，当所述流路部与所述集流腔的连接位置处的长度方向长度为We、所述喷出口的长度方向长度为Wd时，We > Wd。2.根据权利要求1所述的缝喷嘴，其中， 当所述喷出口面的处于长度方向两端的缘部之间的长度方向长度为Wp时，We 2 Wp。3.根据权利要求1或2所述的缝喷嘴，其中， 当所述集流腔的长度方向长度为Wm时，Wm > We。4.根据权利要求1?3中的任意一项所述的缝喷嘴，其中， 该缝喷嘴在内部具有垫片，该垫片形成所述流路部所占据的区域。5.根据权利要求1?4中的任意一项所述的缝喷嘴，其中， 所述流路部形成为长度方向长度从所述集流腔侧朝向所述喷出口侧逐渐减小。6.一种涂布方法，该涂布方法一边使权利要求1?5中的任意一项所述的缝喷嘴相对于所述被涂布部件相对地移动，一边从所述喷出口喷出涂布液，从而在被涂布部件的表面上涂布涂布液而形成涂布膜。7.根据权利要求6所述的涂布方法，其中， 还更换所述缝喷嘴内所具有的垫片而调整为不同的长度(We)来喷出涂布液。8.—种涂布装置，其具有: 权利要求1?5中的任意一项所述的缝喷嘴； 供给构件，其对所述缝喷嘴供给涂布液； 支承构件，其对被涂布部件进行支承；以及 移动构件，其使所述缝喷嘴相对于被所述支承构件支承的被涂布部件相对地移动。
【文档编号】C03C17/00GK106007391SQ201610172096
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年3月24日
【发明人】铃木晓雄, 谷义则, 北村义之
【申请人】东丽工程株式会社