一种甩胶方法

文档序号:3780675阅读:1289来源:国知局
一种甩胶方法
【专利摘要】本发明涉及一种甩胶方法,其特征在于,所述工艺步骤如下;将芯片放置真空吸盘上,打开真空吸盘开关;用洗耳球吹掉表面杂物,然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心,将甩胶机转速设至700rpm,甩胶时间设为10秒钟,按下开始(START)按钮,甩胶机开始涂胶,离心力把光刻胶甩到表面的所有地方,多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉,光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜;甩胶完成后,关掉真空吸盘开关,用滤纸将芯片取下,放至盛片盒中;将烤箱温度设为98℃,把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。本发明通过对甩胶工艺进行改进,能够在甩胶时芯片上的胶膜更加的均匀,增加烘烤工艺,保证了胶膜的耐磨性及黏附性。
【专利说明】一种用胶方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种甩胶方法,属于LED生产领域。
【背景技术】
[0002]目前常用的甩胶工艺为甩胶机转速为IOOOrpm,虽然甩胶速度较快,但是由于速度过快,容易出现甩胶不均匀、光刻胶黏附性差等现象,导致后工序出现掉电极的现象,降低了广品的良率。

【发明内容】

[0003]本发明针对现有技术存在的不足,提供一种甩胶方法。
[0004]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种甩胶方法,其特征在于,所述工艺步骤如下:
(1)将芯片放置真空吸盘上,打开真空吸盘开关;
(2)用洗耳球吹掉表面杂物,然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心,将甩胶机转速设至700rpm,甩胶时间设为10秒钟,按下开始(START)按钮,甩胶机开始涂胶,离心力把光刻胶甩到表面的所有地方,多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉,光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜;
(3)甩胶完成后,关掉真空吸盘开关,用滤纸将芯片取下,放至盛片盒中;
(4)将烤箱温度设为98°C,把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。
[0005]本发明的有益效果是:本发明通过对甩胶工艺进行改进,能够在甩胶时芯片上的胶膜更加的均匀,增加烘烤工艺,保证了胶膜的耐磨性及黏附性。
【具体实施方式】
[0006]以下对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
[0007]一种甩胶方法,其特征在于,所述工艺步骤如下:
(1)将芯片放置真空吸盘上,打开真空吸盘开关;
(2)用洗耳球吹掉表面杂物,然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心,将甩胶机转速设至700rpm,甩胶时间设为10秒钟,按下开始(START)按钮,甩胶机开始涂胶,离心力把光刻胶甩到表面的所有地方,多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉,光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜;
(3)甩胶完成后,关掉真空吸盘开关,用滤纸将芯片取下,放至盛片盒中;
(4)将烤箱温度设为98°C,把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。
[0008]以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种甩胶方法,其特征在于,所述工艺步骤如下: 将芯片放置真空吸盘上,打开真空吸盘开关; 用洗耳球吹掉表面杂物,然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心,将甩胶机转速设至700rpm,甩胶时间设为10秒钟,按下开始(START)按钮,甩胶机开始涂胶,离心力把光刻胶甩到表面的所有地方,多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉,光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜; 甩胶完成后,关掉真空吸盘开关,用滤纸将芯片取下,放至盛片盒中; 将烤箱温度设为98°C,把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。
【文档编号】B05D3/12GK103809381SQ201210456754
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2012年11月15日 优先权日:2012年11月15日
【发明者】毛华军 申请人:毛华军
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