工作台抬升机构的制作方法

本发明涉及升降机构技术领域，尤其涉及一种工作抬升机构。

背景技术：

工作台抬升机构是一种在生成过程中辅助生成的升降机构。

在半导体、集成电路等领域，涉及基板的输送，基板定位等相关工艺的设备一般都配置有三维调整工作台，通过三维调整工作台实现水平x向、水平y向、垂直z向三个方向的定位运动。

目前传统工艺设备的工作台三个运动方向均采用独立控制的方式，并且工作台升降机构常采用气缸驱动以及滚珠丝杠，配合伺服电机驱动等方式实现z向升降。传统的工作台抬升机构存在以下不足：

（1）结构复杂臃肿，操作不灵活，检查、维修部方便；

（2）工作台抬升机构电气控制繁琐，操作不方便。

技术实现要素：

本发明的目的是针对上述技术问题，提供工作抬升机构，其结构简单，采用楔形机构简化了机构的复杂程度，使用一个动力源控制实现水平运动转换为垂直运动，降低了机构的控制难度及综合成本。

本发明的技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供的工作抬升机构，包括底板，下层工作台，上层工作台，位于下层工作台与下层工作台之间的拉簧，机械限位块及滚轮导向机构。

底板上设置有一对水平导轨，下层工作台通过水平导轨副与底板上的水平导轨连接；下层工作台的上部设置有斜面块，斜面块上设置有斜面导轨，上层工作台通过导轨滑块副与下层工作台上的斜面导轨连接；机械限位块设置在限位块底座上，限位块底座固定在底板上；滚轮导向机构设置在上层工作台上，其上的滚轮与机械限位块相抵接。

进一步地，所述下层工作台包括下层板，水平导轨副位于下层板的底部，其固定位置与水平导轨的位置相对应，斜面块设置在下层板的上部，其固定位置与斜面导轨的位置相对应。

进一步地，所述斜面块的数量至少为一对。

进一步地，所述上层工作台包括上层板，上层板的两侧设置有滑块座，斜面导轨位于滑块座上。

进一步地，所述滚轮导向机构包括滚轮及滚轮轴，滚轮设置在滚轮轴上，并安装在上层工作台端部的两侧。

进一步地，所述工作台抬升机构还包括挂簧销，挂簧销固定在下层板一侧的凹槽内；所述拉簧一端固定在挂簧销上，其另一端固定在上层板上。

进一步地，所述斜面块的数量为两对。

本发明有益效果：

本发明提供的工作台抬升机构，其结构简单，操作灵活，具有以下有益效果：

（1）采用楔形机构简化了机构的复杂程度，操作灵活；

（2）只需配置一个动力源控制即可实现水平运动转换为垂直运动，降低了机构的控制难度及综合成本。

附图说明

通过结合以下附图所作的详细描述，本发明的上述优点将变得更清楚和更容易理解，这些附图只是示意性的，并不限制本发明，其中：

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明之工作台上升示意图；

图3是本发明之工作台下降示意图；

图4是本发明之下层工作台轴测图；

图5是本发明之上层工作台轴测图。

附图中，各标号所代表的部件如下：

1.底板；2.水平导轨；3.水平导轨副；4.下层板；5.斜面块；6.滑块座；7.限位块底座；8.机械限位块；9.拉簧；10.滚轮；11.上层板；12.滚轮轴；13.导轨滑块副；14.斜面导轨；15.挂簧销。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图，对本发明所述的工作台抬升机构进行详细说明。

在此记载的实施例为本发明的特定的具体实施方式，用于说明本发明的构思，均是解释性和示例性的，不应解释为对本发明实施方式及本发明范围的限制。除在此记载的实施例外，本领域技术人员还能够基于

本技术：
权利要求书和说明书所公开的内容采用显而易见的其它技术方案，这些技术方案包括采用对在此记载的实施例的做出任何显而易见的替换和修改的技术方案。

本说明书的附图为示意图，辅助说明本发明的构思，示意性地表示各部分的形状及其相互关系。请注意，为了便于清楚地表现出本发明实施例的各部件的结构，相同的参考标记用于表示相同的部分。

图1至图5是本发明所述的工作台抬升机构的相关示意图。

工作台抬升机构的结构示意图，如图1所示，其包括底板1，下层工作台，上层工作台，位于下层工作台与下层工作台之间的拉簧9，机械限位块8及滚轮导向机构。

底板1上设置有一对水平导轨2，下层工作台通过水平导轨副3与底板1上的水平导轨2连接；下层工作台的上部设置有斜面块5，斜面块5上设置有斜面导轨14，上层工作台通过导轨滑块副13与下层工作台上的斜面导轨14连接；机械限位块8设置在限位块底座7上，限位块底座7固定在底板1上；滚轮导向机构设置在上层工作台上，其上的滚轮10与机械限位块8相抵接。滚轮导向机构上设置的滚轮10与限位块接触后可降低接触摩擦力，实现上层工作台沿斜面导轨上升。

当外力驱动工作台升降机构时，下层工作台向水平y向运动，安装于滑块座6侧面两端的滚轮10与机械限位块8接触，滚轮10受机械限位块8反向阻力作用实现转动，减小了与机械限位块8之间的摩擦力，同时上层工作台沿导轨斜面13向上运动，实现上层工作台沿垂直z向上升，如图2所示。

当工作台升降机构与机械限位块8脱离时，受拉簧9的拉力作用，上层工作台沿斜面导轨14下行至初始位，实现上层工作台沿垂直z向下降，如图3所示。

所述下层工作台结构示意图，如图4所示，其包括下层板4，水平导轨副3位于下层板4的底部，其固定位置与水平导轨2的位置相对应，斜面块5设置在下层板4的上部，其固定位置与斜面导轨14的位置相对应；具体地，斜面块5与斜面导轨14通过螺钉相连，共同固定在下层板4上，下层板4则通过螺钉与水平导轨2和水平导轨副3相连接，并固定在底板1上。

所述斜面块5的数量至少为一对，在途1所示的实施例中，所述斜面块5的数量为两对。

图5是上层工作台的结构示意图，其包括上层板11，上层板11的两侧设置有滑块座6，斜面导轨14位于滑块座6上；上层板11与滑块座6采用螺钉固定，导轨滑块副13通过螺钉安装于滑块座6下斜面。

所述滚轮导向机构包括滚轮10及滚轮轴12，滚轮10设置在滚轮轴12上，滚轮10与滚轮轴12通过紧配合装配，并安装在滑块座6侧面两端孔内。

所述工作台抬升机构还包括挂簧销15，挂簧销15固定在下层板4一侧的凹槽内；所述拉簧9一端固定在挂簧销15上，其另一端固定在上层板11上。

本发明提供的工作台抬升机构，其结构简单，操作灵活，采用楔形机构简化了机构的复杂程度，使用一个动力源控制实现水平运动转换为垂直运动，降低了机构的控制难度及综合成本，具有良好的推广价值。

本发明不局限于上述实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开的工作台抬升机构，包括底板，下层工作台，上层工作台，位于下层工作台与下层工作台之间的拉簧，机械限位块及滚轮导向机构；底板上设置有一对水平导轨，下层工作台通过水平导轨副与底板上的水平导轨连接；下层工作台的上部设置有斜面块，斜面块上设置有斜面导轨，上层工作台通过导轨滑块副与下层工作台上的斜面导轨连接；机械限位块设置在限位块底座上，并固定在底板上；滚轮导向机构设置在上层工作台上，其上的滚轮与机械限位块相抵接。本发明提供的工作台抬升机构，其结构简单，操作灵活，采用楔形机构简化了机构的复杂程度，使用一个动力源控制实现水平运动转换为垂直运动，降低了机构的控制难度及综合成本，具有良好的推广价值。

技术研发人员：王慧;任晓庆;杨志
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：2017.04.26
技术公布日：2017.08.18