硅片涂硼装置制造方法
【专利摘要】本实用新型的一种硅片涂硼装置，包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。本实用新型的有益效果是：结构简单，方便人工操作，能够较为快速将硼均匀涂抹在硅片上，提高了工作效率。
【专利说明】硅片涂硼装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种硅片涂硼装置。
【背景技术】
[0002]目前，在半导体硅片加工过程中，需要将硼涂抹在硅片上，然后进行扩散工艺，这需要一片一片的硅片手工涂抹，但由于硅片比较薄，用手不方便拿气，而且一只手拿硅片，另一只手涂抹操作不方便，而且涂抹不太均匀，工作效率比较低。
【发明内容】
[0003]为解决以上技术上的不足，本实用新型提供了一种方便操作，涂抹均匀的硅片涂硼装置。
[0004]本实用新型是通过以下措施实现的:
[0005]本实用新型的一种硅片涂硼装置，包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。
[0006]上述托盘的直径小于硅片的直径。
[0007]上述相邻两个爪部之间的夹角相同。
[0008]本实用新型的有益效果是:结构简单，方便人工操作，能够较为快速将硼均匀涂抹在硅片上，提高了工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
[0010]其中:I托盘，2爪部，3边框，4转轴，5轴承座，6电机，7脚踏开关。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型做进一步详细的描述:
[0012]如图1所示，本实用新型的一种硅片涂硼装置，包括设置在桌面上的轴承座5，轴承座5内穿有转轴4，转轴4顶部设置有圆形的托盘1，托盘I边缘向外水平延伸有三个爪部2，爪部2边缘上方设置有弧形的边框3，三个爪部2的边框3均位于托盘I的同心圆的圆周上；转轴4下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机6，电机6连接有脚踏开关7。托盘I的直径小于硅片的直径。相邻两个爪部2之间的夹角相同。
[0013]使用时，将娃片放在托盘I上，由于娃片的直径大于托盘I的直径，所以方便娃片的取放，硅片的边缘被爪部2上的边框3卡住，工人用脚踩脚踏开关7，电机6得电并带动托盘I转动，硅片也随之转动，爪部2的边框3可以防止硅片飞出。在硅片在旋转过程中工人手持沾有硼的毛笔在硅片上涂抹即可。
[0014]以上所述仅是本专利的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本专利的保护范围。
【权利要求】
1.一种硅片涂硼装置，其特征在于:包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。
2.根据权利要求1所述硅片涂硼装置，其特征在于:所述托盘的直径小于硅片的直径。
3.根据权利要求1所述硅片涂硼装置，其特征在于:相邻两个爪部之间的夹角相同。
【文档编号】B05C13/02GK204018160SQ201420449218
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年8月11日 优先权日:2014年8月11日
【发明者】王天峰 申请人:山东芯诺电子科技有限公司