1.一种乙氧基五氟环三磷腈的生产设备，其特征在于：包括固体加料机构、乙腈计量机构、氟化机构、过滤机构、反应机构、蒸馏机构、精馏机构、洗涤机构和烘干机构；所述的固体加料机构中放置六氯环三磷腈和氟化钾，所述的氟化机构的物料输入端连接固体加料机构和乙腈计量机构的物料输出端，氟化机构内放置六氯环三磷腈、氟化钾和乙腈，氟化机构的物料输出端连接过滤机构的物料输入端；过滤机构的物料输出端连接反应机构的物料输入端；蒸馏机构的物料输出端连接精馏机构的物料输入端，精馏机构的物料输出端连接洗涤机构的物料输入端，洗涤机构的物料输出端连接烘干机构的物料输入端，烘干机构设置产物输出端。
2.根据权利要求1所述的一种乙氧基五氟环三磷腈的生产设备，其特征在于：还包括产物接收机构，产物接收机构的产物输入端连接烘干机构的产物输出端。
3.根据权利要求1所述的一种乙氧基五氟环三磷腈的生产设备，其特征在于：还包括乙醇钠计量机构，所述的反应机构的物料输入端连接乙醇钠计量机构的物料输出端。
4.根据权利要求1所述的一种乙氧基五氟环三磷腈的生产设备，其特征在于：所述的洗涤机构和烘干机构之间通过传送带连接。
5.根据权利要求1所述的一种乙氧基五氟环三磷腈的生产设备，其特征在于：所述的蒸馏机构的物料输出端和精馏机构物料输入端之间设置阀门（12）。
6.根据权利要求1所述的一种乙氧基五氟环三磷腈的生产设备，其特征在于：所述的氟化机构上设置温度计。
7.根据权利要求1所述的一种乙氧基五氟环三磷腈的生产设备，其特征在于：所述的精馏机构上设置温度计和压力表。