一种自动喷雾热解镀膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及钙钛矿太阳能薄膜制备设备技术领域，特别涉及一种自动喷雾热解镀膜装置。
【背景技术】
[0002]喷雾热解镀膜是在指将金属离子的溶液经雾化喷向热玻璃基板，从而在玻璃基板上镀各种功能薄膜，目前镀膜玻璃广泛运用于建筑业和汽车业。较于其他湿法或者真空镀膜技术具备薄膜品质好，缺陷少，成本低廉等优势。其中喷雾热解镀膜是钙钛矿太阳能电池制备工艺对于制备致密薄膜层是及其关键的一步，现有的喷雾热解镀膜装置在制备高致密薄膜层，多数存在薄膜厚度较难控制，均匀性差，且成本高昂等特点。
[0003]在CN1887444的发明专利中对喷雾头形状进行了设计，但是不能解决根本均匀性以及重复性问题。在CN104762613A公开的发明专利申请文件中采用基板XY移动平台在双控制轴的情况下进行移动，虽然一定程度上能够进行大范围均匀的喷雾，但是基于基板的移动占用空间较大，成本高。
【发明内容】
[0004]为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的是提供一种自动喷雾热解镀膜装置，该装置结构简单，所占空间小，价格低廉，薄膜均匀性好，重复定位精度高。
[0005]为了实现上述实用新型目的，本实用新型采用了以下的技术方案:
[0006]—种自动喷雾热解镀膜装置，包括机架、XY轴运动机构、喷雾装置、均热板、加热平台、控制箱、按钮箱、工作台和储液箱，所述XY轴运动机构固定在机架内的顶部，所述喷雾装置通过T型连接件滑动连接在XY轴运动机构的底部，所述工作台位于机架的底部，所述加热平台设置在工作台上，所述均热板放置在加热平台，所述控制箱位于机架的下方，所述按钮箱位于机架的一侧，所述储液箱位于控制箱的一侧，且储液箱通过供液管与喷雾装置相连接。
[0007]作为优选方案:所述喷雾装置包括喷枪和高度调节机构，所述的高度调节机构包括带平齿的杆、滑槽、调节手柄和紧固螺钉，所述调节手柄设置在滑槽外壁上，且通过连接轴贯穿滑槽的侧壁后与齿轮相固定，所述滑槽套设在带平齿的杆上，且齿轮与杆的平齿相啮合，所述紧固螺钉安装于滑槽上，所述喷枪固定在带平齿的杆的下端，且喷枪连接有供气管。
[0008]作为优选方案:所述机架内部后壁设有排气口，且排气口与设置在机架上的风机相连接，所述机架内部后壁上还设有口径可调的进风口，进风口与排气口关于机架后壁的中心线轴对称。
[0009]作为优选方案:所述XY轴运动机构包括X轴滚珠丝杆直线模组、Y轴滚珠丝杆直线模组、X轴电机、Y轴电机和模组连接件；由所述X轴电机带动的X轴滚珠丝杆直线模组通过模组连接件与所述Y轴电机带动的Y轴滚珠丝杆直线模组垂直连接。
[0010]作为优选方案:所述T型连接件的上端与所述XY轴运动机构的底部滑动连接，所述T型连接件的下端与滑槽的外壁相固定。
[0011]作为优选方案:所述按钮箱上还设有加热控制器，所述控制箱内还设有控制模块，且控制模块为PLC控制器。
[0012]本实用新型与现有技术相比，具有如下优点:通过XY轴运动机构和高度调节机构使得喷枪位置更加灵活，运动更加顺畅，进而改善了镀膜均匀性差的问题，设置废气排风系统，在不影响喷雾的情况下，排除箱体内热解过程中排出的废气。这样解决了热解废气对人体和室内环境的影响。
[0013]本实用新型克服了实验室内手动热解镀膜的效率底下、气雾不均、废气不完全处理排放等问题；同时克服了现有的喷雾热解镀膜设备的造价高、结构复杂、占地面积大的问题。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的结构示意图。
[0015]图2是本实用新型的喷雾装置的结构示意图。
[0016]图3是XY轴运动机构的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做一个详细的说明。
[0018]如图1、图2和图3所示的一种自动喷雾热解镀膜装置，包括机架1、XY轴运动机构2、喷雾装置、均热板6、加热平台7、控制箱9、按钮箱8、工作台24和储液箱11，所述XY轴运动机构2固定在机架1内的顶部，所述喷雾装置通过T型连接件3滑动连接在XY轴运动机构2的底部，所述工作台24位于机架1的底部，所述加热平台7设置在工作台24上，所述均热板6放置在加热平台7，均热板可以是导热均匀的氧化铝陶瓷材质，这样可保护喷雾不直接喷到热台，且导热版表面光滑不宜损伤基片。所述控制箱9位于机架1的下方，所述按钮箱8位于机架1的一侧，所述储液箱11位于控制箱9的一侧，且储液箱11通过供液管12与喷雾装置相连接。
[0019]所述喷雾装置包括喷枪5和高度调节机构4，所述的高度调节机构4包括带平齿的杆17、滑槽14、调节手柄15和紧固螺钉16，所述调节手柄15设置在滑槽14外壁上，且通过连接轴贯穿滑槽14的侧壁后与齿轮相固定，所述滑槽14套设在带平齿的杆17上，且齿轮与杆的平齿相啮合，所述紧固螺钉16安装于滑槽14上，所述喷枪5固定在带平齿的杆17的下端，且喷枪5连接有供气管13。所述带平齿的杆17上带有刻度，这样高度调节机构可以手动调节喷雾距离，并且可高精度重复定位。
[0020]所述机架1内部后壁设有排气口 26，且排气口 26与设置在机架1上的风机28相连接，所述机架1内部后壁上还设有口径可调的进风口 27，进风口 27与排气口 26关于机架1后壁的中心线轴对称。风机的换气量可调并且配合进风口的大小调节，可保证喷出气雾不受气流影响，从而确保镀膜质量。由排气口排出的气体经过排气管道送至集中处理系统并排出。
[0021 ] 所述XY轴运动机构2包括X轴滚珠丝杆直线模组18、Y轴滚珠丝杆直线模组19、X轴电机20、Y轴电机21和模组连接件23 ;由所述X轴电机20带动的X轴滚珠丝杆直线模组18通过模组连接件23与所述Y轴电机21带动的Y轴滚珠丝杆直线模组19垂直连接。选用线性模组和这样组合方式可节省占用空间、减轻整体重量及节约成本。
[0022]所述T型连接件3的上端与所述XY轴运动机构2的底部滑动连接，所述T型连接件3的下端与滑槽14的外壁相固定。所述按钮箱8上还设有加热控制器25，所述控制箱9内还设有控制模块10，且控制模块10为PLC控制器。该PLC控制器可与电脑相连。可在电脑上设置自动喷枪的扫描轨迹(例如波形、线性、圆周)，并设置自动喷枪在X、Y轴上的扫描行程、扫描速度、扫描段数和喷雾量大小等。
[0023]所述喷枪的载气可以是带有压力的空气、氮气、氩气等不与溶剂发生反应的气体。为控制喷雾面积、喷雾镀膜厚度及均匀度，可通过ΧΥ轴运动机构控制喷枪运动轨迹、通过高度调节机构调节自动喷枪与基片之间的距离、调节载气压力等方式来实现。
[0024]本装置是这样工作的:将基片放至到加热平台上的均热板上，开始加热。温度达到一定温度，喷枪由ΧΥ轴运动机构做逐行扫面运动，同时通过气压并用吸虹的方式将储液箱中的液体雾化喷出，逐行扫面完毕后对基片周边进行一周的喷雾。
[0025]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种自动喷雾热解镀膜装置，其特征在于:包括机架(1)、χγ轴运动机构(2)、喷雾装置、均热板(6 )、加热平台(7 )、控制箱(9 )、按钮箱(8 )、工作台(24)和储液箱(11)，所述ΧΥ轴运动机构(2 )固定在机架(1)内的顶部，所述喷雾装置通过Τ型连接件(3 )滑动连接在ΧΥ轴运动机构(2)的底部，所述工作台(24)位于机架(1)的底部，所述加热平台(7)设置在工作台(24)上，所述均热板(6)放置在加热平台(7)，所述控制箱(9)位于机架(1)的下方，所述按钮箱(8)位于机架(1)的一侧，所述储液箱(11)位于控制箱(9)的一侧，且储液箱(11)通过供液管(12)与喷雾装置相连接。2.根据权利要求1所述的一种自动喷雾热解镀膜装置，其特征在于:所述喷雾装置包括喷枪(5)和高度调节机构(4)，所述的高度调节机构(4)包括带平齿的杆(17)、滑槽(14)、调节手柄(15)和紧固螺钉(16)，所述调节手柄(15)设置在滑槽(14)外壁上，且通过连接轴贯穿滑槽(14)的侧壁后与齿轮相固定，所述滑槽(14)套设在带平齿的杆(17)上，且齿轮与杆的平齿相啮合，所述紧固螺钉(16)安装于滑槽(14)上，所述喷枪(5)固定在带平齿的杆(17)的下端，且喷枪(5)连接有供气管(13)。3.根据权利要求1所述的一种自动喷雾热解镀膜装置，其特征在于:所述机架(1)内部后壁设有排气口(26)，且排气口(26)与设置在机架(1)上的风机(28)相连接，所述机架(1)内部后壁上还设有口径可调的进风口( 27 )，进风口( 27 )与排气口( 26 )关于机架(1)后壁的中心线轴对称。4.根据权利要求1所述的一种自动喷雾热解镀膜装置，其特征在于:所述ΧΥ轴运动机构(2 )包括X轴滚珠丝杆直线模组(18 )、Υ轴滚珠丝杆直线模组(19 )、X轴电机(20 )、Υ轴电机(21)和模组连接件(23 );由所述X轴电机(20 )带动的X轴滚珠丝杆直线模组(18 )通过模组连接件(23)与所述Υ轴电机(21)带动的Υ轴滚珠丝杆直线模组(19)垂直连接。5.根据权利要求2所述的一种自动喷雾热解镀膜装置，其特征在于:所述Τ型连接件(3)的上端与所述ΧΥ轴运动机构(2)的底部滑动连接，所述Τ型连接件(3)的下端与滑槽(14)的外壁相固定。6.根据权利要求1所述的一种自动喷雾热解镀膜装置，其特征在于:所述按钮箱(8)上还设有加热控制器(25 )，所述控制箱(9 )内还设有控制模块(10 )，且控制模块(10 )为PLC控制器。
【专利摘要】本实用新型涉及一种自动喷雾热解镀膜装置，包括机架、XY轴运动机构、喷雾装置、均热板、加热平台、控制箱、按钮箱、工作台和储液箱，所述XY轴运动机构固定在机架内的顶部，所述喷雾装置通过T型连接件滑动连接在XY轴运动机构的底部，所述工作台位于机架的底部，所述加热平台设置在工作台上，所述均热板放置在加热平台，所述控制箱位于机架的下方，所述按钮箱位于机架的一侧，所述储液箱位于控制箱的一侧，且储液箱通过供液管与喷雾装置相连接。本实用新型克服了实验室内手动热解镀膜的效率底下、气雾不均、废气不完全处理排放等问题；同时克服了现有的喷雾热解镀膜设备的造价高、结构复杂、占地面积大的问题。
【IPC分类】C03C17/00
【公开号】CN205088125
【申请号】CN201520803517
【发明人】付超, 童和强
【申请人】杭州众能光电科技有限公司
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2015年10月16日