玻璃膜剥离装置的制作方法

本申请是申请人日本电气硝子株式会社的国际申请日为2014年9月12日、国际申请号为pct/jp2014/074202、进入中国国家阶段的申请号为201480040414.5、发明名称为“玻璃膜剥离装置”的发明申请的分案申请。

本发明涉及一种使层叠在支承体上的具有挠性的玻璃膜从该支承体剥离的玻璃膜剥离装置。

背景技术：

众所周知，针对薄壁化(例如，板厚为300μm)的具有挠性的玻璃膜、以及支承该玻璃膜的支承玻璃，分别将成为相互接触一侧的面的接合面的表面粗糙度ra设为2.0nm以下，使两接合面直接地面接触，从而将玻璃膜与支承玻璃层叠而形成玻璃膜层叠体。

根据该玻璃膜层叠体，通过与支承玻璃层叠，从而玻璃膜的容易挠曲的性质被暂时排除，并且玻璃膜与支承玻璃适度地密接而作为一体的构件进行动作。因此，玻璃产品的制造工序中的玻璃膜的操作极为简便。

例如，液晶显示器(lcd)用的玻璃膜在其制造工序中，在层叠于支承玻璃上而形成玻璃膜层叠体后，被实施透明电极的形成等各种处理。然后，为了装入产品中，将处理结束后的玻璃膜从支承玻璃剥离。

这里，专利文献1中虽然未将玻璃膜作为剥离的对象，然而公开了针对包含薄板玻璃基板、和经由树脂层而支承该基板的支承玻璃基板的层叠体，用于使支承玻璃基板以及树脂层(以下，将它们一并表示为支承基板)从薄板玻璃基板剥离的装置。该文献所公开的装置具备：从层叠体的侧方插入薄板玻璃基板与支承基板的彼此之间的刀片、和对支承基板的表面进行吸附的多个吸附垫。

而且，以因刀片的插入而局部剥离了的支承基板的端部为起点，吸附垫分别依次向从薄板玻璃基板分离的方向动作而拉伸支承基板，从而使该支承基板分阶段地从薄板玻璃基板剥离。需要说明的是，从各个吸附垫作用于支承基板的拉力全部基于相同的方式，以通过提高与各垫连结的工作缸内的压力而逐渐变大的方式受到控制。

在先技术文献

专利文献1：国际公开第2010/090147号

技术实现要素：

发明所要解决的课题

然而，在利用上述的玻璃膜层叠体对玻璃膜实施了与加热相伴的处理的情况下，存在该玻璃膜与支承玻璃的密接力产生分布不均的情况。例如，作为一个重要原因，可以认为是由于玻璃膜与支承玻璃密接的密接部的整个部位未被加热至相同的温度，导致玻璃膜层叠体的温度分布不均。在产生了这样的温度分布不均的情况下，在加热至相对高温的部位与仅加热至低温的部位之间，作用于玻璃膜与支承玻璃之间的密接力的大小产生差异。

详细而言，与其他的部位相比，在二者的密接部中的加热至300℃左右的部位，作用于玻璃膜与支承玻璃之间的密接力大幅增大。可以推测这是由于，通过氢键密接的玻璃膜与支承玻璃因加热而以300℃前后为界，向通过产生更强力的密接力的共价键密接的状态转移。

然后，由于部位之间产生的密接力的大小的差异，在将专利文献1所公开的装置用于从支承玻璃剥离玻璃膜的处理的情况下，会产生如下的问题。即，在该情况下，与玻璃膜与支承玻璃的密接力的大小在部位之间是否产生了差异无关地，各吸附垫对玻璃膜基于相同的方式依次施加拉力。

因此，即便在密接力大的部位，也与密接力小的部位相同地对玻璃膜施加拉力。由此，过大的应力作用在该玻璃膜上，从而导致在玻璃膜上产生破损的情况。对此，为了避免这样的不良现象的产生，可以考虑预先设想存在密接力变大的部位，以适合该部位的剥离的方式，使也包含密接力小的部位在内的整个部位以相同的方式剥离。

在通过这样的方式使玻璃膜从支承玻璃剥离的情况下，存在能够防止该玻璃膜上产生破损的可能性。然而，这使得在密接力小而原本能够以更快速度实施剥离作业的部位，也不得不以配合密接力大的部位的速度实施剥离作业。其结果是，会导致使制造效率显著恶化这一新的问题产生。

需要说明的是，不仅如上述那样在对玻璃膜与支承玻璃直接地面接触而层叠成的层叠体使玻璃膜从支承玻璃剥离的情况下会产生这样的问题。例如，在对二者经由粘合层层叠而成的层叠体使玻璃膜剥离的情况、以及从由玻璃以外的材质构成的支承体使玻璃膜剥离的情况下，因在部位间的密接力的大小的差异也同样可能产生这样的问题。

并且，不仅在一个层叠体内的玻璃膜与支承体的密接部的部位间产生了密接力的大小差异的情况下会产生这样的问题。例如，在多个玻璃膜层叠体的彼此之间产生了密接力的大小差异那样的情况下，因该差异也同样可能产生这样的问题。

鉴于上述情况而完成的本发明的技术课题在于，在使玻璃膜从支承体剥离时，能够在防止该玻璃膜的破损的同时尽可能快速地实施剥离作业。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题而完成的本发明的装置具备使层叠在支承体上的具有挠性的玻璃膜从支承体剥离的剥离单元，其特征在于，所述玻璃膜剥离装置具备：检测单元，其对与剥离玻璃膜时的阻力的大小对应地变化的特征值进行检测；和控制单元，其根据检测出的特征值对剥离单元的剥离动作进行控制。

这里，“剥离单元的剥离动作”不仅包含相对于停止的(固定的)状态的玻璃膜以及支承体，剥离单元进行动作而使玻璃膜剥离的情况，还包含相对于玻璃膜以及支承体，剥离单元相对地进行动作而使玻璃膜剥离的情况(以下相同)。

根据这种结构，通过检测单元对与剥离玻璃膜时的阻力的大小对应地变化的特征值进行检测，从而能够独立地对在玻璃膜与支承体密接的密接部的各部位作用于二者之间的密接力的大小进行检测。而且，根据检测出的特征值，控制单元能够控制剥离单元以使其进行与各部位对应的适当的剥离动作。其结果是，能够在防止玻璃膜的破损的同时尽可能快速地实施剥离作业。

在上述的结构中，剥离单元是通过在玻璃膜与支承体的彼此之间横切移动而使剥离前进部横切移动的剥离用具，剥离前进部成为玻璃膜与支承体层叠而成的层叠部和剥离后的剥离部之间的边界。

在上述的结构中，特征值是对剥离用具向移动方向的相反方向作用的阻力或者基于阻力的计算值。

若这样设置，则根据对剥离用具向移动方向的相反方向作用的阻力、或者基于阻力的计算值，能够独立地对在玻璃膜与支承体的密接部的各部位处二者的密接力的大小进行检测。其结果是，剥离用具能够进行与各部位对应的适当的剥离动作。

在上述的结构中，计算值可以是将阻力除以宽度尺寸而得到的值，所述宽度尺寸为剥离前进部的沿着剥离用具的前端部的方向的长度。

在剥离前进部的宽度尺寸发生变化的情况下，即使在玻璃膜与支承体的密接部的部位间二者的密接力的大小不存在差异，作用于剥离用具的阻力也会发生变化。因此，在控制单元根据该阻力控制剥离用具的移动的情况下，该剥离用具无法进行与各部位对应的适当的剥离动作。然而，若把将该阻力除以宽度尺寸而得到的值设为特征值，则与宽度尺寸的变化无关，并且能够检测出根据二者的密接力的大小而变化的值。其结果是，剥离用具能够进行与各部位对应的适当的剥离动作。

在上述的结构中，特征值可以是剥离用具与支承体的接触部的前端和剥离前进部之间的距离。

若这样设置，则根据接触部的前端与剥离前进部之间的距离，能够独立地对在玻璃膜与支承体的密接部的各部位处二者的密接力的大小进行检测。其结果是，剥离用具能够进行与各部位对应的适当的剥离动作。

在上述的结构中，检测单元可以包括：拍摄单元，其对包含剥离用具与支承体的接触部的前端以及剥离前进部的图像进行拍摄；和图像处理单元，其通过处理图像而检测距离。

若这样设置，则通过边缘检测处理等图像处理，能够更可靠地检测出接触部的前端与剥离前进部之间的距离。因此，能够提高剥离用具进行与各部位对应的适当的剥离动作方面的精度。

在上述的结构中，控制单元优选根据特征值与特征值的规定的标准值，执行以下控制中的某个控制：(1)加快剥离用具的移动速度；(2)减慢剥离用具的移动速度；(3)使剥离用具停止；(4)使剥离用具向相反方向移动。

若这样设置，则根据检测出的特征值与该特征值的规定的标准值，在玻璃膜与支承体的密接力小的部位，控制单元通过执行(1)加快剥离用具的移动速度的控制，能够更快速地实施该部位处的玻璃膜的剥离。另一方面，在二者的密接力大的部位，控制单元通过分阶段地执行(2)减慢剥离用具的移动速度、(3)使剥离用具停止、(4)使剥离用具向相反方向移动的控制，能够更准确地防止该部位处在玻璃膜上产生破损。更详细而言，有剥离用具的力向玻璃膜传递直至在玻璃膜上产生破损为止，存在某种程度的延迟的情况。因此，对剥离时的阻力的大小进行检测，在该瞬间执行使剥离用具停止等的控制，由此能够防止玻璃膜的破损。

在上述的结构中，也可以构成为检测单元在以剥离用具的与移动方向正交的方向的中央部为基准的两侧，单独地检测特征值，并且控制单元在以剥离用具的中央部为基准的各侧，根据检测出的特征值来单独地控制该剥离用具的移动速度。

若这样设置，则在以剥离用具的中央部为基准的两侧的部位处玻璃膜与支承体的密接力的大小不同的情况下，能够在剥离用具的两侧中的一侧相对于另一侧先行的状态下移动。由此，能够避免原本应当能以更快的速度实施剥离作业的一侧(密接力小的部位的一侧)不得不以配合只能以低速实施剥离作业的一侧(密接力大的部位的一侧)的速度实施剥离作业那样的情况。其结果是，能够更快速地使玻璃膜剥离。

在上述的结构中，也可以构成为剥离用具具有从该剥离用具向剥离前进部侧喷射流体的流体喷射单元，控制单元根据特征值来控制由流体喷射单元喷射的流体的喷射量。

若这样设置，则在玻璃膜与支承体的密接力小的部位，通过从剥离用具向剥离前进部侧喷射流体，能够进一步促进使玻璃膜从支承体剥离。

在上述的结构中，剥离单元可以是吸附构件，所述吸附构件通过在吸附了玻璃膜与支承体中的一方的表面的状态下向从另一方离开的离开方向移动，从而使剥离前进部横切移动，所述剥离前进部成为玻璃膜与支承体层叠而成的层叠部和剥离后的剥离部之间的边界。

在上述的结构中，特征值可以是对吸附构件向离开方向的相反方向作用的阻力。

若这样设置，则根据对吸附构件向离开方向的相反方向作用的阻力，能够独立地对在玻璃膜与支承体的密接部的各部位处二者的密接力的大小进行检测。其结果是，吸附构件能够进行与各部位对应的适当的剥离动作。

在上述的结构中，特征值可以是剥离前进部横切移动时的移动速度或者加速度。

若这样设置，则根据剥离前进部横切移动时的移动速度或者加速度，能够独立地对在玻璃膜与支承体的密接部的各部位处二者的密接力的大小进行检测。其结果是，吸附构件能够进行与各部位对应的适当的剥离动作。

在上述的结构中，优选控制单元根据特征值与该特征值的规定的标准值，执行以下控制中的某个控制：(1)加快吸附构件的向离开方向的移动速度；(2)减慢吸附构件的向离开方向的移动速度；(3)使吸附构件停止；(4)使吸附构件向离开方向的相反方向移动。

若这样设置，则根据检测出的特征值与该特征值的规定的标准值，在玻璃膜与支承体的密接力小的部位，控制单元通过执行(1)加快吸附构件的向离开方向的移动速度的控制，能够更快速地实施该部位处的玻璃膜的剥离。另一方面，在二者的密接力大的部位，控制单元通过分阶段地执行(2)减慢吸附构件的向离开方向的移动速度、(3)使吸附构件停止、(4)使吸附构件向离开方向的相反方向移动的控制，能够更准确地防止该部位处在玻璃膜上产生破损。

在上述的结构中，优选玻璃膜剥离装置具备多个吸附构件，多个吸附构件分别对由界线将一方的表面划分成多个区域而成的各区域进行吸附，并且从位于剥离前进部的横切移动预定方向的上游侧的吸附构件起，相邻的吸附构件依次向离开方向移动，所述界线沿与横切移动预定方向正交的方向延伸。

若这样设置，则由于该玻璃膜剥离装置具备分别对划分成多个区域而成的各区域进行吸附的多个吸附构件，因此能够对每个吸附构件应当从支承体剥离的玻璃膜的部位进行细分化。由此，能够更准确地对在玻璃膜与支承体密接的密接部的各部位作用于二者之间的密接力的大小进行检测而作为特征值。其结果为，有利于吸附构件分别进行适当的剥离动作。

发明效果

如上述那样，根据本发明，在使玻璃膜从支承体剥离时，能够在防止该玻璃膜的破损的同时尽可能快速地剥离玻璃膜。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的俯视图。

图2是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的纵剖侧视图。

图3是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图4是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制流程图的图。

图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的俯视图。

图6是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图7是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制流程图的图。

图8是表示本发明的第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的俯视图。

图9是表示本发明的第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的纵剖侧视图。

图10是表示本发明的第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图11是表示本发明的第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制流程图的图。

图12a是表示本发明的其他实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图12b是表示本发明的其他实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图12c是表示本发明的其他实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图13是表示本发明的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的侧视图。

图14是表示本发明的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的俯视图。

图15是表示本发明的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图16是表示本发明的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制流程图的图。

图17是表示本发明的第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的侧视图。

图18是表示本发明的第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制机构的框图。

图19是表示本发明的第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的控制流程图的图。

图20是表示在实施例以及比较例中对成为剥离对象的玻璃膜与支承该玻璃膜的支承玻璃进行层叠而成的玻璃膜层叠体的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置进行说明。需要说明的是，在以下说明的各实施方式中，对于对厚度为300μm以下且具有挠性的玻璃膜与作为支承该玻璃膜的支承体的支承玻璃进行层叠而成的玻璃膜层叠体，玻璃膜剥离装置是用于使玻璃膜从支承玻璃剥离的装置。然而，如后述那样，本发明所涉及的玻璃膜剥离装置也能够用于使玻璃膜从由玻璃以外的材质构成的支承体剥离那样的情况、对于玻璃膜与支承体经由粘合层层叠而成的层叠体而使玻璃膜剥离的情况。

首先，对在本发明的各实施方式中成为剥离对象的玻璃膜、作为支承该玻璃膜的支承体的支承玻璃、以及层叠有所述玻璃膜与所述支承玻璃而成的玻璃膜层叠体进行说明。

就具有挠性的玻璃膜与作为支承体的支承玻璃而言，各自的成为相互接触一侧的面的接合面的表面粗糙度ra为2.0nm以下，通过使两接合面直接地面接触而形成玻璃膜层叠体。另外，玻璃膜在玻璃膜层叠体的状态下已经被实施与加热相伴的处理，就玻璃膜层叠体而言，在该处理中玻璃膜与支承玻璃的密接部产生了温度分布不均。由此，在密接部的部位间，作用于两玻璃之间的密接力的大小产生差异。

<第一实施方式>

以下，对本发明的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置进行说明。

图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1的俯视图，图2是将玻璃膜剥离装置1中设置的刀片3的附近放大表示的纵剖侧视图。如这些图所示，玻璃膜剥离装置1具备：对玻璃膜gf与支承玻璃sg层叠而成的玻璃膜层叠体g进行载置的工作台2、在玻璃膜gf与支承玻璃sg的彼此之间横切移动的刀片3、以及对在刀片3移动时沿移动方向x的相反方向作用于该刀片3的阻力r进行检测的负载传感器(loadcell)4。

图3是表示玻璃膜剥离装置1的控制机构的框图，图4是表示控制流程图的图。如这些图所示，作为玻璃膜剥离装置1的控制机构，玻璃膜剥离装置1具备：运算装置5，其接收来自负载传感器4的信号s1而检测出(计算出)后述的特征值z；判定电路6，其接收来自运算装置5的信号s2，对特征值z实施后述的判定；伺服电动机7，其根据来自判定电路6的信号s3，借助驱动辊来控制刀片3的移动速度v；以及伺服电动机8，其根据来自判定电路6的信号s4，借助调节阀来控制从刀片3喷射的压缩空气a的喷射量q。

工作台2具备载置玻璃膜层叠体g的载置面2a。载置面2a为平面，其外周轮廓形成为矩形。另外，以构成矩形的外周轮廓的工作台2的长侧面2b与短侧面2c分别与玻璃膜层叠体g的长度方向、宽度方向(与长度方向正交的方向)平行的方式，将玻璃膜层叠体g以固定的状态载置在载置面2a上。

刀片3沿着与玻璃膜层叠体g的长度方向平行的x方向，在玻璃膜gf与支承玻璃sg的彼此之间横切移动。而且，作为用于横切移动的机构，具备分别沿着工作台2的一对长侧面2b滚动的未图示的驱动辊。而且，通过从伺服电动机7(图1、图2中省略了图示)向该驱动辊传递动力，使得刀片3沿x方向移动。刀片3的向x方向的移动速度v由伺服电动机7控制。需要说明的是，在本实施方式中，使用不锈钢作为刀片3的材质。然而，刀片3的材质不局限于此，例如，也可以使用特氟隆(teflon；注册商标)树脂等剥离时更不易损伤玻璃膜gf的材质。

另外，刀片3以沿着玻璃膜层叠体g的宽度方向较长的方式形成。并且，其前端部3a以从x方向的前方侧朝向后方侧成为上坡的方式形成。而且，刀片3随着向x方向移动而使玻璃膜gf逐渐从支承玻璃sg剥离。由此，成为两玻璃gf、sg层叠而成的层叠部gfa与剥离后的剥离部gfb之间的边界的剥离前进部gfc沿x方向横切移动。需要说明的是，在本实施方式中，宽度尺寸w与玻璃膜gf的宽度方向的长度实质上相同，所述宽度尺寸w为剥离前进部gfc的沿着刀片3的前端部3a的方向的长度。

而且，在刀片3的前端部3a，沿着玻璃膜层叠体g的宽度方向形成有多个用于喷射压缩空气a的喷射口3b。该喷射口3b与未图示的空气压缩机连接，自该空气压缩机供给的压缩空气a从刀片3向剥离前进部gfc侧喷射。压缩空气a的喷射量q通过调节阀的开度调节。另外，调节阀的开度通过伺服电动机8控制。需要说明的是，也可以从喷射口3b喷射除压缩空气a以外的包含水或油脂、界面活性剂的液体等流体。这里，在本实施方式中，刀片3构成剥离单元(剥离用具)，空气压缩机与调节阀构成流体喷射单元。

在刀片3的两端分别设置有负载传感器4。两个负载传感器4存在于以刀片3的中央部为基准而对称的位置。而且，负载传感器4a、4b分别对在玻璃膜gf与支承玻璃sg的密接部的各部位因两玻璃gf、sg的密接力的大小而变化的阻力r(r1、r2)进行检测。

接下来，参照图3以及图4对上述的玻璃膜剥离装置1的控制机构的详细内容进行说明。首先，由两个负载传感器4(4a、4b)检测出的阻力r(r1、r2)作为信号s1向运算装置5传递。接收了来自负载传感器4的信号s1的运算装置5通过将阻力r的和即r1+r2除以剥离前进部gfc的宽度尺寸w而检测出(计算出)特征值z。即，特征值z作为基于阻力r的计算值由z＝(r1+r2)/w表示。特征值z是与从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf时的阻力的大小对应地变化的值。运算装置5将检测出(计算出)的该特征值z作为信号s2向判定电路6发送。这里，在本实施方式中，由负载传感器4与运算装置5构成检测单元。

接收到来自运算装置5的信号s2的判定电路6首先判定是作为接收到的信号s2的特征值z比其规定的标准值z0小的情况(z＜z0：以下，称为模式1)、作为接收到的信号s2的特征值z比其规定的标准值z0大的情况(z＞z0：以下，称为模式2)、以及作为接收到的信号s2的特征值z与其规定的标准值z0相等的情况(z＝z0：以下，称为模式3)中的哪种情况。这里，标准值z0的值例如通过如下的过程确定即可。(过程1)算出在使两玻璃gf、sg的通过氢键密接的部位剥离时能够使刀片3移动而不至于在玻璃膜gf上产生破损的极限的移动速度v(以下，将该移动速度v标注为基准速度v0)。(过程2)将在刀片3以算出的基准速度v0移动时由运算装置5检测出的特征值z的值确定为标准值z0。需要说明的是，该标准值z0(基准速度v0)的值因玻璃膜gf的板厚等各种条件而不同，因此优选在实施玻璃膜gf的剥离作业前预先通过试验等算出适当的值。

而且，在模式1的情况下，在作为判定结果的信号s3经由伺服放大器向伺服电动机7传递后，接收到信号s3的伺服电动机7增大向驱动辊传递的动力。由此，执行加快刀片3的向x方向的移动速度v的控制。需要说明的是，可以同检测出的特征值z与标准值z0之间的差分量连动，以差分量越大移动速度v越快的方式控制移动速度v，也可以与差分量无关地以仅加速恒定的速度的方式控制移动速度v。

另外，在模式1的情况下，在作为判定结果的信号s4经由伺服放大器而向伺服电动机8传递后，接收到信号s4的伺服电动机8增大调节阀的开度。由此，执行增加压缩空气a的喷射量q的控制。这里，与刀片3的移动速度v相同地，可以同特征值z与标准值z0之间的差分量连动，以差分量越大喷射量q越增加的方式控制喷射量q，也可以以仅增加恒定量的方式控制喷射量q。

在模式2的情况下，对于特征值z的值，判定电路6进一步实施如下的判定。即，判定是特征值z的值在成为减慢刀片3的移动速度v或者使刀片3的移动停止的阈值的标准值z1以下的情况(z0＜z≤z1：以下，称为模式21)、特征值z的值比z1大且在成为使刀片3的移动停止或者使刀片3向与x方向相反的方向移动的阈值的标准值z2以下的情况(z1＜z≤z2：以下，称为模式22)、以及特征值z的值比z2大的情况(z＞z2：以下，称为模式23)中的哪种情况。需要说明的是，这些标准值z1、z2可以通过任意的方法确定。例如，标准值z1、z2可以通过设为标准值z0的常数倍而计算出，但优选与上述的标准值z0同样地通过试验预先算出适当的值。

而且，在模式21的情况下，在作为判定结果的信号s3经由伺服放大器向伺服电动机7传递后，接收到信号s3的伺服电动机7减少向驱动辊传递的动力。由此，执行减慢刀片3的向x方向的移动速度v的控制。另外，在模式22的情况下，伺服电动机7使驱动辊停止，从而执行使刀片3的移动停止的控制。并且，在模式23的情况下，伺服电动机7使驱动辊向相反方向滚动，从而执行使刀片3向与x方向相反的方向移动的控制。这里，在本实施方式中，判定电路6与两伺服电动机7、8构成控制单元。需要说明的是，可以同检测出的特征值z与标准值z0的差分量连动，以差分量越大移动速度v越慢的方式控制模式21的情况下的刀片3的移动速度v，也可以与差分量无关地以仅减速恒定的速度的方式控制模式21的情况下的刀片3的移动速度v。另外，在模式21的情况下，通过伺服电动机8减小调节阀的开度，以减少压缩空气a的喷射量q。并且，在模式22、23的情况下，通过伺服电动机8将调节阀完全关闭，以使压缩空气a的喷射量q为零。

在模式3的情况下，在作为判定结果的信号s3经由伺服放大器向伺服电动机7传递后，接收到信号s3的伺服电动机7维持向驱动辊传递的动力。由此，维持刀片3的向x方向的移动速度v。另外，在作为判定结果的信号s4经由伺服放大器向伺服电动机8传递后，接收到信号s4的伺服电动机8维持调整阀的开度。由此，维持空气a的喷射量q。

如上述那样，根据检测出的特征值z与该特征值的规定的标准值z0(标准值z1、z2)来控制刀片3的移动。而且，通过执行该控制，使在刀片3移动时作用于该刀片3的阻力r的大小发生变化。直到从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf完成为止，连续重复负载传感器4再次对该变化后的阻力r进行检测这一系列的循环。需要说明的是，在本实施方式中，作为基于阻力r的计算值，将z＝(r1+r2)/w作为特征值z而进行检测。然而，在本实施方式中，由于剥离前进部gfc的宽度尺寸w的值实质上不变化(与玻璃膜gf的宽度尺寸实质上相同)，因此也可以将特征值z设为阻力而对z＝(r1+r2)进行检测。

以下，对将上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1用于从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf的情况下的作用/效果进行说明。

根据上述的玻璃膜剥离装置1，通过负载传感器4与运算装置5对与剥离玻璃膜gf时的阻力的大小对应而变化的特征值z进行检测，从而能够独立地对在玻璃膜gf与支承玻璃sg密接的密接部的各部位作用于两玻璃gf、sg之间的密接力的大小进行检测。

而且，根据检测出的特征值z和该特征值z的规定的标准值z0，判定电路6与伺服电动机7在玻璃膜gf与支承玻璃sg的密接力小的部位执行加快刀片3的移动速度v的控制(模式1的情况)，从而能够更快速地实施该部位处的玻璃膜gf的剥离。并且，通过伺服电动机8的控制而从刀片3向剥离前进部gfc侧喷射压缩空气a，从而能够进一步促进玻璃膜gf从支承玻璃sg的剥离。

另一方面，在两玻璃gf、sg的密接力大的部位，判定电路6与伺服电动机7分阶段地执行减慢刀片3的移动速度v的控制(模式21的情况)、使刀片3的移动停止的控制(模式22的情况)、以及使刀片3向与x方向相反的方向移动的控制(模式23的情况)。由此，能够可靠地防止玻璃膜gf上产生破损的问题。另外，在执行上述的控制时，对空气a的喷射量q也进行减少喷射量q等适当的控制。因此，更可靠地防止玻璃膜gf的破损。

基于上述内容，能够在防止玻璃膜gf的破损的同时尽可能快速地实施剥离作业。另外，根据上述的玻璃膜剥离装置1，与后述的各实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置不同，随着玻璃膜gf的剥离的进展而变化的参数仅是作用于刀片3的阻力r。因此，具有能够减少处理的数据量这一优点。并且，在将特征值z设为阻力而对z＝(r1+r2)进行检测的情况下，减少了运算装置5的运算负荷，因此能够迅速地进行处理。

<第二实施方式>

以下，对本发明的第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置进行说明。需要说明的是，在以下的第二、第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的说明中，对于与上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的构成要素具有相同的功能或者形状的构成要素，通过在用于对第二、第三实施方式进行说明的附图中标注相同的附图标记，从而省略重复的说明。另外，在以下的第二、第三实施方式中仅对与第一实施方式不同的部分进行说明。

图5是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1的俯视图，图6是表示玻璃膜剥离装置1的控制机构的框图。另外，图7是表示控制流程图的图。如这些图所示，该第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1与上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的不同点在于，刀片3沿着玻璃膜层叠体g的对角线方向在玻璃膜gf与支承玻璃sg的彼此之间横切移动；以及作为玻璃膜剥离装置1的控制机构，玻璃膜剥离装置1还具备：拍摄玻璃膜层叠体g的照相机9(图5中省略了图示)、和对由照相机9拍摄的图像的图像数据gd进行处理的图像处理装置10。

照相机9固定设置在工作台2的上方而对玻璃膜层叠体g整体进行拍摄。由照相机9拍摄到的图像的图像数据gd向图像处理装置10传递。需要说明的是，照相机9也可以以跟随刀片3的向x方向的移动的方式向x方向移动而仅对剥离前进部gfc的附近进行拍摄。

图像处理装置10接收来自照相机9的图像数据gd，并且基于图像数据gd，通过边缘检测来检测与刀片3向x方向的移动相伴而逐渐变化的剥离前进部gfc的宽度尺寸w。然后，将检测结果作为信号s5向运算装置5发送。

运算装置5根据从负载传感器4接收到的信号s1和从图像处理装置10接收到的信号s5，检测出(计算出)z＝(r1+r2)/w而作为与从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf时的阻力的大小对应地变化的特征值z(基于阻力r的计算值)。然后，将该特征值z作为信号s2向判定电路6发送。这里，在本实施方式中，由负载传感器4、照相机9、图像处理装置10、运算装置5构成检测单元。

在将该第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1用于从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf的情况下，也可以享有与上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置相同的作用/效果。

需要说明的是，在本实施方式中，剥离前进部gfc的宽度尺寸w随着刀片3的向x方向的移动而变化。在该情况下，即使在玻璃膜gf与支承玻璃sg的密接部的部位间两玻璃gf、sg的密接力的大小不存在差异，负载传感器4检测出的阻力r的大小也会发生变化(宽度尺寸w越长，阻力r越大)。然而，由于把将该阻力r除以宽度尺寸w而得到的值设为特征值z，因此与宽度尺寸w的变化无关，并且能够检测出根据两玻璃gf、sg的密接力的大小而变化的值。

<第三实施方式>

以下，对本发明的第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置进行说明。

图8是表示本发明的第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1的俯视图，图9是将玻璃膜剥离装置1中设置的刀片3的附近放大表示的纵剖侧视图。另外，图10是表示玻璃膜剥离装置1的控制机构的图，图11是表示控制流程图的图。如这些图所示，该第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1与上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的不同点在于，去掉了负载传感器4；以及作为玻璃膜剥离装置1的控制机构，玻璃膜剥离装置1还具备：拍摄玻璃膜层叠体g的多个照相机9(图8、图9中省略了图示)、和对由各照相机9拍摄到的图像的图像数据gd进行处理的多个图像处理装置10。

各照相机9固定设置在工作台2的上方，且沿着玻璃膜层叠体g的宽度方向相互排列。而且，各照相机9在各自的设置位置对沿x方向通过其下方的刀片3的附近(后述的包含剥离前进部gfc、和刀片3与支承玻璃sg的接触部的前端p的区域)进行拍摄。由各照相机9拍摄到的图像的图像数据gd向与各照相机9连接的图像处理装置10传递。

各图像处理装置10接收来自照相机9的图像数据gd，并且基于图像数据gd，通过边缘检测来检测剥离前进部gfc、和刀片3与支承玻璃sg的接触部的前端p。然后，将剥离前进部gfc与前端p之间的距离d作为信号s6向运算装置5发送。

运算装置5根据从各图像处理装置10接收到的信号s6，检测出(计算出)剥离前进部gfc与前端p之间的距离d的平均值d’而作为与从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf时的阻力的大小对应地变化的特征值z。然后，将该特征值z(＝d’)作为信号s2向判定电路6发送。这里，在本实施方式中，照相机9分别构成拍摄单元，图像处理装置10分别构成图像处理单元。另外，由多个照相机9、多个图像处理装置10、以及运算装置5构成检测单元。

接收到来自运算装置5的信号s2的判定电路6首先判定是作为接收到的信号s2的特征值z比其规定的标准值z0大的情况(z＞z0：以下，称为模式4)、作为接收到的信号s2的特征值z比其规定的标准值z0小的情况(z＜z0：以下，称为模式5)、以及作为接收到的信号s2的特征值z与其规定的标准值z0相等的情况(z＝z0：以下，称为模式6)中的哪种情况。这里，标准值z0的值例如通过与上述的第一实施方式相同的过程确定即可。

而且，在模式4的情况下，在作为判定结果的信号s3经由伺服放大器向伺服电动机7传递后，接收到信号s3的伺服电动机7增大向驱动辊传递的动力。由此，执行加快刀片3的向x方向的移动速度v的控制。另外，在模式4的情况下，在作为判定结果的信号s4经由伺服放大器向伺服电动机8传递后，接收到信号s4的伺服电动机8增大调节阀的开度。由此，执行增加压缩空气a的喷射量q的控制。

在模式5的情况下，对于特征值z的值，判定电路6进一步实施如下的判定。即，判定是特征值z的值为成为减慢刀片3的移动速度v或者使刀片3的移动停止的阈值的标准值z1以上的情况(z1≤z＜z0：以下，称为模式51)、特征值z的值比z1小且在成为使刀片3的移动停止或者使刀片3向与x方向相反的方向移动的阈值的标准值z2以上的情况(z2≤z＜z1：以下，称为模式52)、以及特征值z的值比z2小的情况(z＜z2：以下，称为模式53)中的哪种情况。需要说明的是，这些标准值z1、z2与上述的第一实施方式同样地可以通过任意的方法确定。例如，标准值z1、z2可以通过设为标准值z0的常数倍而计算出。

而且，在模式51的情况下，在作为判定结果的信号s3经由伺服放大器向伺服电动机7传递后，接收到信号s3的伺服电动机7减少向驱动辊传递的动力。由此，执行减慢刀片3的向x方向的移动速度v的控制。另外，在模式52的情况下，伺服电动机7使驱动辊停止，从而执行使刀片3的移动停止的控制。并且，在模式53的情况下，伺服电动机7使驱动辊向相反方向滚动，从而执行使刀片3向与x方向相反的方向移动的控制。需要说明的是，在模式51的情况下，通过伺服电动机8减小调节阀的开度，以减少压缩空气a的喷射量q。并且，在模式52、53的情况下，通过伺服电动机8将调节阀完全关闭，以使压缩空气a的喷射量q为零。

在模式6的情况下，在作为判定结果的信号s3经由伺服放大器向伺服电动机7传递后，接收到信号s3的伺服电动机7维持向驱动辊传递的动力。由此，维持刀片3的向x方向的移动速度v。另外，在作为判定结果的信号s4经由伺服放大器向伺服电动机8传递后，接收到信号s4的伺服电动机8维持调整阀的开度。由此，维持空气a的喷射量q。

如上述那样，根据检测出的特征值z与该特征值的规定的标准值z0(标准值z1、z2)来控制刀片3的移动。而且，通过执行该控制，在刀片3移动时的剥离前进部gfc与前端p之间的距离d发生变化，进而其平均值d’发生变化。直到从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf完成为止，连续重复照相机9再次对该变化后的距离d进行检测这一系列的循环。

在将该第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1用于从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf的情况下，也能够根据剥离前进部gfc与前端p之间的距离d的平均值d’，独立地对玻璃膜gf与支承玻璃sg的密接部的各部位处的两玻璃gf、sg的密接力的大小进行检测。由此，能够享有与上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置相同的作用/效果。另外，在本实施方式中，通过边缘检测，能够可靠地检测出剥离前进部gfc与前端p之间的距离d，进而能够可靠地检测出特征值z(＝d’)的值。因此，刀片3进行同玻璃膜gf与支承玻璃sg的密接部的各部位对应的适当的移动，从而能够提高其精度。

需要说明的是，本实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1也可以如上述的第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置那样，设为刀片3沿着玻璃膜层叠体g的对角线方向在玻璃膜gf与支承玻璃sg的彼此之间横切移动的结构。

这里，上述的第一至第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1也可以在以刀片3的中央部为基准的两侧，单独地控制(以下，称为两侧单独控制)刀片3的向x方向的移动速度v。图12a～图12c中示出了设为这样的结构的情况下的玻璃膜剥离装置1的控制机构。

图12a是表示在第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1中实施两侧单独控制的情况的控制机构的图。如该图所示，设置在刀片3的两端的负载传感器4a、4b分别对阻力r1、r2进行检测，作为信号s1而向两台运算装置5分别传递。接收到来自负载传感器4a、4b的信号s1的运算装置5通过将阻力r1、r2分别除以剥离前进部gfc的宽度尺寸w而检测出(计算出)特征值z。即，特征值z设为基于阻力r的计算值而由z＝r1/w、z＝r2/w表示。然后，将该特征值z作为信号s2向判定电路6分别发送。然后，与第一实施方式同样地传递各信号。由此，在以刀片3的中央部为基准的一侧与另一侧，单独地控制刀片3的移动速度v1、v2与压缩空气a的喷射量q1(刀片3的一侧的压缩空气a的喷射量)、q2(刀片3的另一侧的压缩空气a的喷射量)。

图12b是表示在第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1中实施两侧单独控制的情况的控制机构的图。如该图所示，设置在刀片3的两端的负载传感器4a、4b分别对阻力r1、r2进行检测，且作为信号s1向两台运算装置5分别传递。另外，逐渐变化的剥离前进部gfc的宽度尺寸w作为信号s5从图像处理装置10向两台运算装置5分别传递。运算装置5检测出(计算出)z＝r1/w、z＝r2/w而作为特征值z。然后，将该特征值z作为信号s2向判定电路6分别发送。然后，与第二实施方式同样地传递各信号。由此，在以刀片3的中央部为基准的一侧与另一侧，单独地控制刀片3的移动速度v1、v2与压缩空气a的喷射量q1、q2。

图12c是表示在第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1中实施两侧单独控制的情况的控制机构的图。如该图所示，以刀片3的中央部为基准而设置在一侧的各照相机9a与设置在另一侧的各照相机9b全部将在各自的设置位置拍摄到的图像数据gd向图像处理装置10传递。各图像处理装置10将剥离前进部gfc与前端p之间的距离d作为信号s6向运算装置5发送。此时，自与照相机9a连接的图像处理装置10发送的信号s6和自与照相机9b连接的图像处理装置10发送的信号s6向不同的运算装置5分别发送。运算装置5检测出(计算出)z＝d’1(刀片3的一侧的d的平均值)、z＝d’2(刀片3的另一侧的d的平均值)而作为特征值z。然后，将该特征值z作为信号s2向判定电路6分别发送。然后，与第三实施方式同样地传递各信号。由此，在以刀片3的中央部为基准的一侧与另一侧，单独地控制刀片3的移动速度v1、v2与压缩空气a的喷射量q1、q2。

需要说明的是，即使在如上述那样实施两侧单独控制的情况下，特征值z的标准值z0以及标准值z1、z2的值也会因玻璃膜gf的板厚等各种条件而不同，因此优选预先通过试验等计算出适当的值。

根据这样的两侧单独控制，在以刀片3的中央部为基准的两侧的部位处玻璃膜gf与支承玻璃sg的密接力的大小不同的情况下，能够在刀片3的两侧中的一侧相对于另一侧先行的状态下移动。由此，能够避免原本应当能以更快的速度实施剥离作业的一侧(密接力小的部位的一侧)不得不以配合只能以低速实施剥离作业的一侧(密接力大的部位的一侧)的速度实施剥离作业那样的情况。其结果是，能够更快速地使玻璃膜gf剥离。

<第四实施方式>

以下，对本发明的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置进行说明。

图13是表示本发明的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11的侧视图，图14是表示玻璃膜剥离装置11的俯视图。如这些图所示，玻璃膜剥离装置11具备：作为剥离单元的多个吸附构件12，其能够在对玻璃膜gf的表面进行吸附的状态下向从支承玻璃sg离开的离开方向y移动；多个升降装置13，其用于使多个吸附构件12分别向离开方向y以及离开方向y的相反方向移动；以及作为检测单元的多个负载传感器14，其对在各吸附构件12移动时对该吸附构件12向与离开方向y相反的方向作用的阻力r进行检测而作为特征值z。

图15是表示玻璃膜剥离装置11的控制机构的框图，图16是表示控制流程图的图。如这些图所示，作为玻璃膜剥离装置11的控制机构，玻璃膜剥离装置11具备：判定电路15，其把将负载传感器14检测出的特征值z(阻力r)作为信号s7接收，且对特征值z实施后述的判定；和伺服电动机16，其根据来自判定电路15的信号s8来控制吸附构件12的移动。这里，在本实施方式中，判定电路15与伺服电动机16构成控制单元。

多个升降装置13分别具备：主体部13a，其内设伺服电动机16并且固定在与玻璃膜gf对置地配置的板上；以及形成为棒状的升降部13b，其通过伺服电动机16的动力而升降。在主体部13a以及板上分别形成有用于插入升降部13b的孔，由于伺服电动机16的动力而旋转的驱动辊将贯穿这些孔的升降部13b保持为移动自如。而且，通过经由驱动辊将来自伺服电动机16的动力向升降部13b传递，从而使吸附构件12移动，并且对其移动速度v进行控制。

多个吸附构件12分别具备：在与玻璃膜gf的表面抵接的抵接部上形成有多个吸引孔的多个吸附垫12a、和集中保持多个吸附垫12a的保持板12b。各吸附垫12a上形成的多个吸引孔与真空泵连接，通过该真空泵的运转使玻璃膜gf产生负压，从而吸附垫12a对玻璃膜gf的表面进行吸附。保持板12b自身由于升降装置13的运转而移动，从而保持板12b使多个吸附垫12a集中移动。需要说明的是，在本实施方式中，多个吸附构件12分别具备相同个数的吸附垫12a。

另外，多个吸附构件12分别对由界线l1～l4将玻璃膜gf的表面划分成多个区域而成的各区域ar1～ar5进行吸附。界线l1～l4沿与剥离前进部gfc的横切移动预定方向c正交的方向延伸，所述剥离前进部gfc成为两玻璃gf、sg层叠而成的层叠部gfa与剥离后的剥离部gfb之间的边界。而且，通过从位于横切移动预定方向c的上游侧的吸附构件12起，相邻的吸附构件12依次向离开方向y移动，从而使剥离前进部gfc横切移动。需要说明的是，多个吸附构件12分别在从自身开始向离开方向y移动起至相邻的吸附构件12开始向离开方向y移动为止的期间内对其移动进行控制。另外，剥离前进部gfc的横切移动预定方向c与玻璃膜gf的长度方向平行。

负载传感器14夹设在升降装置13中设置的升降部13b与吸附构件12中设置的保持板12b之间，并且在固定于这双方的状态下被安装。而且，在吸附构件12向离开方向y移动时，对在玻璃膜gf与支承玻璃sg的密接部的各部位因两玻璃gf、sg的密接力的大小而变化的阻力r进行检测，从而作为特征值z。

接下来，参照图15以及图16对上述的玻璃膜剥离装置11的控制机构的详细内容进行说明。当位于横切移动预定方向c的最上游的吸附构件12在对区域ar1进行吸附的状态下开始向从支承玻璃sg离开的离开方向y移动时，判定电路15实施如下的判定。

接收到来自负载传感器14的信号s7的判定电路15首先判定是作为接收到的信号s7的特征值z(阻力r)比其规定的标准值z0小的情况(z＜z0：以下，称为模式7)、作为接收到的信号s7的特征值z(阻力r)比其规定的标准值z0大的情况(z＞z0：以下，称为模式8)、以及作为接收到的信号s7的特征值z(阻力r)与其规定的标准值z0相等的情况(z＝z0：以下，称为模式9)中的哪种情况。这里，标准值z0的值例如通过如下的过程确定即可。(过程1)算出在使两玻璃gf、sg的通过氢键密接的部位剥离时能够使吸附构件12移动而不至于在玻璃膜gf上产生破损的极限的移动速度v。(过程2)将在吸附构件12以计算出的极限的移动速度v移动时由负载传感器14检测出的特征值z(阻力r)的值确定为标准值z0。需要说明的是，该标准值z0的值因玻璃膜gf的板厚等各种条件而不同，因此优选在实施玻璃膜gf的剥离作业前预先通过试验等计算出适当的值。

而且，在模式7的情况下，在作为判定结果的信号s8经由伺服放大器向伺服电动机16传递后，接收到信号s8的伺服电动机16增大向驱动辊传递的动力。由此，执行加快吸附构件12的向离开方向y的移动速度v的控制。需要说明的是，可以同检测出的特征值z与标准值z0之间的差分量连动，以差分量越大移动速度v越快的方式控制移动速度v，也可以与差分量无关地以仅加速恒定的速度的方式控制移动速度v。

在模式8的情况下，对于特征值z的值，判定电路15进一步实施如下的判定。即，判定是特征值z的值在成为减慢吸附构件12的移动速度v或者使吸附构件12的移动停止的阈值的标准值z1以下的情况(z0＜z≤z1：以下，称为模式81)、特征值z的值比z1大且在成为使吸附构件12的移动停止或者使吸附构件12向与离开方向y相反的方向移动的阈值的标准值z2以下的情况(z1＜z≤z2：以下，称为模式82)、以及特征值z的值比z2大的情况(z＞z2：以下，称为模式83)中的哪种情况。需要说明的是，这些标准值z1、z2可以通过任意的方法确定。例如，标准值z1、z2可以设为标准值z0的常数倍而计算出，但优选与上述的标准值z0同样地通过试验预先计算出适当的值。

而且，在模式81的情况下，在作为判定结果的信号s8经由伺服放大器向伺服电动机16传递后，接收到信号s8的伺服电动机16减少向驱动辊传递的动力。由此，执行减慢吸附构件12的向离开方向y的移动速度v的控制。另外，在模式82的情况下，伺服电动机16使驱动辊停止，从而执行使吸附构件12的移动停止的控制。需要说明的是，可以同检测出的特征值z与标准值z0的差分量连动，以差分量越大移动速度v越慢的方式控制模式81的情况下的吸附构件12的移动速度v，也可以与差分量无关地以仪减速恒定的速度的方式控制模式81的情况下的吸附构件12的移动速度v。

在模式83的情况下，对于特征值z的值，判定电路15进一步实施如下的判定。即，判定是特征值z的值在成为是否切换作为控制对象的吸附构件12的阈值的标准值zmax以下的情况(zmax≥z＞z2：以下，称为模式831)、和特征值z的值比标准值zmax大的情况(z＞zmax：以下，称为模式832)中的哪种情况。这里，标准值zmax的值例如通过如下的过程确定即可。(过程1)在对区域ar2进行吸附的吸附构件12与未从支承玻璃sg剥离的玻璃膜gf的表面抵接的状态下，使吸附了区域ar1的吸附构件12向离开方向y移动。此时，对区域ar2进行吸附的吸附构件12与玻璃膜gf抵接，从而随着吸附了区域ar1的吸附构件12向离开方向y移动，作用于玻璃膜gf的应力、以及检测出的特征值z(阻力r)的值逐渐变大。(过程2)将在使吸附构件12向离开方向y移动至不至于在玻璃膜gf上产生破损的极限的位置时检测出的特征值z的值确定为标准值zmax。就该标准值zmax的值而言，优选与上述的标准值z0同样地通过试验预先计算出适当的值。

而且，在模式831的情况下，在作为判定结果的信号s8经由伺服放大器向伺服电动机16传递后，接收到信号s8的伺服电动机16使驱动辊向相反方向滚动，执行使吸附构件12向与离开方向y相反的方向移动的控制。另外，在模式832的情况下，成为控制对象的吸附构件12切换成横切移动预定方向c上在下游侧相邻的吸附构件12。换句话说，控制对象从吸附区域ar1的吸附构件12切换成吸附区域ar2的吸附构件12，从而吸附区域ar2的吸附构件12开始向离开方向y的移动(对于以下的控制对象的切换也以相同的方式进行)。

在模式9的情况下，在作为判定结果的信号s8经由伺服放大器向伺服电动机16传递后，接收到信号s8的伺服电动机16维持向驱动辊传递的动力。由此，维持吸附构件12的向离开方向y的移动速度v。

如上述那样，根据检测出的特征值z(阻力r)与该特征值的规定的标准值z0(标准值z1、z2)来控制吸附构件12的移动。另外，根据检测出的特征值z与标准值zmax来切换作为控制对象的吸附构件12。而且，通过执行这些控制，从而在吸附构件12移动时作用于该吸附构件12的阻力r的大小发生变化。直到从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf完成为止，连续重复负载传感器14再次对该变化后的阻力r进行检测这一系列的循环。

通过该第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11也可以得到与上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1相同的作用/效果。另外，该玻璃膜剥离装置11具备分别对将玻璃膜gf的表面划分成多个区域而成的各区域ar1～ar5进行吸附的多个吸附构件12。因此，能够对每个吸附构件12应当从支承玻璃sg剥离的玻璃膜gf的部位进行细分化。由此，能够更准确地对在玻璃膜gf与支承玻璃sg密接的密接部的各部位作用于两玻璃gf、sg之间的密接力的大小进行检测而作为特征值z。其结果是，有利于吸附构件12分别进行适当的剥离动作。

<第五实施方式>

以下，对本发明的第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置进行说明。需要说明的是，在该第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的说明中，对于具有与上述的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置的构成要素相同的功能或者形状的构成要素，在用于对第五实施方式进行说明的附图中标注相同的附图标记，从而省略重复的说明，仅对与第四实施方式不同的部分进行说明。

图17是表示本发明的第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11的侧视图，图18是表示玻璃膜剥离装置11的控制机构的框图。另外，图19是表示控制流程图的图。如这些图所示，第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11与上述的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11的不同点在于，去掉了负载传感器14；和作为控制机构而具备：拍摄玻璃膜层叠体g的照相机17、对由照相机17拍摄到的图像的图像数据gd进行处理的图像处理装置18、以及用于根据图像处理装置18的处理结果检测出(计算出)后述的特征值z的运算装置19。

照相机17以将与剥离前进部gfc的横切移动预定方向c平行地延伸的玻璃膜层叠体g的侧面(端部)的全长纳入视野的方式设置。而且，在剥离前进部gfc横切移动时，以恒定的时间间隔连续拍摄玻璃膜层叠体g的侧面。由照相机17连续拍摄到的各图像的图像数据gd向与照相机17连接的图像处理装置18传递。

图像处理装置18接收来自照相机17的图像数据gd，并且对拍摄到各图像的时刻的剥离前进部gfc的位置进行检测。然后，将检测到的各时刻的剥离前进部gfc的位置作为信号s9而向运算装置19发送。

运算装置19根据从图像处理装置18接收到的信号s9，基于按时间序列连续检测出的两个剥离前进部gfc的位置，计算出在照相机17进行拍摄的每一时间间隔内剥离前进部gfc横切移动的距离dd。之后，通过将计算出的距离dd除以照相机17进行拍摄的时间间隔，从而连续地检测出(计算出)剥离前进部gfc横切移动时的移动速度vv而作为特征值z。然后，将检测出的特征值z作为信号s10向判定电路15发送。这里，在本实施方式中，由照相机17、图像处理装置18以及运算装置19构成检测单元。

接下来，参照图18以及图19对上述的玻璃膜剥离装置11的控制机构的详细结构进行说明。当位于横切移动预定方向c的最上游的吸附构件12在吸附了区域ar1的状态下开始向从支承玻璃sg离开的离开方向y移动时，判定电路15实施如下的判定。

接收到来自运算装置19的信号s10的判定电路15首先判定是作为接收到的信号s10的特征值z(移动速度vv)比其规定的标准值z0大的情况(z＞z0：以下，称为模式10)、作为接收到的信号s10的特征值z比其规定的标准值z0小的情况(z＜z0：以下，称为模式11)、以及作为接收到的信号s10的特征值z与其规定的标准值z0相等的情况(z＝z0：以下，称为模式12)中的哪种情况。这里，标准值z0的值例如通过如下的过程确定即可。(过程1)算出在使两玻璃gf、sg的通过氢键密接的部位剥离时能够使吸附构件12移动而不至于在玻璃膜gf上产生破损的极限的移动速度v。(过程2)将在吸附构件12以算出的极限的移动速度v移动时运算装置19检测出的特征值z(移动速度vv)的值确定为标准值z0。需要说明的是，就该标准值z0的值而言，也优选在实施玻璃膜gf的剥离作业前预先通过试验等计算出适当的值。

而且，在模式10的情况下，在作为判定结果的信号s11经由伺服放大器向伺服电动机16传递后，接收到信号s11的伺服电动机16增大向驱动辊传递的动力。由此，执行加快吸附构件12的向离开方向y的移动速度v的控制。

在模式11的情况下，对于特征值z的值，判定电路15进一步实施如下的判定。即，判定是特征值z的值在成为减慢吸附构件12的移动速度v或者使吸附构件12的移动停止的阈值的标准值z1以上的情况(z1≤z＜z0：以下，称为模式111)、特征值z的值比z1小且在成为使吸附构件12的移动停止或者使吸附构件12向与离开方向y相反的方向移动的阈值的标准值z2以上的情况(z2≤z＜z1：以下，称为模式112)、以及特征值z的值比z2小的情况(z＜z2：以下，称为模式113)中的哪种情况。需要说明的是，这些标准值z1、z2与上述的第四实施方式同样地可以通过任意的方法确定。例如，标准值z1、z2可以设为标准值z0的常数倍而计算出。

而且，在模式111的情况下，在作为判定结果的信号s11经由伺服放大器向伺服电动机16传递后，接收到信号s11的伺服电动机16减少向驱动辊传递的动力。由此，执行减慢吸附构件12的向离开方向y的移动速度v的控制。另外，在模式112的情况下，伺服电动机16使驱动辊停止，从而执行使吸附构件12的移动停止的控制。并且，在模式113的情况下，伺服电动机16使驱动辊向相反方向滚动，从而执行使吸附构件12向与离开方向y相反的方向移动的控制。

在模式12的情况下，在作为判定结果的信号s11经由伺服放大器向伺服电动机16传递后，接收到信号s11的伺服电动机16维持向驱动辊传递的动力。由此，维持吸附构件12的向离开方向y的移动速度v。

需要说明的是，在该第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11中，与上述的第四实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11不同，通过检测剥离前进部gfc的位置来进行成为控制对象的吸附构件12的切换。详细而言，在吸附了区域ar1的吸附构件12开始向离开方向y移动后，当剥离前进部gfc到达对区域ar2进行吸附的吸附构件12中设置的吸附垫12a的正下方时，成为控制对象的吸附构件12切换成对区域ar2进行吸附的吸附构件12。然后，该吸附构件12开始向离开方向y移动(以下的控制对象的切换也以相同的方式进行)。

如上述那样，根据检测出的特征值z(移动速度vv)与该特征值的规定的标准值z0(标准值z1、z2)来控制吸附构件12的移动。而且，通过执行该控制，从而剥离前进部gfc横切移动时的移动速度vv发生变化。直到从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf完成为止，连续重复照相机17再次对该移动速度vv变化后的剥离前进部gfc进行拍摄这一系列的循环。

需要说明的是，在本实施方式中，将剥离前进部gfc横切移动时的移动速度vv作为特征值z而进行检测，然而也可以取代移动速度vv而检测加速度作为特征值z，根据该特征值z(加速度)来控制吸附构件12的移动。例如，设置对运算装置19检测出的移动速度vv进行存储的存储装置，使该存储装置存储按时间序列连续检测出的两个移动速度vv的值。之后，从存储装置将两个移动速度vv的值作为信号向另外设置的运算装置发送。然后，可以使该运算装置执行将两个移动速度vv的值的差分除以照相机17进行拍摄的时间间隔的运算，从而检测出剥离前进部gfc横切移动时的加速度而作为特征值z。

通过该第五实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置11也可以得到与上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1相同的作用/效果。

这里，本发明所涉及的玻璃膜剥离装置的剥离的对象不限于由支承玻璃支承的玻璃膜。例如，在从由硅等支承玻璃以外的材质构成的支承体剥离玻璃膜那样的情况下，也可以使用本发明所涉及的玻璃膜剥离装置。另外，在上述的各实施方式中，对于使玻璃膜与支承玻璃直接地面接触而层叠而成的玻璃膜层叠体，成为使玻璃膜从支承玻璃剥离的方式。然而，对于玻璃膜与支承体经由粘合层层叠而成的层叠体，在使玻璃膜从支承体剥离那样的情况下，也可以使用本发明所涉及的玻璃膜剥离装置。另外，例如，对于支承体与玻璃膜的密接力互不相同的多个玻璃膜层叠体，在连续地使各玻璃膜从各支承体剥离那样的情况下，也可以使用本发明所涉及的玻璃膜剥离装置。

另外，本发明所涉及的玻璃膜剥离装置不限定于上述的各实施方式中说明的结构。例如，在上述的第一实施方式至第三实施方式中，对于固定在工作台上的状态下的玻璃膜层叠体，成为通过刀片移动而使玻璃膜从支承玻璃剥离的方式。然而，也可以在将刀片固定的状态下使载置有玻璃膜层叠体的工作台移动，并且控制其移动速度而使玻璃膜剥离。另外，刀片3的移动方向也不限于玻璃膜层叠体的长度方向、对角线方向，而可以设为任意的方向。

并且，在上述的第一实施方式至第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置中，也可以设置一边吸附玻璃膜的表面一边使拉力作用于该玻璃膜从而辅助玻璃膜的剥离的多个吸附垫。在该情况下，也可以沿着刀片的移动方向设置各吸附垫，根据特征值来控制从各吸附垫作用于玻璃膜的拉力的大小。另外，也可以根据特征值而从所有吸附垫中选择使拉力作用于玻璃膜的吸附垫。

而且，在上述的第一实施方式至第三实施方式中，照相单元均构成为从上方拍摄层叠体，然而也可以构成为从下方实施拍摄。此时，作为照相机可以使用各种设备。例如，即使是将硅等对可见光而言不透明的材质用作支承体的情况，有时也能够通过采用红外线照相机来透视该支承体而实施边缘检测。

另外，在上述的各实施方式中，为了应对某些干扰作用于玻璃膜剥离装置的控制机构的情况，也可以设为实施反馈控制的结构。作为这样的情况的一例，在玻璃膜剥离装置上还设置对刀片(吸附构件)的移动速度进行检测的检测器等。而且，能够将检测器检测出的速度作为信号，向对刀片(吸附构件)的移动速度进行控制的伺服电动机(伺服放大器)反馈。

另外，在上述的各实施方式中对预先通过试验等求取特征值的标准值的示例进行了说明，然而也可以利用其他的方法求取。例如，可以通过模拟来求取，也可以根据前后的工序的节拍时间(tacttime)等任意确定。

另外，在上述的第一实施方式至第三实施方式、以及第五实施方式中，以运算装置与判定电路构成为单独的硬件的情况为例进行了说明，然而运算装置以及判定电路的功能结构也可以通过单一的计算机以及该计算机所具备的软件来实现。

另外，在上述的第一实施方式至第三实施方式中，也可以取代刀片而利用软线、树脂片使玻璃膜剥离。作为软线的材质，例如可以使用聚乙烯、尼龙(注册商标)、特氟隆(注册商标)。另外，作为树脂片的材质，例如可以使用特氟隆(注册商标)。软线、树脂片与刀片相比其厚度较薄，因此若使用这些软线、树脂片，则能够减小在软线、树脂片横切移动时负载传感器检测出的阻力的值。

另外，在上述的第四实施方式以及第五实施方式中，通过在吸附构件吸附了玻璃膜的表面的状态下向从支承玻璃离开的离开方向移动，从而使玻璃膜剥离。然而并不限于此，也可以通过在吸附构件吸附了支承玻璃的表面的状态下向从玻璃膜离开的离开方向移动，从而使玻璃膜剥离。

另外，在上述的第五实施方式中，在剥离前进部横切移动时照相机连续拍摄玻璃膜层叠体的侧面(端部)，然而也可以连续拍摄玻璃膜层叠体的表面或者背面。像这样设置，也能够检测出剥离前进部横切移动时的移动速度或者加速度而作为特征值。

另外，在上述的实施方式中，将划分成多个区域的各区域内配置的吸附垫的个数相同的情况作为一例而进行了说明，然而也可以针对每个区域来变更划分成多个区域的各区域内配置的吸附垫的个数。即，可以设为使吸附垫的配置具有分布的形态。例如，通过使玻璃膜或者支承玻璃的端面附近的吸附垫的个数多于其他的部分，能够减少向玻璃的端面的局部的应力集中，从而能够防止剥离时的破损。需要说明的是，在这样的形态的情况下，优选根据配置在各区域内的吸附垫的个数来确定标准值。具体而言，在吸附垫的个数相对较多的区域内，各吸附垫所附带的负载传感器检测出的阻力相对变小，因此优选将标准值设定得相对较低。另一方面，在吸附垫的个数相对较少的区域内，各吸附垫所附带的负载传感器检测出的阻力相对变大，因此优选将标准值设定得相对较高。

【实施例】

作为本发明的实施例，利用上述的第一至第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1，对于图20所示的玻璃膜层叠体g，在后述的四个条件(三个实施例、一个比较例)下使玻璃膜gf从支承玻璃sg剥离。然后，对剥离时玻璃膜gf上是否产生破损进行了验证。

首先，对实施例以及比较例中的成为剥离对象的玻璃膜gf、支承玻璃sg、以及玻璃膜层叠体g进行说明。作为玻璃膜gf以及支承玻璃sg，使用日本电气硝子公司生产的无碱玻璃oa-10g。两玻璃gf、sg的板厚分别是玻璃膜gf：0.2mm、支承玻璃sg：0.5mm，面的尺寸(纵×横)双方均是1000mm×1000mm。而且，就两玻璃gf、sg的成为相互接触一侧的面的接合面的表面粗糙度ra而言，将两玻璃gf、sg各自的接合面的表面粗糙度ra设为2.0nm以下，使两玻璃gf、sg直接地面接触而层叠，从而制成玻璃膜层叠体g。

然后，对制成后的玻璃膜层叠体g实施以下的处理。首先，在200℃下将玻璃膜层叠体g的整体加热30分钟。之后，仅对自玻璃膜gf以及支承玻璃sg的面的中心距离半径50mm的部位(图20中划有影线的范围，在该图中为了便于说明而夸张图示)加热至300℃。由此，使该部位的作用于两玻璃gf、sg之间的密接力的大小大于其他的部位。

以下，对三个实施例1～3以及比较例中的玻璃膜剥离装置的动作进行说明。

在实施例1中，利用上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1，使刀片3沿图20所示的t方向移动，从而实施玻璃膜gf的从支承玻璃sg的剥离。这里，在实施例1中，将特征值z的标准值z0的值设为z0＝0.04[n/mm]。另外，将刀片3的移动速度v的基准速度v0(z＝z0的情况下的刀片3的移动速度)的值设为v0＝30[mm/min]。然后，在特征值z的值比z0大的情况(z＞z0的情况)下，使刀片3的移动速度v从基准速度v0减速至v＝10[mm/min]。另外，在特征值z的值回到了标准值z0的情况下，使刀片3加速而使移动速度v回到基准速度v0。需要说明的是，在实施例1中，省略了使刀片3的移动停止的控制以及使刀片3向相反方向移动的控制。

在实施例2中，利用上述的第二实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1，使刀片3沿图20所示的u方向移动，从而实施玻璃膜gf的从支承玻璃sg的剥离。这里，实施例2中的特征值z的标准值z0的值以及刀片3的移动速度v的基准速度v0的值与实施例1相同。另外，刀片3的移动速度v的控制方式也与实施例1相同。并且，在该实施例2中，也省略了使刀片3的移动停止的控制以及使刀片3向相反方向移动的控制。

在实施例3中，利用上述的第三实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1，使刀片3沿图20所示的t方向移动，从而实施玻璃膜gf的从支承玻璃sg的剥离。这里，在实施例3中，将特征值z的标准值z0的值设为z0＝10[mm]。另外，将刀片3的移动速度v的基准速度v0(z＝z0的情况下的刀片3的移动速度)的值设为v0＝30[mm/min]。然后，在特征值z的值比z0小的情况(z＜z0的情况)下，使刀片3的移动速度v从基准速度v0减速至v＝10[mm/min]。另外，在特征值z的值回到了标准值z0的情况下，使刀片3加速而使移动速度v回到基准速度v0。需要说明的是，在该实施例3中，也省略了使刀片3的移动停止的控制以及使刀片3向相反方向移动的控制。

在比较例中，利用上述的第一实施方式所涉及的玻璃膜剥离装置1，并且从玻璃膜gf的剥离的开始至结束为止，与特征值z的变化无关地使刀片3以v＝30[mm/min]的恒定的移动速度v移动，从而从支承玻璃sg剥离玻璃膜gf。

以下示出了实施例1～3以及比较例的验证的结果。在实施例1～3中，能够使玻璃膜gf从支承玻璃sg剥离而不至于在玻璃膜gf上产生破损。另一方面，在比较例中，出现了在玻璃膜gf上产生破损的结果。基于该结果可以推断，根据本发明所涉及的玻璃膜剥离装置，在使玻璃膜从支承体剥离时能够防止该玻璃膜的破损并且尽可能快速地使玻璃膜剥离。

附图标记说明

1玻璃膜剥离装置

2工作台

2a载置面

2b长侧面

2c短侧面

3刀片

3a前端部

3b喷射口

4负载传感器

5运算装置

6判定电路

7伺服电动机

8伺服电动机

9照相机

10图像处理装置

11玻璃膜剥离装置

12吸附构件

12a吸附垫

12b保持板

13升降装置

13a主体部

13b升降部

14负载传感器

15判定电路

16伺服电动机

17照相机

18图像处理装置

19运算装置

g玻璃膜层叠体

sg支承玻璃

gf玻璃膜

gfa层叠部

gfb剥离部

gfc剥离前进部

w宽度尺寸

x刀片的移动方向

t刀片的移动方向

u刀片的移动方向

v刀片(吸附构件)的移动速度

r阻力

a压缩空气

q压缩空气的喷射量

z特征值

z0标准值

z1标准值

z2标准值

zmax标准值

p前端

d剥离前进部与前端之间的距离

d’距离的平均值

gd图像数据

s1～s11信号

vv剥离前进部的移动速度

y离开方向

c剥离前进部的横切移动预定方向

l1～l4界线

ar1～ar5区域

dd剥离前进部横切移动的距离