一种可自动翻转的硅片放置机构的制作方法

文档序号:16222505发布日期:2018-12-11 20:03阅读:180来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种可自动翻转的硅片放置机构,安装座、底板、模具、密封套、滑动吸取机构、进气通道、进气管、固定座、气缸、滑动板、支座、伺服电机、第一齿轮、转轴、第二齿轮、夹取机构、第一接近开关、第二接近开关,将硅片直接置于定位槽内,滑动吸取机构将硅片吸取完成定位夹紧,翻转时,压缩空气进入滑动腔内,推动与活塞上移,气缸推动支座前移,硅片伸入到夹取机构内侧,电磁铁失电将硅片夹紧,气缸复位,伺服电机带动转轴转动180°,气缸推动支座前移,电磁铁得电,硅片落在滑动吸取机构上。该装置结构简单,能对硅片进行定位、吸紧、自动顶料以及自动翻转,提高生产效率,而且通过集成化设计,有效降低制造成本。

技术研发人员:李世山;阳军;吴会旭;李钊
受保护的技术使用者:苏州聚晶科技有限公司
技术研发日:2018.01.10
技术公布日:2018.12.11

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