进气管300与一个进气支管700相连，每个外圈进气管组400中的多个外圈进气管410与一个进气支管700相连。也就是说，五个中心进气管300共用一个进气支管700，而每个外圈进气管组400中的三个外圈进气管410共用一个进气支管700。由此可以大幅减少底盘本体100下部连接管路的数量，从而方便检修。
[0036]其中，中心进气管300和外圈进气管410为沿气体进入方向逐渐扩大的厚壁管，中心进气管300和外圈进气管410的顶部设有与喷嘴对接的螺纹槽。
[0037]在本实用新型的一些具体示例中，底盘本体100包括底盘法兰、上底板和下底板。底盘法兰与原24对棒还原炉的钟罩结构是配对法兰，保证设备的密封性。所述上底板设在所述底盘法兰内。所述下底板设在所述底盘法兰内且位于所述上底板下方，所述下底板与所述上底板和所述底盘法兰限定出所述冷却腔。多个所述导流板设在所述冷却腔内且在所述冷却腔内限定出多个螺旋流道，所述冷却液进口和所述冷却液出口与多个所述螺旋流道连通。
[0038]多个所述螺旋流道从底盘本体100的中心旋向边缘且形状和长度相同。冷却液从内圈导流板边缘的冷却液进口进入冷却水腔后，均匀通过各螺旋流道，对上底板、中心进气管300、外圈进气管410、排气管500和电极200进行强制冷却。导流板在经过的外圈进气管410、排气管500和电极200处设有适当的弧度，确保不会出现冷却死角，影响冷却效果。每个导流板上设置三至十个连通孔，使得两侧冷却液相互流通，避免产生流动死区。冷却液在经过由中央到外圈六层螺旋流道后，由冷却液出口流出。
[0039]其中，冷却液出口处的管口高度高于冷却液进口处的管口高度，以保证冷却水腔内始终有一定高度的冷却水存在。
[0040]根据本实用新型实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件10，在底盘本体100与现有24对棒底盘直径相同的情况下，在底盘本体100内构成了四个螺旋通道，降低了对冷却液的流动阻力，增强了冷却效果，满足了 36对棒还原炉底盘的要求。通过Fluent流场分析软件对其螺旋流道各个位置的换热系数进行建模分析，结果表明底盘本体100上各个位置的换热系数差别小于30 %。利用Ansys应力分析软件，对底盘本体100进行应力分析，结果表明由于每个螺旋流道内冷却液的流程适中，避免了温差过大，有利于防止底盘本体100的温差应力和变形。
[0041]可选地，所述上底板为碳钢和不锈钢复合板，其中，不锈钢部分起耐腐蚀和耐高温作用，碳钢部分起支撑和传热作用。所述下底板均为碳钢板，有利于高温尾气、冷却液和进气间进行热量交换，提高底盘本体100的工作稳定性。
[0042]在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0043]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0044]在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0045]在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0046]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行接合和组合。
[0047]尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
【主权项】
1.一种用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，包括: 底盘本体，所述底盘本体内限定有冷却腔； 多个电极，多个所述电极设在所述底盘本体上； 多个中心进气管，多个所述中心进气管设在所述底盘本体的中心处； 多个外圈进气管组，多个所述外圈进气管组设在所述底盘本体的外周缘处且沿所述底盘本体的周向间隔开设置，每个所述外圈进气管组包括排列成环形的多个外圈进气管； 多个排气管，多个所述进气管设置在所述底盘本体上且位于多个所述电极的外侧。2.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，所述中心进气管为五个，其中，一个所述中心进气管设在所述底盘本体的中心，另外四个所述中心进气管沿所述底盘本体的周向等间距设置。3.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，所述外圈进气管组为四个，每个所述外圈进气管组包括三个所述外圈进气管。4.根据权利要求3所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，每个所述外圈进气管组中的三个所述外圈进气管排列成圆环形且沿所述圆环形的周向等间距设置。5.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，所述排气管为四至八个且沿所述底盘本体的周向等间距设置。6.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，所述电极为三十六对且分布在所述底盘本体的第一至第五圈上，所述第一至第五圈为以所述底盘本体的中心为圆心且由内至外依次增大的四个同心圆。7.根据权利要求6所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，所述第一圈上分布有两对所述电极，所述第二圈上分布有四对所述电极，所述第三圈上分布有八对所述电极，所述第四圈上分布有八对所述电极，所述第五圈上分布有十四对所述电极。8.根据权利要求1-7中任一项所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，还包括: 进气环管，所述进气环管上设有进气口且设置在所述底盘本体下方； 多个进气支管，多个所述进气支管连接在所述进气环管上，多个所述中心进气管与一个所述进气支管相连，每个所述外圈进气管组中的多个所述外圈进气管与一个所述进气支管相连。9.根据权利要求1所述的用于多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，所述底盘本体包括: 底盘法兰； 上底板，所述上底板设在所述底盘法兰内； 下底板，所述下底板设在所述底盘法兰内且位于所述上底板下方，所述下底板与所述上底板和所述底盘法兰限定出所述冷却腔； 多个导流板，多个所述导流板设在所述冷却腔内且在所述冷却腔内限定出多个螺旋流道，所述冷却液进口和所述冷却液出口与多个所述螺旋流道连通。10.根据权利要求9所述的多晶硅还原炉的底盘组件，其特征在于，所述上底板为碳钢和不锈钢复合板，所述下底板均为碳钢板。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的底盘组件，所述用于多晶硅还原炉的底盘组件包括：底盘本体，所述底盘本体内限定有冷却腔；多个电极，多个所述电极设在所述底盘本体上；多个中心进气管，多个所述中心进气管设在所述底盘本体的中心处；多个外圈进气管组，多个所述外圈进气管组设在所述底盘本体的外周缘处且沿所述底盘本体的周向间隔开设置，每个所述外圈进气管组包括排列成环形的多个外圈进气管；多个排气管，多个所述进气管设置在所述底盘本体上且位于多个所述电极的外侧。根据本实用新型实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件具有能够提高炉内气流循环效率以提高多晶硅的生产效率高，且不易倒棒等优点。
【IPC分类】C01B33/03
【公开号】CN204625193
【申请号】CN201520179793
【发明人】姚心, 汪绍芬, 严大洲
【申请人】中国恩菲工程技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年3月27日