一种半导体基板生产线运输用转角装置的制作方法

本发明涉及生产线运输全自动化设备技术领域，特别涉及一种半导体基板生产线运输用全自动设备。

背景技术：

中兴通讯事件可以看出中国半导体产业的致命点在设备进口，这对中国半导体产业挑战与机遇并存，中国已发展成为全球最大的集成电路需求市场，全球半导体企业都极度依赖中国市场，高端装备是发展半导体产业的基础，目前国内半导体设备这一块对美企业的依赖度还较高，每年都进口很多关键设备，目前国内半导体产业生产厂家在半导体基板运输生产线上转角处都是利用电机带动支架旋转，从而造成了资源浪费。

因此，发明一种半导体基板生产线运输用全自动设备来解决上述问题很有必要。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种半导体基板生产线运输用全自动设备，通过利用齿轮传动原理带动第二支架旋转完成转角工序，有利于减少电机设备的使用，从而节约了资源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体基板生产线运输用全自动设备，包括第一支架，所述第一支架内部设有第一转动轴，所述第一支架一侧设有第二支架，所述第二支架内部设有第二转动轴，所述第二支架一侧设有凸出块，所述凸出块内部设有防撞装置，所述第二支架底端设有支撑圆盘，所述支撑圆盘表面设有环形齿条，所述支撑圆盘底端设有支撑座，所述支撑座内部设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆输出端一侧设有条形齿条，所述条形齿条一侧设有齿轮盘，所述齿轮盘与条形齿条相啮合，所述齿轮盘一侧设有旋转轴，所述旋转轴一端与齿轮盘相啮合，所述旋转轴另一端设有传动轮，所述传动轮表面设有弧形齿条，所述弧形齿条与环形齿条相啮合，所述支撑座内部设有单片机。

优选的，所述防撞装置包括壳体，所述壳体一侧设有弹簧，所述弹簧一侧设有活动板，所述活动板两端与壳体滑动连接，所述活动板内部设有压力传感器。

优选的，所述旋转轴一端与传动轮一侧固定连接。

优选的，所述第一转动轴表面和第二转动轴表面均设有橡胶圈，所述第一转动轴和第二转动轴的数量设置为多个。

优选的，所述第一支架底端设有第一电机，所述第二支架底端设有第二电机。

优选的，所述第一转动轴顶端设有基板，所述第一支架底端和支撑座底端均设有万向轮。

本发明的技术效果和优点：

1、通过设有传动轮，基板经第一转动轴带动到第二转动轴顶端，基板往一侧运动给压力传感器施加压力，当压力达到设定的范围时，压力传感器将信号传递给单片机，单片机将停止信号传递给第二电机，第二电机停止工作，同时单片机传递伸长信号给电动伸缩杆，电动伸缩杆伸长带动条形齿条往上运动，条形齿条往上运动带动齿轮盘转动，齿轮盘转动带动旋转轴转动，由于传动轮与旋转轴固定连接的一端直径小于另一端，从而可以在第二支架往上运动的同时，通过利用齿轮传动原理带动第二支架旋转完成转角工序，有利于减少电机设备的使用，从而节约了资源；

2、通过设有防撞装置，基板推动活动板往一侧运动，弹簧被压缩，弹簧恢复形变产生的力与使基板运动的力进行缓冲，有利于避免基板因碰撞而损坏。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图。

图2为本发明的图1中a部放大图。

图3为本发明的支撑圆盘结构剖面图。

图4为本发明的传动轮侧视图

图5为本发明的图1中b部放大图。

图中：1第一支架、2第一转动轴2、3第二支架、4第二转动轴4、5凸出块、6防撞装置、61壳体、62弹簧、63活动板、64压力传感器、7支撑圆盘、8环形齿条、9支撑座、10电动伸缩杆、11条形齿条、12齿轮盘、13旋转轴、14传动轮、15弧形齿条、16单片机、17第一电机、18第二电机、19基板、20万向轮。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了如图1-5所示的一种半导体基板生产线运输用转角装置，包括第一支架1，所述第一支架1内部设有第一转动轴2，所述第一支架1一侧设有第二支架3，所述第二支架3内部设有第二转动轴4，所述第二支架3一侧设有凸出块5，所述凸出块5内部设有防撞装置6，所述第二支架3底端设有支撑圆盘7，所述支撑圆盘7表面设有环形齿条8，所述支撑圆盘7底端设有支撑座9，所述支撑座9内部设有电动伸缩杆10，所述电动伸缩杆10输出端一侧设有条形齿条11，所述条形齿条11一侧设有齿轮盘12，所述齿轮盘12与条形齿条11相啮合，所述齿轮盘12一侧设有旋转轴13，所述旋转轴13一端与齿轮盘12相啮合，所述旋转轴13另一端设有传动轮14，所述传动轮14表面设有弧形齿条15，所述弧形齿条15与环形齿条8相啮合，所述支撑座9内部设有单片机16。

进一步的，在上述技术方案中，所述防撞装置6包括壳体61，所述壳体61一侧设有弹簧62，所述弹簧62一侧设有活动板63，所述活动板63两端与壳体61滑动连接，所述活动板63内部设有压力传感器64；

进一步的，在上述技术方案中，所述旋转轴13一端与传动轮14一侧固定连接，同时传动轮14与旋转轴13固定连接的一端设置为直径小于另一端，并且绕旋转轴13转动；

进一步的，在上述技术方案中，所述第一转动轴2表面和第二转动轴4表面均设有橡胶圈，所述第一转动轴2和第二转动轴4的数量设置为多个，橡胶圈具有良好的摩擦力和形变能力，从而避免基板19运输过程中出现磨损；

进一步的，在上述技术方案中，所述第一支架1底端设有第一电机17，所述第二支架3底端设有第二电机18；

进一步的，在上述技术方案中，所述第一转动轴2顶端设有基板19，所述第一支架1底端和支撑座9底端均设有万向轮20，万向轮20的设置方便于生产线的摆放。

进一步的，在上述技术方案中，所述单片机16的型号设置为tms370，压力传感器64的型号设置为pt124g-210，所述压力传感器64输出端与单片机16输入端电性连接，所述电动伸缩杆10与单片机16输出端电性连接，所述第二电机18与单片机16输出端电性连接。

本实用工作原理：

参照说明书附图1-4，第一电机17和第二电机18工作，基板19经第一转动轴2带动到第二转动轴4顶端，基板19往一侧运动给压力传感器64施加压力，当压力达到设定的范围时，压力传感器64将信号传递给单片机16，单片机16将停止信号传递给第二电机18，第二电机18停止工作，同时单片机16传递伸长信号给电动伸缩杆10，电动伸缩杆10伸长带动条形齿条11往上运动，条形齿条11往上运动带动齿轮盘12转动，齿轮盘12转动带动旋转轴13转动，由于传动轮14与旋转轴13固定连接的一端直径小于另一端，从而可以在第二支架3往上运动的同时，通过利用齿轮传动原理带动第二支架3旋转完成转角工序，有利于减少电机设备的使用，从而节约了资源；

参照说明书附图5，通过设有防撞装置6，基板19推动活动板63往一侧运动，弹簧62被压缩，弹簧62恢复形变产生的力与使基板19运动的力进行缓冲，有利于避免基板19因碰撞而损坏。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。