本发明涉及靶材生产技术领域，具体为一种大型ito靶材生产用吊装转运装置。
背景技术
ito是一种n型氧化物半导体-氧化铟锡，在镀膜靶材的分类中，ito靶材被划分为陶瓷靶材类，其本身力学性能较差，在遭受外部作用力时，ito靶材极容易发生开裂甚至断裂的意外发生，为避免靶材生产过程中发生破坏。
实际工厂中，都会使用特殊的装运装置，将ito靶材从这个工艺台转运到下一个工艺台，以便于实际加工，只是转运装置多数为推车类，经常与地面接触，在运输过程中，极容易产生较大的振动力，对ito靶材造成破坏，为减小振动力等对ito靶材转运的伤害，由此采用吊装转运的方式，只是现有的吊装转运方式使用并不广泛，配套的转运装置结构也较为简单，无法对转运的ito靶材进行充分的固定，且固定过程较为繁琐，不具备方便拆卸的功能，且容易遭受吊装设备产生的振动力，缺乏一定的实用性。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种大型ito靶材生产用吊装转运装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种大型ito靶材生产用吊装转运装置，包括固定托板、夹板和限位框体，所述固定托板的表面设置有施力通槽，所述施力通槽两侧的固定托板表面安装有限位滑槽，所述限位滑槽的表面通过滑块安装有活动块，所述限位滑槽一端的固定托板表面固定安装有固定块，所述固定托板表面边缘处焊接有限位框体，所述限位框体的一侧表面通过转轴安装有夹板，所述夹板的表面设置有预留槽，所述预留槽两侧的夹板表面皆焊接有两个吊杆，且吊杆的顶端焊接有吊环，所述限位框体的另一侧表面焊接有装配板。
优选的，所述固定块与活动块的表面皆设置有限位卡槽，且限位卡槽的表面固定安装有减震胶垫。
优选的，所述施力通槽的内部通过转轴活动安装有辊体，且辊体的表面活动套接有橡胶滚筒。
优选的，所述施力通槽两侧的固定托板底端表面皆固定安装有垫板，且垫板较高于橡胶滚筒。
优选的，所述装配板与夹板表面边缘处皆设置有活动槽，夹板的活动槽9外侧表面设置有防滑卡槽，装配板的活动槽内部通过销轴安装有长颈螺栓，长颈螺栓的表面通过螺纹体安装有紧固螺环。
优选的，所述预留槽外侧的夹板底端表面固定安装有气垫囊，且气垫囊的表面均匀安装有橡胶颗粒。
优选的，所述吊杆的表面套接有减震弹簧，且减震弹簧的一端表面与吊环顶紧。
优选的，所述限位卡槽一侧的活动块表面固定安装有螺纹卡环，螺纹卡环的内部通过螺纹体安装有限位螺栓，且限位框体的内壁表面均匀设置有螺纹孔。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该大型ito靶材生产用吊装转运装置通过安装有吊环，可便于与吊索进行连接，方便进行转运的同时，通过安装有减震弹簧，可对吊索产生的振动力进行抵消，降低对整个装置的震动伤害，通过安装有预留槽，并和施力通槽集合使用，可降低该装置重量的同时，留出一定空间，便于人工施加作用力，对该装置内部的靶材进行位置调节等操作，通过安装有活动块，并和固定块结合使用，可对靶材的两端四角进行限位固定，便于实际转运，并通过安装有限位滑槽，可使得活动块具备移动和调节位置功能，以改变活动块与固定块的相对位置，适用于不同长度的靶材，通过安装有长颈螺栓，并和紧固螺环结合使用，可进行旋转运动，并对夹板的一端进行卡紧和限位，方便拆卸和紧固安装，通过安装有活动槽，可为长颈螺栓的旋转移动提供足够的空间，并通过安装有防滑卡槽，可对紧固螺环进行限位，实现一定的防滑效果，通过安装有橡胶滚筒，并和辊体结合使用，可对靶材的底端进行顶紧，施加向上的反作用力，防止靶材自中间位置处发生受力集中的不良现象，造成靶材的破损。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的后视图；
图3为本发明的活动块结构示意图；
图4为本发明的夹板侧视图；
图5为本发明的拆卸螺栓结构示意图。
图中：1、限位卡槽；2、夹板；3、预留槽；4、吊环；5、固定托板；6、限位框体；7、固定块；8、防滑卡槽；9、活动槽；10、限位滑槽；11、螺纹孔；12、垫板；13、装配板；14、紧固螺环；15、辊体；16、橡胶滚筒；17、施力通槽；18、活动块；1801、减震胶垫；19、螺纹卡环；1901、限位螺栓；20、气垫囊；21、吊杆；2101、减震弹簧；22、长颈螺栓。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1-5，本发明提供的一种实施例：一种大型ito靶材生产用吊装转运装置，包括固定托板5、夹板2和限位框体6，在实际的ito靶材生产加工过程中，可将加工车间的屋顶部位固定安装一些有轨滑槽，或安装起吊装置，以满足该装置的使用，固定托板5表面边缘处焊接有限位框体6，二者相互结合使用，使得固定托板5表面形成一个较大的槽体，实际可将需要转运的大型靶材放置在槽体内部，固定托板5的表面设置有施力通槽17，施力通槽17使得固定托板5的上下端面相互导通，存在足够的空间，可便于工作人员将手掌伸入其中，并对槽体内部的大型靶材施加作用力，以调节靶材的相对位置，施力通槽17两侧的固定托板5表面安装有限位滑槽10，限位滑槽10的内壁表面光滑，可在施加作用力的情况下，带动其上的部件进行滑移运动，限位滑槽10一端的固定托板5表面固定安装有两个固定块7，固定块7表面具备足够的柔韧性，使用时，可对大型靶材的一端两角进行限位顶紧，限位滑槽10的表面通过滑块安装有活动块18，实际活动块18可沿限位滑槽10进行限位滑移运动，并根据大型靶材的实际长度情况，调节活动块18与固定块7的相对位置，对大型靶材另一端的两角进行限位的同时，与固定块7相互作用，对大型靶材进行固定和限位，限位框体6的一侧表面通过转轴安装有夹板2，夹板2可绕转轴做旋转运动，类似于门体，在靶材的放置过程中，需保证夹板2不处于槽体的正上方，并对大型靶材的顶端表面进行顶紧和限位，实现固定效果，提高结构稳定性，夹板2的表面设置有预留槽3，预留槽3的孔隙较大，并延伸至夹板2的底端，工作人员可将手臂深入预留槽3内部，对槽体内部的大型靶材顶端施加作用力，方便使用，预留槽3两侧的夹板2表面皆焊接有两个吊杆21，实际为四个吊杆21，且吊杆21的顶端焊接有吊环4，二者皆为金属材料，且力学性能良好，可通过吊索与起吊设备进行连接，通过起吊设备对整个装置施加均匀的作用力，带动其内部的靶材进行移动，可避免与地面接触，减小振动力对该装置内部大型靶材的冲击、振动等伤害，限位框体6的另一侧表面焊接有装配板13，装配板13的材质为铁质合金，力学性能良好，实际使用时，夹板2的底端表面可与装配板13表面接触。
进一步，固定块7与活动块18的表面皆设置有限位卡槽1，且限位卡槽1的表面固定安装有减震胶垫1801。实施例中，对大型靶材进行固定放置时，需将靶材的四个边角陷入限位卡槽1内部，由限位卡槽1对大型靶材的四点进行限位支撑，减震胶垫1801的柔韧性较强，可增大限位卡槽1表面的柔韧性，防止在遭受外部振动力等情况下，限位卡槽1产生振动对靶材的四个边角造成破坏。
进一步，施力通槽17的内部通过转轴活动安装有辊体15，且辊体15的表面活动套接有橡胶滚筒16。实施例中，橡胶滚筒16表面包裹着一层较厚的柔性橡胶，使得橡胶滚筒16表面的柔韧性降低，实际使用时，橡胶滚筒16与靶材的底端表面接触，并可对大型靶材的中间位置进行支撑，防止大型靶材长度过大，造成的中间位置处应力集中，发生形变等不良事故的发生，辊体15在外力作用下，可产生旋转滚动的效果，便于大型靶材在该装置内部调整位置。
进一步，施力通槽17两侧的固定托板5底端表面皆固定安装有垫板12，且垫板12较高于橡胶滚筒16。实施例中，垫板12为橡胶材质，在实际使用时，在使用前对装置进行固定或使用后将靶材下放，如放置在下一个工艺的工艺台上时，由垫板12与支撑面直接接触，可吸收一定的振动力，防止在与支撑面接触时，产生振动力对靶材进行破坏。
进一步，装配板13与夹板2表面边缘处皆设置有活动槽9，二者的活动槽9可相互对齐，夹板2的活动槽9外侧表面设置有防滑卡槽8，且防滑卡槽8表面设置有防滑纹，装配板13的活动槽9内部通过销轴安装有长颈螺栓22，长颈螺栓22的表面通过螺纹体安装有紧固螺环14。实施例中，当夹板2与装配板13接触后，需要对靶材施加自上而下的作用力，实现固定效果时，可人工将长颈螺栓22绕销轴进行旋转，并同时卡入装配板13与夹板2的活动槽9内部，利用外部部件，如扳手，对紧固螺环14施加作用力，带动其沿螺纹体向下运动，随后卡入防滑卡槽8内部，使得紧固螺环14可产生紧固力，对下方的装配板13与夹板2同时顶紧，实现二者的固定效果，即对靶材进行限位固定，当需对靶材取出时，可反向旋转紧固螺环14，使得装配板13与夹板2之间卸去紧固力，方便从装置内部直接拿取出靶材。
进一步，预留槽3外侧的夹板2底端表面固定安装有气垫囊20，且气垫囊20的表面均匀安装有橡胶颗粒。实施例中，气垫囊20内部中空，表面为橡胶材料，柔韧性良好，在对夹板2进行固定操作时，气垫囊20可直接与靶材的顶端表面接触，形成顶紧的固定力矩的同时，产生一定的减震性能，橡胶颗粒可增大气垫囊20的表面摩擦系数，防止靶材在夹紧或转运的过程中，发生跑位等现象发生。
进一步，吊杆21的表面套接有减震弹簧2101，且减震弹簧2101的一端表面与吊环4顶紧。实施例中，在吊环4乃至吊杆21收起吊工具的牵引力作用，受惯性等作用力的影响，会产生一定的冲击力，对吊杆21表面产生振动效果，而振动力传递给减震弹簧2101时，减震弹簧2101通过形变产生反向作用力，可吸收振动力产生的影响，对装置内部的靶材进行保护。
进一步，限位卡槽1一侧的活动块18表面固定安装有螺纹卡环19，螺纹卡环19的内部通过螺纹体安装有限位螺栓1901，且限位框体6的内壁表面均匀设置有螺纹孔11。实施例中，在活动块18调整完位置后，需人工对限位螺栓1901施加旋转力矩，沿螺纹卡环19的螺纹体缓缓向外移动，并卡入限位框体6的螺纹孔11内部，由螺纹孔11对限位螺栓1901乃至其上的螺纹卡环19进行限位，由于螺纹卡环19固定在活动块18上，使得活动块18形成固定和限位效果。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。