一种方便手推车的制作方法

文档序号:4089992阅读:314来源:国知局
专利名称:一种方便手推车的制作方法
技术领域
本发明涉及一种方便手推车。
背景技术
光阻主要应用于电子工业中集成电路和半导体分立器件的细微加工过程中,它利用光化学反应原理,经曝光、显影将所需要的微细图形从掩膜版转移至待加工的基片上,然后进行刻蚀、扩散、离子注入、金属化等工艺。因此,光阻是电子工业中关键性基础化工材料。在半导体制造车间内,每天需要消耗掉大量的光阻。光阻作为一种昂贵的光敏化合物, 需储存在低温避光的库存间内,当制程设备需要更换光阻时,使用手推车将光阻运输到光刻间内的制程设备处,进行光阻的更换工作。现有技术的用于运输光阻瓶的手推车,其包括开口状的容置部以及固设于所述容置部上的搁板,所述搁板上设有与所述光阻瓶体形状相匹配的开口,可将装满光阻的光阻瓶由所述开口放置到所述容置部内,再使用现有的手推车将光阻运送到光刻间内的制成设备处。为防止光阻在更换的过程中溅落在地板上,不易清洁,进而影响光刻间的洁净度,因此常配合使用一个托盘,将光阻瓶放置在托盘上进行更换工作,每次更换光阻后清洗托盘, 再将托盘放回到托盘储存地点。因此每次更换光阻时,操作人员需要另外取放托盘,浪费了时间,不利于提高生产效率。并且,还需要另外设置存储托盘的空间。

发明内容
本发明的目的是提供一种方便手推车,以解决现有手推车只能运输光阻,在进行光阻更换工作时,需另外花费时间取放托盘的不足。本发明的目的是通过以下技术方案来实现一种方便手推车,包括容置部、瓶架和托盘,瓶架和托盘活动的放置于所述容置部内且瓶架位于所述托盘上;所述瓶架包括上搁板、下搁板以及连接上下搁板的支柱,所述上搁板具有开口,所述瓶架还包括提手,其设置于所述上搁板的两端。本发明的有益效果为每次更换光阻时,将所述瓶架从所述容置部内取出,再将所述托盘取出,所述托盘可防止光阻溅落到地板上污染环境,无需另花时间取放托盘,可提高光阻的更换效率,并可在光阻更换完毕后,将所述托盘放回到所述手推车的容置部内,无需另外设置托盘存放地点,节省了空间。


下面根据附图对本发明作进一步详细说明。图1是本发明实施例所述的手推车的结构示意图。
具体实施例方式如图1所示,本发明实施例所述的一种方便手推车,包括容置部110、瓶架130和托盘120,瓶架130和托盘120活动的放置于所述容置部110内且瓶架130位于所述托盘 120上;所述瓶架130包括上搁板131、下搁板132以及连接上下搁板的支柱133,所述上搁板131具有开口 134,所述瓶架130还包括提手135,其设置于所述上搁板131的两端。在半导体生产制造过程中,需要更换光阻时,可将所述手推车100推至储存光阻的储存间,将装满光阻的光阻瓶由上搁板131的开口 134插入到瓶架130内。由于瓶架130 的开口 134为圆形,其大小恰和光阻瓶的瓶体形状相匹配,因此可将光阻瓶固定在瓶架130 内,保证在手推车100的移动过程中,光阻瓶不会晃动,确保光阻瓶的安全运输。将光阻瓶运输到光刻间后,可进行光阻的更换工作。此时,可手握提手135将瓶架130从容置部110 内取出。再握住提手将位于底层的托盘120从容置部110内取出,放置于地板上,这时,可将光阻瓶从瓶架130内取出,放置于托盘120上,开始进行光阻的更换工作。托盘120可防止在光阻更换的过程中,光阻溅落的地板上,不易清洁,影响光刻间内的洁净度。在光阻更换完毕后,可将托盘120清洗干净,放回推车100的容置部110内,再将瓶架130放置到托盘120上,将空光阻瓶运输到相应地点。由于托盘120是手推车100自带的,所以无需再另取托盘,可节省时间。且托盘120放置在手推车内,无需另外占用空间存用托盘。本发明不局限于上述最佳实施方式,任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品,但不论在其形状或结构上作任何变化,凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案,均属于本发明的保护范围。
权利要求
1. 一种方便手推车,包括容置部、瓶架和托盘,瓶架和托盘活动的放置于所述容置部内且瓶架位于所述托盘上;所述瓶架包括上搁板、下搁板以及连接上下搁板的支柱,所述上搁板具有开口,所述瓶架还包括提手,其设置于所述上搁板的两端。
全文摘要
本发明涉及一种方便手推车,包括容置部、瓶架和托盘,瓶架和托盘活动的放置于所述容置部内且瓶架位于所述托盘上;所述瓶架包括上搁板、下搁板以及连接上下搁板的支柱,所述上搁板具有开口,所述瓶架还包括提手,其设置于所述上搁板的两端。本发明的有益效果为每次更换光阻时,操作人员无需另外取放托盘,有利于提高生产效率,并且,无需要另外设置存储托盘的空间。
文档编号B62B3/10GK102556130SQ201010593089
公开日2012年7月11日 申请日期2010年12月17日 优先权日2010年12月17日
发明者陆剑安 申请人:陆剑安
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