技术特征：
1.一种pvd镀腔内壁构件用涂层组合物，其特征在于，所述涂层组合物的原料包括以下质量份数的组分：3份～10份的聚乙烯醇、0.5份～10份的交联剂和0.03份～0.1份的多元醇增塑剂；所述交联剂包括水性封闭型异氰酸酯交联剂或硅氧烷交联剂。2.根据权利要求1所述的pvd镀腔内壁构件用涂层组合物，其特征在于，其满足以下特征a～d中的至少一个：a.所述硅氧烷交联剂包括正硅酸乙酯、甲基三乙氧基硅烷、γ-氨丙基三乙氧基硅烷和γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷中的至少一种；b.所述水性封闭型异氰酸酯交联剂包括hdi/三羟甲基己基内酯交联聚合物、ipdi三聚体/聚乙二醇单甲醚和氨基磺酸盐改性hdi三聚体中的至少一种；c.所述多元醇增塑剂包括丙三醇、季戊四醇和甘露醇中的至少一种；d.所述聚乙烯醇包括聚乙烯醇1788、聚乙烯醇1792和聚乙烯醇1799中的至少一种。3.根据权利要求1或2所述的pvd镀腔内壁构件用涂层组合物，其特征在于，所述涂层组合物的最大热分解速率温度为300℃～400℃。4.一种pvd镀腔内壁构件，其特征在于，包括镀腔内壁构件本体和形成于所述镀腔内壁构件本体上的涂层，所述涂层包括如权利要求1～3中任意一项所述的涂层组合物。5.根据权利要求4所述的pvd镀腔内壁构件，其特征在于，所述涂层的厚度为100μm～500μm。6.一种如权利要求4或5所述的pvd镀腔内壁构件的制备方法，其特征在于，包括以下过程：将所述涂层组合物用溶剂分散，得到涂层浆料；将所述涂层浆料形成于所述镀腔内壁构件本体的表面，使所述涂层浆料发生交联反应，固化后形成所述涂层。7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，当所述交联剂包括所述水性封闭型异氰酸酯交联剂时，所述使所述涂层浆料发生交联反应的温度大于所述水性封闭型异氰酸酯交联剂的解封温度；当所述交联剂包括所述硅氧烷交联剂时，所述使所述涂层浆料发生交联反应的过程中还加入0.5份～10份质量份数的酸催化剂。8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述酸催化剂包括盐酸、乙酸、草酸和柠檬酸中的至少一种。9.根据权利要求6～8中任意一项所述的制备方法，其特征在于，包括以下特征a～b中的至少一个：a.所述溶剂的质量份数为90份～96份；b.所述溶剂包括乙醇和/或水中的至少一种。10.一种如权利要求4或5所述的pvd镀腔内壁构件或如权利要求6～9中任意一项所述的制备方法制得的pvd镀腔内壁构件的清洗方法，其特征在于，包括以下过程：对被杂质层污染后的所述pvd镀腔内壁构件进行水洗，所述水洗过程中，所述杂质层和所述涂层均被去除，得到清洗后的镀腔内壁构件本体。
技术总结
本发明公开了一种PVD镀腔内壁构件用涂层组合物、PVD镀腔内壁构件及其制备方法和清洗方法，PVD镀腔内壁构件用涂层组合物的原料包括以下质量份数的组分：3份～10份的聚乙烯醇、0.5份～10份的交联剂和0.03份～0.1份的多元醇增塑剂；所述交联剂包括水性封闭型异氰酸酯交联剂或硅氧烷交联剂。上述涂层组合物形成的涂层不仅能增强与杂质层的结合力，防止杂质层脱离，而且清洗时易溶于水，不仅便于清洗镀腔内壁构件，而且不损伤镀腔内壁构件。而且不损伤镀腔内壁构件。
技术研发人员：朱峰 熊志红
受保护的技术使用者：深圳仕上电子科技有限公司
技术研发日：2022.07.12
技术公布日：2022/10/13