一种砷化镓晶片转运装置的制作方法

文档序号:14061570阅读:来源:国知局
技术总结
一种砷化镓晶片转运装置,涉及砷化镓晶片盛放装置领域,包括盒体和盒盖,所述的盒体的结构包括内壁和外壁,内壁和外壁之间夹有气垫层,内壁的内侧设置有凸缘,凸缘上安装有晶片托架,晶片托架上侧设置有与晶片的外圆相匹配的弧形槽,每个弧形槽容纳一片晶片,所述的盒盖的内侧固定设置有压块,压块上同样设置有与晶片的外圆相匹配的弧形槽,该弧形槽与晶片托架上的弧形槽分别从上下两侧将晶片夹紧,压块的下侧还设置有隔片,隔片设置于每两块晶片之间,隔片向下延伸至晶片的圆心处。本实用新型将盒体设置成了双层结构,并在盒体的夹层内设置了气垫层,通过气垫层可有效减轻外部震动对晶片的冲击,从而避免晶片破碎。

技术研发人员:于会永;赵中阳
受保护的技术使用者:大庆佳昌晶能信息材料有限公司
文档号码:201721191192
技术研发日:2017.09.15
技术公布日:2018.03.30

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