专利名称：液体容器、使用该液体容器的送液装置以及送液方法
技术领域：
本发明涉及一种用于容纳液体的液体容器、用于将液体从该液体容器送出的送液 装置以及液体的送出方法。
背景技术：
在半导体和液晶领域中所使用的光致抗蚀剂或溶剂等工业用高纯度药液、医疗用 高纯度药液以及食品用材料液这样的液体需要在没有异物混入的前提下、高纯度地储存、 搬运以及使用。因此，希望用于储存、搬运这些液体的液体容器，或是直接安装到送液装置 上使用的液体容器是成分溶出极少的容器。这种液体容器和液体的送出方法例如被记载在 日本专利特开平1H90420号公报中。在上述文献中所记载的液体容器是一种具多层结构且由高纯度树脂形成内层的 容器，在容器上部侧突出设置有排出口，并且将该底部形成平坦状以使容器能自立。在这种 容器中填充高纯度药品液，如上述文献所示，将容器周围用能耐气体压力的耐压保护容器 或保护容器覆盖以进行耐压保护之后，再用气体压力将液体送出。然而，在上述文献所记载的液体容器中，具有在送出液体时，很难将残留在平坦容 器底部的液体排出，残液量多的技术问题。此外，还具有在欲保管多个液体容器，或在送液 装置附近准备液体容器时，需将液体容器并排放置，而需要宽敞空间的技术问题。而且，由 于在将液体容器安装到送液装置上时，需要用耐压保护容器来覆盖，因此，还具有送液装置 的零件数增多，成为大规模且高价的装置，并且液体容器的安装作业或更换作业也很繁杂 的技术问题。而且，在使用高压的气体压力送出液体时，在液体内容易产生气泡，因此在送 液装置中需要有用于从液体中去除气泡的过滤器的技术问题。
发明内容
本发明为了解决上述技术问题发明而成，其目的在于提供一种可进行输送的液体 容器，该液体容器不仅能高品质地保持所填充的液体，还能在节省空间内进行液体的储存， 并且能将送液时的残液量减小到非常小。此外，本发明的目的还在于提供一种能方便进行 此液体容器的安装作业和交换作业，且结构简单、廉价、并能可靠地减少液体容器内的残液 量，并能将液体安全送出的送液装置和送液方法。为实现上述目的，本发明的液体容器包括容器主体，该容器主体是由弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成型，在 大致呈圆筒状的胴部形成有圆底，在顶部形成具有与该胴部同心的排出口，上述容器主体 能对液体进行收容，且在该排出口上有可进行拆装的栓体；以及树脂制的支承台，为了能使容器主体自立，该支承台与该胴部的该圆底侧嵌合，其 特征在于，该容器主体的至少内表面是由不会在液体中浸出规定的标准值以上的杂质微粒 的高纯度热塑性树脂形成，
当将多个容器主体叠起时，在该支承台上形成有，可对叠在下层的该容器主体的 带有该栓体的该排出口进行收容的贯穿部，并且形成有可与叠在下层的该容器主体的顶部 卡合的底部。上述液体容器的特征在于，形成上述容器主体和/或上述支承台的树脂是可材料 再生的树脂。本发明的送液装置是安装有上述液体容器以将该液体容器内的液体送出的装置， 其特征在于，包括底座，该底座安装有上述液体容器，并具有突起部，该突起部与上述支承台的上述 贯穿部相嵌而与上述容器主体的上述圆底抵接；送液转接器，该送液转接器可代替上述栓体能相对于前述排出口拆装，且能对该 容器主体进行密封，上述送液转接器具有气体供应口和送液管，其中，上述气体供应口用于 与最高不超过200kPa的压力的加压源相连以对上述容器主体内供应气体，上述送液管的 末端位于与该容器主体内的上述圆底的最底部接近的位置且使其前端导出到该容器主体 外部；以及扣压构件，该扣压构件可自由运动地设置在从该底座起立设置的支柱上，其可在 和与该排出口相嵌的该送液转接器的上部抵接的位置上固定扣压构件的动作。上述送液装置的特征在于，在上述气体供应口上连接有压力为IOk 50kPa的上 述加压源。上述送液装置的特征在于，在上述气体供应口上可连接地形成有与上述加压源相 连的加压连接器，上述扣压构件具有限位件，该限位件在与上述送液转接器的上部抵接的 状态下将该加压连接器与该气体供应口连接，此时，与该加压连接器抵接而将该扣压构件 的移动卡定。上述送液装置的特征在于，上述扣压构件和上述送液转接器具有定位机构，该定 位机构相互嵌合以限定该气体供应口相对于该扣压构件的位置。一种送液方法，其特征在于，在上述液体容器中填充液体，将送液管的末端插入到 圆底的最底部附近，并将送液管的前端导出到外部，夹住该液体容器的容器主体的上下两 侧，在该液体容器内供应最高不超过200kPa的压力的气体，将液体从上述液体容器送出。上述送液方法的特征在于，上述气体压力为IOk 50kPa。根据本发明的液体容器，容器主体是由从内表面不会在液体中浸出标准值以上的 杂质微粒的高纯度热塑性树脂，且具有弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂形成，不仅 能维持液体的高品质，同时还具有很好的机械强度，因此可以防止输送时或保管时容器破 损或变形。特别是在送液时，即使以压力2001tfa加压也可防止容器的较大形变。此外，由 于其具有很好的机械强度，因此即使将多个填充有液体的容器叠起，叠在下层的液体容器 也不会发生破损。而且，当将多个液体容器叠起时，由于叠在下层的液体容器的附有栓体的 排出口嵌入支承台的贯穿部，叠在下层的顶部与支承台的底部卡合，因此能稳定地层叠且 可节省保管空间。此外，由于容器主体呈圆底，因此可减少送液时的液体残量。根据本发明的液体容器，通过由可材料再生的树脂形成，由于作为原材料可以再 生，而能循环使用，因此环保性优良。根据本发明的送液装置和送液方法，通过夹住容器主体的上下两侧，就能防止向上下方向的形变。因此，送液管的末端与圆底之间的距离不变，因此送液时能将集中到圆 底的液体毫无浪费地、可靠地残液量少地送出。作为一例，将液体的残液量为容器容量的 0.5%以下、较好为0. 以下。因此，可增加收容在液体容器中的液体的可使用量，因而能 提高产率，且可减少液体容器的更换频率，因此很好的生产性。而且，由于其使用具有很好 的机械强度的液体容器，不需要用耐压保护容器来覆盖液体容器，因此不仅使液体容器的 安装作业和更换作业程序简便，同时装置结构简单且廉价，还容易维护，因而用来作为经济 性优良的装置。此外，通过加压最高不超过200kPa的压力的气体，液体容器不会发生破损 非常安全，且因其为低压，因而可减少在液体中所产生的气泡量。根据本发明的送液装置和送液方法，通过将供应到液体容器内的气压定为IOk 50kPa，从而能进一步减少液体中所产生的气泡量。根据本发明的送液装置，通过使扣压构件具有与加压连接器抵接以将扣压构件的 移动卡定的限位件，可防止连接着加压连接器即液体容器内残留有压力的状态下，不小心 解开固定送液转接器的扣压构件，因此可防止送液转接器因压力而突飞，且可从装置上安 全的拆下液体容器。根据本发明的送液装置，通过使扣压构件和送液转接器具有限定气体供应口相对 于该扣压构件的定位机构，由于此机构能使气体供应口朝固定方向，因此能方便地将加压 连接器与气体供应口连接，且能迅速且方便地进行液体容器的安装作业。而且，与气体供应 口相连的加压连接器和限位件之间的位置关系被限定成固定的位置关系，因此，限位件能 可靠地卡住扣压构件的移动。
图1是表示适用本发明的液体容器的保管状态的局部剖视主视图。图2是表示适用本发明的液体容器和送液装置的使用状态的局部剖视主视图。图3是表示适用本发明的液体容器和送液装置(主视截面)的使用状态的结构 图。图4是表示适用本发明的送液装置的使用状态的局部放大立体图。图5是表示适用本发明的另一送液装置的使用状态的局部放大立体图。(符号说明)1液体容器2容器主体3支承台5 胴部6 圆底7 顶部7a隆起部8 排出口9贯穿部11转槽(日文周回溝)12突起部
13外侧圆筒部14内侧圆筒部15 底部16 栓体17 液体18保管台20送液装置21送液转接器(日文送液7夕· 夕)21a嵌合部21b管道支承部23送液管23a 末端23b 前端24定位槽25气体供应口洸压力计27安全阀28手动阀29加压源30加压连接器30a连接部30b主体部31 底座32突起部33 支柱34扣压构件35 转轴36限位件36a 通口部37定位销39连接器50光致抗蚀剂散布装置51缓冲容器52 泵53过滤器M三通阀55 喷嘴；
具体实施例方式以下，对用于实施本发明的实施方式进行详细说明，但本发明的范围并不限定于 这些实施方式。参照图1对本发明的液体容器的较为理想的实施方式进行说明。在图1中，表示将作为一例的两个本发明的液体容器1叠起并承载在保管台18上 的状态。液体容器1是一种没有成分溶出且不会污染所填充的液体17的容器，其能用于液 体17的储存、运输，或可将其直接安装到送液装置以供使用。上述液体容器1例如能较好地适用于要求有洁净的液体品质的半导体或液晶设 备的制造领域、医药领域以及食品领域。作为液体17，可列举如光致抗蚀液、酸、碱、溶剂等 在半导体或液晶设备制造时所采用液体、或是消毒液、输液、透析液等医药用液体、或是香 料、浓缩液、食品添加物等食品领域所采用的液体。以下，作为一个例子，对液体17为半导 体或液晶设备制造时所采用的光致抗蚀液的情形加以说明。如图1所示，液体容器1由容器主体2和支承台3构成。容器主体2的大致呈圆筒状的胴部5的下部侧(图中下侧)为圆底6，胴部5的上 部侧(图中上侧)为被形成有排出口 8的顶部7封闭的形状。排出口 8是以形成为直径比胴部5小的圆筒状，与胴部5同心地从顶部7的中央部朝 容器外侧突设而形成。排出口 8的外周形成有阳螺栓，从而可与形成有阴螺栓的栓体16拆装。顶部7的从排出口 8的下端到胴部5的部分也可形成为大致平坦的形状，但是如 图1所示，由于将从排出口 8的下端到胴部5的部分形成为缓缓向下倾斜的形状能增加容 器的耐压强度，因而较为理想。此外，若如上所述将顶部7形成为向下倾斜，则由于在液体 容器1使用后，将容器主体2上下颠倒就能容易排出稍许残留在液体容器1中的残液或洗 净液，从材料再生的观点来看较为理想。此外，为了在将支承台3叠到顶部7上方时支承台 3不会左右偏离，较为理想的是，形成使顶部7上部隆起成直径比贯穿部9稍小的隆起部7a 以与后述的贯穿部9相嵌。在胴部5的圆底6侧形成有用于嵌入支承台3的转槽11。容器主体2形成例如1 200L (升)这样能收容所希望容量的液体17。容器主体 2的直径在容量为IL时形成例如直径为90mm而在容量为200L时形成例如直径为600mm，其直径及容量可为任意大小。容器主体2是对弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成型以使至少其内 表面层是由高纯度热塑性树脂形成。例如，当容器主体2是由多层结构的壁部形成时，其 内表面层由高纯度热塑性树脂形成，其他任意一层只要由弯曲弹性率至少为700MPa的热 塑性树脂形成即可，或是由热塑性树脂形成的多层结构的壁部只要是整体具有至少700MPa 的弯曲弹性率形成即可。此外，当容器主体2是由单层的壁部形成时，只要使用弯曲弹性率 至少为700MPa的高纯度热塑性树脂形成即可。不管是哪一种，均可使用公知的吹塑成型机 成形。弯曲弹性率的测定方法依照JISCJIS:日本工业规格)K7171的方法进行。对容器主体2供应最高不超过压力200kPa的气体，当通过这种加压来输送液体17 时，作为防止容器破损或较大变形所需的强度，需要容器树脂的弯曲弹性率至少为700MPa。 若弯曲弹性率不足700MPa，则当被加压时，容器的变形较大，就会需要像以往的液体容器那 样，用例如不锈钢耐压容器这样的耐压保护容器来覆盖容器主体2以进行保护。
由于容器主体2的板厚越厚越能提高容器强度，但若过厚则不仅需要较多的原材 料还会使容器重量变重，因此只要用弯曲弹性率至少为700MI^就能在容易成形的范围内 形成较薄的板厚，因而较为理想。作为一个例子，若具有1.5-4mm左右的板厚，则由于也容 易进行成形，因而较为理想。在此，高纯度热塑性树脂是指不会浸出规定标准值以上的杂质微粒到液体17中 的树脂。具体而言，当将液体17长时间储存在容器主体2中时，也可以将清洁度作为表示 因浸出杂质微粒而使品质降低的程度的指标。清洁度的定义是将超纯水或光致抗蚀液储存 在检测容器中一定期间后，计算ImL(毫升)所储存的内容物中存在多少粒径0. 2 μ m以上 的微粒。具体而言，其定义如下式
权利要求
1.一种液体容器，包括容器主体，该容器主体是由弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成型，在大致 呈圆筒状的胴部形成有圆底，顶部具有与所述胴部同心的排出口，所述容器主体能对液体 进行收容，且所述排出口有可进行拆装的栓体；以及树脂制的支承台，为了能使容器主体自立，该支承台与所述胴部的所述圆底侧嵌合，其 特征在于，所述容器主体的至少内表面是由不会在液体中浸出规定标准值以上的杂质微粒的高 纯度热塑性树脂形成，当将多个容器主体叠起时，在所述支承台上形成有可对叠在下层的所述容器主体的带 有所述栓体的所述排出口进行收容的贯穿部，并且形成有可与叠在下层的所述容器主体的 顶部卡合的底部。
2.如权利要求1所述的液体容器，其特征在于，形成所述容器主体和/或所述支承台的 树脂是可材料再生的树脂。
3.—种送液装置，安装有如权利要求1或2所述的液体容器，以将所述液体容器内的液 体送出，其特征在于，包括底座，该底座安装有所述液体容器，并具有突起部，该突起部与所述支承台的所述贯穿 部相嵌而与所述容器主体的所述圆底抵接；送液转接器，该送液转接器能代替所述栓体而相对于所述排出口拆装，且能对所述容 器主体进行密封，所述送液转接器具有气体供应口和送液管，其中，所述气体供应口用于与 最高不超过200kPa的压力的加压源连接，以对所述容器主体内供应气体，所述送液管的末 端位于与所述容器主体内的所述圆底的最底部接近的位置，且所述送液管的前端导出到所 述容器主体的外部；以及扣压构件，该扣压构件可自由运动地设置在从所述底座起立设置的支柱上，且能在和 与所述排出口相嵌的所述送液转接器的上部抵接的位置上固定其动作。
4.如权利要求3所述的送液装置，其特征在于，在所述气体供应口上连接有压力为 IOk 50kPa的所述加压源。
5.如权利要求3或4所述的送液装置，其特征在于，在所述气体供应口上可连接地形成 有与所述加压源相连的加压连接器，所述扣压构件具有限位件，当在与所述送液转接器的 上部抵接的状态下将所述加压连接器与所述气体供应口连接时，所述限位件与所述加压连 接器抵接而将所述扣压构件的移动卡定。
6.如权利要求5所述的送液装置，其特征在于，所述扣压构件和所述送液转接器具有 定位机构，该定位机构相互嵌合以限定对所述气体供应口相对于所述扣压构件的位置。
7.—种送液方法，其特征在于，在如权利要求1或2所述液体容器中填充液体，将送液 管的末端插入到圆底的最底部附近，并将所述送液管的前端导出到外部，夹住所述液体容 器的容器主体的上下两侧，在所述液体容器内供应最高不超过200kPa的压力的气体，将液 体从所述液体容器送出。
8.如权利要求7所述的送液方法，其特征在于，所述气体的压力为IOk 50kPa。
全文摘要
一种液体容器、液体送出装置以及送液方法，所述液体容器不仅能高品质维持所填充的液体，还能节省空间储存液体，并且能将液体送出时的残液量减少到非常小，且可以送出，所述液体送出装置以及送液方法能方便地进行所述液体容器的安装作业和更换作业、且结构简单、廉价、能可靠地减少液体容器内的残液量，并能将液体安全地送出。液体容器(1)包括由具有弯曲弹性率至少为700MPa的热塑性树脂吹塑成形而成的圆底的容器主体(2)和支承台(3)，容器主体(2)的内表面由高纯度热塑性树脂形成，支承台(3)形成有贯穿部(9)。送液装置(20)在液体容器(1)上将送液管(23)的末端(23a)插入到圆底(6)的最底部附近，用突起部(32)和扣压构件(34)夹住容器主体(2)的上下两侧，供应压力为200kPa的气体，将液体(17)送出。
文档编号B65D47/06GK102050248SQ20101054444
公开日2011年5月11日 申请日期2010年11月3日 优先权日2009年11月4日
发明者太田康之, 川合惠治 申请人:爱赛璐化学株式会社