一种砷化镓晶片转运装置的制作方法

技术特征：

1.一种砷化镓晶片转运装置，包括盒体和盒盖(7)，盒盖(7)铰接在盒体上，盒体为长方体结构，其特征在于：所述的盒体的结构包括内壁(10)和外壁(1)，内壁(10)和外壁(1)之间夹有气垫层(2)，内壁(10)的内侧设置有凸缘(3)，凸缘(3)上安装有晶片托架(4)，晶片托架(4)上侧设置有与晶片(5)的外圆相匹配的弧形槽，每个弧形槽容纳一片晶片(5)，所述的盒盖(7)的内侧固定设置有压块(8)，压块(8)上同样设置有与晶片(5)的外圆相匹配的弧形槽，该弧形槽与晶片托架(4)上的弧形槽分别从上下两侧将晶片(5)夹紧，防止晶片(5)上下串动，压块(8)的下侧还设置有隔片(6)，隔片(6)设置于每两块晶片(5)之间，隔片(6)向下延伸至晶片(5)的圆心处。

2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片转运装置，其特征在于：所述的气垫层(2)上与盒体的各表面对应的每个面各为一个独立的气囊。

3.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片转运装置，其特征在于：所述的盒体和盒盖(7)之间通过锁扣(9)锁紧固定。