技术特征:

1.一种半导体研磨剂,其特征在于:其由以下重量份数的原料制成:

含氢硅油4-7份,季戊四醇2-4份,蒙脱土4-9份,硅微粉5-10份,稀土硅铁合金6-9份,环氧改性酚醛树脂1-4份,过氧化苯甲酰6-10份,纳米石墨粉3-6份,磷酸二氢钾2.3-4.8份,双酚A型聚碳酸酯4-8份,分散剂2-3份,甲基三乙氧基硅烷8-12份,氯化钙2.3-4.1份,聚乙烯醇1.3-5份,钼铁粉2.2-3.8份,聚丙烯酸盐6-8份,水杨酸钠4.2-7份。

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