专利名称：输送系统的制作方法
技术领域：
另外，在本发明中，上述输送装置也可以具备在上述水平 方向配列的多个输送单元。
0015另外，在本发明中，上述第一及第二待机位置与上述输送 轨道相比是下方的位置，上述第一移动机构具备在上述水平方向延 伸，在各上述第一定位部的每一个上都在径向突出地设置了 一个或多 个上述第一接触构件的第一支承轴；使上述第一支承轴绕其轴心旋转， 使上述第 一接触构件在上述第 一接触位置和上述第 一待机位置之间移 动的第一驱动机构，上述第二移动机构具备在上述水平方向延伸， 在各上述第二定位部的每一个上都在径向突出地设置了 一个或多个上述第二接触构件的第二支承轴；使上述第二支承轴绕其轴心旋转，使 上述第二接触构件在上述第二接触位置和上述第二待机位置之间移动 的第二驱动机构，上述第一接触构件以根据上述第一支承轴的旋转角 度使上述第一接触构件成为上述第一接触位置的上述第一定位部不同 的方式设置在上述第一支承轴上，上述第二接触构件以根据上述第二 支承轴的旋转角度使上述第二接触构件成为上述第二接触位置的上述 第二定位部不同的方式设置在上述第二支承轴上。
0016另外，在本发明中，上述第一及第二待机位置与上述输送 轨道相比是下方的位置，上述第 一移动机构是对各上述第一定位部的 每一个设置的使上述第一接触构件在上述第一接触位置和上述第一待 机位置之间升降的第 一升降机构，上述第二移动机构是对各上述第二 定位部的每一个设置的使上述第二接触构件在上述第二接触位置和上 述第二待机位置之间升降的第二升降机构。
00171另外，在本发明中，上述第二定位部在上述输送方向离开 间隔地设定两列，上述第一定位部设定在上述两列的上述第二定位部 之间。
0018另外，在本发明中，上述输送对象物是基板，上述第一定 位部和上述第二定位部的配置的组合包含与对具有上述输送机构能够 输送的最大的宽度的第一基板进行定位的情况相对应的配置的组合、 和与将多个与上述第一基板相比宽度狭窄的第二基板并列在上述水平 方向地进行定位的情况相对应的配置的组合。
0019另外，在本发明中，上述第一定位部和上述第二定位部的 配置的组合，还可以包含与将多个与上述第二基板相比宽度狭窄的第 三基板并列在上述水平方向地进行定位的情况相对应的配置的组合、 和与将上述第二基板和上述第三基板并列在上述水平方向地分别进行 定位的情况相对应的配置的组合。
0020另外，在本发明中，上述输送对象物是基板，具备配置 在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基板的处理 装置；配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述基板的收纳盒；与上述输送机构连续，且配置在上述收纳盒的下部， 在上述收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的输送机。
图l是表示本发明的一实施方式的输送系统A的配置的俯视图。 图2是输送系统A的侧视图。 图3是输送装置110的立体图。
图4 (A)至(D)是表示由主输送装置100进行的玻璃基板Wl 至W3的输送状态的例子的图。 图5是收纳盒10的立体图。
图6(A)至(D)是表示向收纳盒IO内收纳玻璃基板W1至W3 的收纳状态的例子的图。
图7是一对升降装置20的立体图。 图8是升降装置20的分解立体图。
图9 (A)至(E)是从收纳盒IO输出基板W的情况下的升降装 置20及移载输送机200的动作说明图。
图10是定位装置140的立体图。
图11 (A)及(B)是接触构件162的移动状态的说明图。
图12 (A)及(B)是由定位装置140进行的定位动作的说明图。
图13是各定位部Pal至Pa4及Pbl至Pb4的说明图。
图14是表示定位装置140的动作模式的例子的图。
图15 (A)及(B)是输送系统A的动作说明图。
图16 (A)及(B)是输送系统A的动作说明图。
图17是表示输送系统A的控制装置40的结构的框图。
图18是表示CPU41执行的输送系统A的控制例的流程图。
图19是定位装置140'的立体图。
图20是表示本发明的另一个实施方式的输送系统B的配置的俯视图。
图21是输送机移动单元400的分解立体图。 图22是输送系统B的动作说明图。 图23是输送系统B的动作说明图。 图24是输送系统B的动作说明图。
图25是表示本发明的另一个实施方式的输送系统C的配置的俯 视图。
图26是输送系统C的动作说明图。 图27是输送系统C的动作说明图。 图28是输送系统C的动作说明图。 图29是输送系统C的动作说明图。 符号说明0146
A、 B、 C:输送系统 140、 140':定位装置
具体实施例方式
为了实施发明的优选方式下面参照附图对本发明的实施方式进行说明。
0026
<第一实施方式>
<整体结构>
图l是表示本发明的一实施方式的输送系统A的配置的俯视图， 图2是输送系统A的侧视图。另外，在各个图中，箭头X、 Y表示相 互正交的水平方向，箭头Z表示上下方向(铅垂方向)。在本实施方 式的情况下，输送系统A在收纳盒10和未图示的处理装置之间输送 后述的3种玻璃基板W1至W3 (在总称的情况下称为玻璃基板W)。 处理装置，例如进行玻璃基板W的清洗、干燥及其他的处理。另外， 在本实施方式中，将玻璃基板作为输送对象物，但本发明也可适用于 液晶基板、PDP基板等其他的基板、瓦楞板等各种板状物或其他的物品的输送。
0027输送系统A具备主输送装置100、与主输送装置100连续 地配置的移载输送机200、在移栽输送机200上使收纳盒10升降的一 对升降装置20、设置在主输送装置IOO上的定位装置140、与主输送 装置100连续地配置的输送机30。玻璃基板W的尺寸，位置的确定，在本实施方式的情况 下，基于传感器111的检测结果来进行。传感器lll在Y方向配置三 个，在全部的传感器111都检测出玻璃基板的情况下，判断为玻璃基 板Wl的单张输送。在只是中央的传感器111未检测出玻璃基板的情 况下，确定为2张玻璃基板W2同时输送。在任何一个传感器111都 没有检测出玻璃基板的情况下，确定为4张玻璃基板W3同时输送。 另外，在中央的传感器111和剩佘的两个传感器111之中有一方的传 感器lll检测出玻璃基板的情况下，确定为1张玻璃基板W2、 2张 玻璃基板W3同时输送。由传感器111进行的玻璃基板W的检测，能 够在基于设置在辊式输送机单元120、 130上的传感器123、 133的检 测结果的时机进行。
0091玻璃基板W的尺寸、位置的确定，也可以例如通过从处 理装置取得输出的玻璃基板W的尺寸及位置的信息，代替传感器lll 进行确定。如果确定玻璃基板的尺寸、位置，就选择定位装置140的 动作模式。在图15 (A)的例子的情况下，由于是同时输送2张玻璃 基板W2，所以选择图14的模式4。定位装置140使支承轴151、 161、 151旋转到选择的模式4的旋转角度。另外，在本实施方式中，通过使一个接触构件162与玻璃 基板W的Y方向的一方侧部接触，使两个接触构件152与另一方的 侧部接触，在合计三个部位进行玻璃基板W的定位，但在接触构件 152、 162的X方向的宽度充分长的情况下，也可以分别各一个地在合 计两个部位进行玻璃基板W的定位。另外，在本实施方式中，将方形 的玻璃基板W作为对象，但也能够进行圆形等其他的玻璃基板W的 定位。进而，通过在X方向并列设置多个定位装置140，也能够大致 同时进行并列在X方向及Y方向的双方的多张玻璃基板的定位。在S3中，基于在S2中确定的玻璃基板W的尺寸及位置 来选择定位装置140的动作模式。即，选择使接触构件152、 162移动 到接触位置的定位部Pbl至Pb4及Pal至Pa4。在S4中，对输出的各玻璃基板W附加固有的识别编号， 设定其尺寸及此后进行收纳的收纳盒IO内的缝隙及缝隙上的位置，将 设定的数据作为基板数据保存在RAM42中。此基板数据，在向收纳 盒10收纳玻璃基板W后与收纳盒10自身的识别信息一起提供给主计 算机50,在主计算机50上进行管理。
0108在S5中，驱动主输送装置IOO，将在S1中输送到规定位 置的玻璃基板W输送到定位装置140附近的定位位置后暂时停止输 送。另外，使支承轴151、 161、 151旋转到在S3中选择的动作模式的 旋转角度。
0109在S6中，对驱动单元167进行驱动，使接触构件162从 初期位置向定位位置移动，进行玻璃基板W的定位。定位后将接触构 件162返回到初期位置。具有这样的齿条一小齿轮机构的输送机移动单元400，通 过驱动马达403，支承板402在导轨构件405上移动，能够使主输送 装置100的一部分及定位装置140在Y方向移动。另外，通过传感器 404检测标记带407a上的标记，能够确定可动输送装置及定位装置140 的Y方向的位置。
<动作例>图22至图24是输送系统B的动作说明图。图22表示主输送装 置100的可动输送装置与固定输送装置连续并与+Y侧的移载输送机 200连续的状态。在此情况下的输送系统B的动作是与上述第一实施 方式的输送系统A同样的。0131图23及图24表示在处理装置(未图示)和-Y侧的收纳盒 IO之间输送玻璃基板W (在此是玻璃基板W1)的情况，特别是表示 从处理装置向收纳盒10输送玻璃基板W的情况。首先，如图23所示， 在主输送装置100的可动输送装置与固定输送装置连续的状态下，向 可动输送装置上输送玻璃基板Wl,接着，如图24所示，由输送机移 动单元400使可动输送装置向-Y方向移动，移动到与-Y侧的移载输 送机200连续的位置。此时，因为定位装置140设置在可动输送装置 上，所以在可动输送装置的移动中，能够进行玻璃基板W1的定位。[0132此后，通过驱动可动输送装置和移栽输送机200，将玻璃 基板Wl输入到-Y侧的收纳盒10内。在从收纳盒10向处理装置输送 玻璃基板W的情况下，成为此相反的顺序。[0133 这样，在输送系统B中，能够在两个收纳盒10和处理装 置之间输送玻璃基板W。因此，例如，即使是在将一方的收纳盒10 与其他的收纳盒交换的情况下，也不必使输送系统B全体的工作停止，能够在另一方的收纳盒10和处理装置之间输送玻璃基板w,能够提
高系统全体的工作效率。
[0134另外，也可以不夹设处理装置地在两个收纳盒10之间输 送玻璃基板W。这在收纳盒10之间进行玻璃基板W的替换的情况下 是便利的。
0135另外，在本实施方式中，在Y方向并列设置了 2组收纳盒 10、 一对升降装置20及移载输送机200，但这些组也可以在X方向偏 移。例如，-Y侧的收纳盒IO、 一对升降装置20及移载输送机200的 组，与图22所示的位置相比，也可以在-X侧偏移。在此情况下，只 要在X方向延长移载输送机200，在可动输送装置移动到图24的位置 时，与可动输送装置连续即可。
0136另外，在本实施方式中，两个收纳盒10以它们的玻璃基 板W的输入输出部朝向+X方向的方式配置，但也可以分别朝向其他 的方向。在此情况下，与收纳盒10的方向相应地配置一对升降装置 20及移载输送机200。另外，输送机移动单元400不限定于使可动输 送装置在Y方向移动，也可以以使可动输送装置与移栽输送机200连 续的方式，例如在圆弧轨道上移动。
[0137
<第四实施方式>
在上述第三实施方式中，将可动输送装置做成了一个，但也可以 做成两个，将输送机移动单元400设置在各可动输送装置上。图25 是表示本发明的另一个实施方式的输送系统C的配置的俯视图。下面， 对与输送系统B同样的结构附加同样的符号并省略说明，对不同的结 构进行说明。
0138输送系统C的主输送装置100具备在X方向连续地并列 设置的两个可动输送装置，另外，对各可动输送装置，在X方向并列 地设置了两个输送机移动单元400。定位装置140分别设置在各可动 装置上，各输送机移动单元400移动可动输送装置和定位装置140。
0139
<动作例>
图26至图29是输送系统C的动作说明图。图26表示主输送装置100的两个可动输送装置在相互连续的同时与固定输送装置连续， 进而与+Y侧的移载输送机200连续的状态。此情况的输送系统C的 动作是与上述第一实施方式的输送系统A同样的。但是，由于具有两 个定位装置140，所以能够增加可同时定位的玻璃基板W的张数。
[0140J图27表示从图26的状态使搭载了玻璃基板W1的-X侧的 可动输送装置移动到与-Y侧的移载输送机200连续的位置的状态。另 外，图27表示新的玻璃基板Wl从处理装置(未图示)输送到+X侧 的可动输送装置上的状态。
[01411图28表示-X侧的可动输送装置及与其连续的移栽输送机 200从图27的状态向收纳盒10输入玻璃基板Wl ，使搭载了玻璃基板 Wl的+X侧的可动输送装置移动到与-X侧的可动输送装置连续的位 置的状态。能够从此状态使+X侧的可动输送装置上的玻璃基板Wl 由两个可动输送装置及移栽输送机200向收纳盒10输入。另外，如果 从+X侧的可动输送装置向-X侧的可动输送装置的玻璃基板Wl的输 送结束，则+X侧的可动输送装置能够开始向+Y侧移动，进行从固定 输送装置输送来的玻璃基板Wl的接受准备，
[0142这样，在本实施方式中，具有能够连续地向收纳盒10高 效率地输送玻璃基板W的优点。例如，在上述输送系统B中，在向-Y 侧的收纳盒10输送2张玻璃基板Wl的情况下，需要使可动输送装置 在Y方向往复2次。另一方面，在本实施方式的输送系统C中，通过 使各可动输送装置在Y方向往复1次，就能够向-Y侧的收纳盒10输 送2张玻璃基板W1，能够缩短输送时间。
[01431另外，在本实施方式的输送系统C中，也能够输送尺寸比 玻璃基板Wl大的玻璃基板W。图29表示输送Y方向的宽度与玻璃 基板W1相同，X方向的长度为大致2倍的玻璃基板W0的情况。
[0144J玻璃基板WO横跨地载置在连续的两个可动输送装置上。 玻璃基板WO的定位，能够由两个定位装置140同时进行。另外，玻 璃基板WO的Y方向的移动，能够在两个可动输送装置连续的状态下， 通过同步地驱动各输送机移动单元400来进行。
权利要求
1.一种输送系统，其特征在于，具备在水平的输送轨道上，在预定的输送方向输送输送对象物的输送机构；分别设置在了在与上述输送方向正交的水平方向相互离开间隔的多个第一定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对象物的一方侧部接触的第一接触位置和不位于上述输送轨道上的第一待机位置之间可移动地设置的第一接触构件；分别设置在了在上述水平方向相互离开间隔的多个第二定位部上，在位于上述输送轨道上而与上述输送对象物的另一方侧部接触的第二接触位置和不位于上述输送轨道上的第二待机位置之间可移动地设置的第二接触构件；与上述输送机构输送的上述输送对象物的尺寸相应地选择使上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的上述第一定位部及使上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的上述第二定位部的选择机构；使设置在上述选择机构选择的上述第一定位部上的上述第一接触构件向上述第一接触位置移动的第一移动机构；使设置在上述选择机构选择的上述第二定位部上的上述第二接触构件向上述第二接触位置移动的第二移动机构；在上述水平方向移动上述多个第一接触构件的第三移动机构。
2. 如权利要求1所述的输送系统，其特征在于， 具备在上述水平方向延伸设置的支承全部上述第一接触构件的支承构件，上述第三移动机构在上述水平方向移动上述支承构件。
3. 如权利要求2所述的输送系统，其特征在于， 上述第三移动机构具备与上述支承构件连结的连结部和使上述连结部在水平方向滑动的驱动机构。
4. 如权利要求l所述的输送系统，其特征在于上述第 一及笫二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置，上述输送机构具备在上述输送方向相互离开间隔的多个输送装置，在相互邻接的上述输送装置之间的间隙之中，在第一间隙中配置 上述第 一接触构件，在与上述第 一 间隙不同的第二间隙中配置上述第 二接触构件。
5. 如权利要求l所述的输送系统，其特征在于，上述第 一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置， 上述第一移动机构具备在上述水平方向延伸，在各上述第一定位部的每一个上都在径向 突出地设置了一个或多个上述第一接触构件的第一支承轴；使上述第一支承轴绕其轴心旋转，使上述第一接触构件在上述第 一接触位置和上述第 一待机位置之间移动的第 一驱动机构， 上述第二移动机构具备在上述水平方向延伸，在各上述第二定位部的每一个上都在径向 突出地设置了一个或多个上述第二接触构件的第二支承轴；使上述第二支承轴绕其轴心旋转，使上述第二接触构件在上述第 二接触位置和上述第二待机位置之间移动的第二驱动机构，上述第一接触构件以根据上述第一支承轴的旋转角度使上述第一 接触构件成为上述第一接触位置的上述第一定位部不同的方式设置在 上述第一支承轴上，上述第二接触构件以根据上述第二支承轴的旋转角度使上述第二 接触构件成为上述第二接触位置的上述第二定位部不同的方式设置在 上述第二支承轴上。
6. 如权利要求l所述的输送系统，其特征在于，上述第 一及第二待机位置与上述输送轨道相比是下方的位置， 上述第一移动机构是对各上述第一定位部的每一个设置的使上述第一接触构件在上述第一接触位置和上述第一待机位置之间升降的第一升降机构，上述第二移动机构是对各上述第二定位部的每一个设置的使上述 第二接触构件在上述第二接触位置和上述第二待机位置之间升降的第 二升降机构。
7. 如权利要求l所述的输送系统，其特征在于， 上述第二定位部在上述输送方向离开间隔地设定两列， 上述第一定位部设定在上述两列的上述第二定位部之间。
8. 如权利要求l所述的输送系统，其特征在于， 上述输送对象物是基板， 上述输送系统具备配置在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基 板的处理装置；配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述 基板的第一收纳盒；收纳上述基板的第二收纳盒；与上述输送机构连续，且配置在上述第一收纳盒的下部，在上述 第 一收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的第 一输送机； 至少配置在上述第二收纳盒的下部的第二输送机； 与上述第一及第二接触构件及上述第一至第三移动机构一起将上 述输送机构的一部分向与上述第二输送机连续的位置移动的第四移动 机构。
9. 如权利要求l所述的输送系统，其特征在于， 上述输送对象物是基板， 上述输送系统具备配置在上述输送机构的上述输送方向的一方端部侧，处理上述基 板的处理装置；配置在上述输送机构的上述输送方向的另一方端部侧，收纳上述 基板的第一收纳盒；相对于上述第一收纳盒而言，配置在与上述输送方向正交的方向， 收纳上述基板的第二收纳盒；与上述输送机构连续，且配置在上述第一收纳盒的下部，在上述第一收纳盒和上述输送机构之间输送上述基板的第一输送机； 至少配置在上述第二收纳盒的下部的第二输送机； 将上述输送机构的第一部分在与上述输送方向正交的方向移动到与上述第二输送机连续的位置的第四移动机构；与上述输送机构的上述第一部分在上述输送方向连续的、将上述输送机构的第二部分在与上述输送方向正交的方向移动的第五移动机构；在上述第 一部分及上述第二部分上分别设置上述第 一及第二接触 构件及上述第一至第三移动机构；上述第四及第五移动机构分别将上述第一及第二接触构件及上述 第一至笫三移动机构与上述第一部分及上述第二部分一起移动。
全文摘要
一种输送系统，具备在水平的输送轨道上，在预定的输送方向输送输送对象物的输送机构；分别设置在了在与输送方向正交的水平方向相互离开间隔的多个第一定位部上，在位于输送轨道上而与输送对象物的一方侧部接触的第一接触位置和不位于输送轨道上的第一待机位置之间可移动地设置的第一接触构件；分别设置在了在水平方向相互离开间隔的多个第二定位部上，在位于输送轨道上而与输送对象物的另一方侧部接触的第二接触位置和不位于输送轨道上的第二待机位置之间可移动地设置的第二接触构件；与输送机构输送的输送对象物的尺寸相应地选择使第一接触构件向第一接触位置移动的第一定位部及使第二接触构件向第二接触位置移动的第二定位部的选择机构。
文档编号B65G47/24GK101643148SQ200910159689
公开日2010年2月10日 申请日期2009年7月31日 优先权日2008年8月6日
发明者橘胜义 申请人:平田机工株式会社