技术总结
本发明提供了一种片盒存取设备及方法，所述片盒存取设备包括：第一支撑架，用于放置片盒；片盒进出口，设置存放或取出片盒的工作工位；缓存区，具有多个动态运行的工位，用于动态运输从所述片盒进出口处放置在缓存区中的片盒或者将缓存区的工位处的片盒动态运输至片盒进出口处；机械手，在缓存区及第一支撑架之间搬运片盒。本发明提供了一种片盒存取设备及方法，通过在缓存区中设置动态运作的工位传输片盒，大大节省了用户的等待时间。
技术研发人员：冯日盛;许琦欣
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510406186
技术研发日：2015.07.10
技术公布日：2017.01.11