传送系统的制作方法

文档序号:12567287阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种传送系统,所述传送系统包括清洁装置和多个传送滚轮,其特征在于,所述清洁装置包括多个第一喷洒头,至少一个所述传送滚轮对应至少一个所述第一喷洒头,每个所述传送滚轮能够相对于与之对应的所述第一喷洒头旋转,所述第一喷洒头能够喷洒清洁剂,以清洁相应的所述传送滚轮。

2.根据权利要求1所述的传送系统,其特征在于,所述第一喷洒头包括第一壳体,所述第一壳体朝向所述传送滚轮的壁与所述传送滚轮之间设置有间隙,所述第一壳体内形成有第一容纳腔,所述第一壳体朝向所述传送滚轮的壁上形成有与所述第一容纳腔连通的至少一个喷洒孔,且所述第一壳体上形成有与所述第一容纳腔连通的进液孔。

3.根据权利要求2所述的传送系统,其特征在于,所述第一喷洒头的第一壳体上还形成有与所述第一容纳腔连通的第一进气孔。

4.根据权利要求2所述的传送系统,其特征在于,所述第一壳体朝向所述传送滚轮的壁向所述第一容纳腔内部凹陷,以形成容纳槽,所述传送滚轮的一部分位于所述容纳槽中。

5.根据权利要求4所述的传送系统,其特征在于,至少一个所述第一喷洒头还包括设置在所述容纳槽中的擦拭件,所述擦拭件与所述传送滚轮的表面接触,所述清洁剂能够穿过所述擦拭件到达所述传送滚轮上。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的传送系统,其特征在于,所述清洁装置还包括第一干燥头,所述传送系统包括沿传送方向排列的入口区、工作区和出口区,所述工作区包括沿传送方向依次设置的液体清洗子区域和干燥子区域,在所述入口区、所述干燥子区域和所述出口区,每个所述传送滚轮还对应至少一个所述第一干燥头,所述第一干燥头包括第二壳体,所述第二壳体内形成有第二容纳腔,所述第二壳体朝向所述传送滚轮的壁上形成有与所述第二容纳腔连通的至少一个喷气孔,且所述第二壳体上形成有与所述第二容纳腔连通的第二进气孔。

7.根据权利要求6所述的传送系统,其特征在于,所述第一壳体和所述第二壳体对应的所述传送滚轮的圆心角不超过180°。

8.根据权利要求6所述的传送系统,其特征在于,所述工作区还包括设置在入口区和所述液体清洗子区域之间的刻蚀子区域,所述刻蚀子区域中的所述传送滚轮不对应所述第一喷洒头。

9.根据权利要求6所述的传送系统,其特征在于,所述干燥子区域的宽度方向的至少一侧设置有夹持机构,所述夹持机构包括沿所述送方向排列的多对夹持滚轮,每对所述夹持滚轮之间形成有用于夹持基片的间隔,每个所述夹持滚轮上设置有第二喷洒头和第二干燥头,所述第二喷洒头用于清洁所述夹持滚轮,所述第二干燥头用于对所述夹持滚轮的表面进行干燥。

10.根据权利要求9所述的传送系统,其特征在于,所述第二喷洒头的结构与所述第一喷洒头的结构相同,所述第二干燥头的结构与所述第一干燥头的结构相同。

11.根据权利要求9所述的传送系统,其特征在于,所述夹持滚轮的表面设置有水晶O型环。

12.根据权利要求6所述的传送系统,其特征在于,所述清洁装置还包括多组进液管和多组进气管,每组所述进液管包括至少一个所述进液管,每组所述进气管包括至少一个所述进气管,每组所述进液管的两端分别与位于同一行或同一列中相邻的两个所述第一喷洒头的进液孔连通,每组所述进气管的两端分别与位于同一行或同一列中相邻的两个所述第一干燥头的所述第二进气孔连通。

13.根据权利要求12所述的传送系统,其特征在于,每组所述进液管包括多个所述进液管,

同一组进液管中的多个所述进液管输入的所述清洁剂相同;或者

当所述第一喷洒头的第一壳体上还形成有与所述第一容纳腔连通的第一进气孔时,同一组进液管中的多个所述进液管中的至少一个与所述第一喷洒头的第一进气孔连通,并用于输入与其他所述进液管输入的清洁剂不同的清洁剂。

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