一种传送装置、基板传输系统和基板传输方法与流程

本发明涉及设备制造领域，特别涉及一种传送装置、基板传输系统和基板传输方法。

背景技术：

在显示面板的制造过程中，需要经过多种工艺，例如：配向层工艺、摩擦工艺、成盒工艺等，在各工艺之间需要通过传送装置对基板进行传输。图1为现有传送装置的结构示意图，传送装置包括多个平行设置的传送轴1，传送轴1上固定设置有多个滚轮2，沿与传送轴1垂直的方向形成多个滚轮列4，各滚轮列4中的各个滚轮2相互对齐设置。当传送装置工作时，传送轴1带动位于其上的滚轮2转动，各个滚轮2在在摩擦力的作用下带动基板3水平传输。

在基板传送过程中，基板表面的同一位置经滚轮列中全部滚轮的连续摩擦，容易导致基板表面的同一位置处的表面损伤，而且，现有市场对显示面板轻薄化的要求越来越高，基板均需要进行减薄处理，即利用酸碱刻蚀液对基板表面进行刻蚀，在基板减薄过程中，基板表面的损伤会影响酸碱刻蚀液对基板表面的刻蚀均一性，从而导致与滚轮列相接触的基板表面产生凹点、划伤等外观不良的不良率较高，影响显示面板的生产良率。

技术实现要素：

本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供一种传送装置、基板传输系统和基板传输方法，用以至少部分解决现有传送装置损伤基板表面的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种传送装置，包括多个平行设置的传送轴，各所述传送轴上设置有至少一个滚轮，各所述传送轴上的滚轮在传送面内形成至少一个滚轮列，所述滚轮列中的至少两个滚轮沿传送方向交错设置。

优选的，所述滚轮列中的各个滚轮沿传送方向均相互交错设置。

优选的，各所述传送轴上设置有多个滚轮，各所述传送轴上的滚轮在所述传送面内形成相应数量的滚轮列。

优选的，各所述滚轮列在所述传送面内均匀分布。

优选的，各所述滚轮列中的滚轮在所述传送面内呈直线排列。

优选的，相邻所述滚轮列在所述传送面内呈v形分布。

优选的，各所述滚轮列中的滚轮在所述传送面内呈折线排列。

优选的，相邻所述滚轮列在所述传送面内呈轴对称分布。

本发明还提供一种基板传输系统，包括如前所述的传送装置。

本发明还提供一种基板传输方法，所述基板传输方法应用于如前所述的传送装置。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供一种传送装置、基板传输系统和基板传输方法，所述传送装置包括多个平行设置的传送轴，各传送轴上设置有至少一个滚轮，各传送轴上的滚轮在传送面内形成至少一个滚轮列，滚轮列中的至少两个滚轮交错设置。当传送装置传送基板时，滚轮列内至少有两个滚轮并排摩擦基板表面，可以减少基板表面上同一位置上所经过摩擦的滚轮的个数，相应减少基板表面同一位置处的损伤程度，提高基板表面的平整度，在基板的减薄过程中，提高酸碱刻蚀液对基板表面的刻蚀均一性，进而降低显示面板的表面产生凹点、划伤等外观不良的发生率，从而提高显示面板的生产良率。

附图说明

图1为现有的传送装置的俯视图；

图2为本实施例提供的传送装置的俯视图一；

图3为本实施例提供的传送装置的俯视图二；

图4为本实施例提供的传送装置的俯视图三；

图5为本实施例提供的传送装置的俯视图四。

图例说明：

1、传送轴2、滚轮3、基板4、滚轮列5、第一部分

6、第二部分

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的一种传送装置进行详细描述。

本实施例提供一种传送装置，如图2所示，所述传送装置包括多个平行设置的传送轴1，各传送轴1上设置有至少一个滚轮2，转动机构(图中未绘示)带动传送轴1转动，传送轴1带动其上的滚轮2转动，以使滚轮2在摩擦力的作用下水平传输基板3。各传送轴1上的滚轮2在传送面内形成至少一个滚轮列4，滚轮列4中的至少两个滚轮2沿传送方向交错设置。具体的，在图2中，各传送轴1沿横向平行排布。需要说明的是，各滚轮列4中滚轮2的数量与传送轴1的数量相同，且滚轮2与传送轴1一一对应，即对于一个滚轮列4来说，一个传送轴1上设置一个滚轮2。在本实施例中，是以传送装置包括六个传送轴1，各滚轮列4均包括位于不同传送轴1上的六个滚轮2为例进行说明的。

本实施例提供的传送装置，由于滚轮列4中的至少两个滚轮2交错设置，所以当传送装置传送基板3时，滚轮列4内至少有两个滚轮2并排摩擦基板3的表面，可以减少基板3表面上同一位置上所经过的滚轮2的个数，相应减少基板3表面同一位置处的损伤程度，提高基板3表面的平整度，在基板3减薄过程中，提高酸碱刻蚀液对基板3表面的刻蚀均一性，进而降低显示面板的表面产生凹点、划伤等外观不良的发生率，从而提高显示面板的生产良率。

优选的，如图2所示，滚轮列4中的各个滚轮2沿传送方向均相互交错设置。也就是说，滚轮列中的各个滚轮2在各传送轴1上的位置不同(即图2中同一滚轮列4中各个滚轮2的x轴坐标不同)，这样，当传送装置传送基板3时，基板3表面同一位置仅经过一个滚轮2的摩擦，大幅的减少基板3表面同一位置处的损伤程度，使基板3表面的平整度更好。

需要说明的是，如图1所示，假若现有传送装置的滚轮列4中的某个滚轮2表面异常，在传送装置传送基板3的过程中，该异常滚轮2异常摩擦基板3的表面，导致显示面板凹点、划伤等外观不良高发，由于滚轮列4中各个滚轮2均对齐设置，很难在异常滚轮2所在的滚轮列4中排查出该异常滚轮2的位置，排查效率低。在本实施例中，为解决上述排查异常滚轮2的难度大和效率低的问题，将滚轮列4中的各个滚轮2沿传送方向均相互交错设置，使基板3表面同一位置仅经一个滚轮2的摩擦，从而可以通过基板3不同位置与不同滚轮2的对应关系，确定异常滚轮2的位置，提高排查效率。

优选的，如图2所示，滚轮列4中相邻的滚轮2沿传送轴1方向上的间距相等。也就是说，滚轮列4中的滚轮2在x轴方向上均匀分布，这样，当传送装置传送基板3时，滚轮列4中的滚轮2可以均匀支撑基板3，使基板3在自身重力作用下产生的变形量较小，从而可以避免由于基板3变形量较大所导致的不良。

需要说明的是，滚轮列4中相邻的滚轮2沿x轴方向上的间距的大小在此没做限定，由于该间距要同时考虑滚轮列中滚轮2沿传送轴1方向上的最大间距(即滚轮列4的宽度)，滚轮列4中滚轮2的数量和滚轮2的厚度等因素，因此，滚轮列4中相邻的滚轮2沿传送轴1方向上的间距要依据实际情况而定。

如图2所示，各传送轴1上可以设置有多个滚轮2，各传送轴1上的滚轮2在传送面内形成相应数量的滚轮列4。具体的，各传送轴1上均设置有相同数量的多个滚轮2，滚轮列4的数量与一个滚轮轴1上滚轮2的数量相等。在本实施例中，各传送轴1上均设置有五个滚轮2，各传送轴1上的滚轮2在传送面内形成五个的滚轮列4。

需要说明的是，传送轴1上的滚轮2的数量在此没做限定,传送轴1上的滚轮2的数量与基板3的尺寸相关，基板3的尺寸越大，传送轴1上的滚轮2数量越多，基板3的尺寸越小，传送轴1上的滚轮2数量越少。

优选的，各滚轮列4在传送面内均匀分布。具体的，各滚轮列4中滚轮2沿传送轴1方向(即x轴方向)上的最大间距均相同(即图中所示的间距l)，即各滚轮列4的宽度相同。各滚轮列4可以在传送面内均匀支撑进行传送的基板3，进一步减小基板3在自身重力作用下产生的变形量。

需要说明的是，为了提高各滚轮列4对进行传送的基板3的支撑效果，各滚轮列4中滚轮2沿传送轴1方向上的最大间距l为100cm-600cm。

优选的，如图2所示，各滚轮列4中的各个滚轮2之间沿传送方向均相互交错设置。也就是说，不同滚轮列4中各个滚轮2的x轴坐标不同。在排查异常滚轮2的过程中，可以避免不同滚轮列4中的滚轮2之间的位置干涉，从而可以更快的确定异常滚轮2的位置，排查效率更高。

以下结合图2、图3、图4和图5，对滚轮列4中各滚轮2的两种优选排布方式进行详细说明。

滚轮列4中各滚轮2的一种优选排列方式，如图2和图3所示，各滚轮列4中的滚轮2在传送面内呈直线排列。

如图2所示，相邻滚轮列4在传送面内可以呈v形分布。具体的，在传送面内，奇数滚轮列4中的各滚轮的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐增大，偶数滚轮列4中的各滚轮的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐减小，这样，相邻的滚轮列4可以更均匀的支撑基板3，进而减小基板3在自身重力作用下产生的变形量的效果更佳。

需要说明的是，在传送面内，奇数滚轮列4中的各滚轮的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐减小，偶数滚轮列4中的各滚轮的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐增大也是可行的。

如图3所示，各滚轮列4在传送面内也可以平行分布。具体的，在传送面内，各滚轮列4中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐增大。当然，在传送面内，各滚轮列4中的各滚轮的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐减小也是可行的。

滚轮列4中各滚轮2的另一种优选排列方式，如图4和图5所示，各滚轮列4中的滚轮2在传送面内可以呈折线排列。具体的，在本实施例中，滚轮列4可以包括第一部分5和第二部分6，在传送面内，第一部分5中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐减小，第二部分6中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐增大。或者，第一部分5中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐增大，第二部分6中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐减小。

如图4所示，相邻滚轮列4在传送面内可以呈轴对称分布。

如图5所示，各滚轮列4在传送面内也可以平行分布。具体的，在传送面内，各滚轮列4的第一部分5中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐增大，第二部分6中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐减小。当然，在传送面内，各滚轮列4的第一部分5中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐减小，第二部分6中的各滚轮2的x轴坐标逐渐增大，且y坐标逐渐增大也是可行的。

需要说明的是，为了解决现有传送装置的滚轮列中的全部滚轮连续摩擦基板同一位置，导致基板同一位置处的表面损伤的问题，可以将滚轮的材质替换为软性材料，以减小滚轮对基板的表面的摩擦力。也可以将滚轮替换为吸附装置，利用吸附装置吸附固定基板，并带动基板移动，以实现基板表面无摩擦传输。还可以将滚轮替换为传送带，利用传送带运输基板，以减小对基板表面的损伤。

本发明还提供一种传输系统，所述传输系统包括上述所述的传送装置。所述传输系统可以为刻蚀设备、光刻胶涂覆设置、剥离设备、配向层涂覆设备等任何具有滚轮传送功能的设备或部件。

本发明还提供一种基板传输方法，所述传输方法应用于上述所述的传送装置。结合图2所示，所述基板传输方法包括：将基板3放置在滚轮2上，利用转动机构带动各传送轴1转动，各传送轴1带动其上的各滚轮2转动，各滚轮2在摩擦力的作用下将基板3水平传输。

由于传送装置的滚轮列4中的至少两个滚轮2交错设置，所以采用上述基板传输方法传输基板，可以减少基板3表面同一位置处的损伤程度，提高基板3表面的平整度，在基板3减薄过程中，相应提高酸碱刻蚀液对基板表面的刻蚀均一性，从而降低显示面板的表面产生凹点、划伤等外观不良的发生率，进而提高显示面板的生产良率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。