一种石英超真空腔的制作方法

本实用新型涉及真空腔技术领域，具体为一种石英超真空腔。

背景技术：

这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。

真空腔与人类的生活密切相关，真空腔的性能是区别真空腔最大的特征。然而现有的真空腔，密封性能较差，并且使用时安装不够稳定。针对上述问题，在原有真空腔的基础上进行创新设计。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种石英超真空腔，以解决上述背景技术中提出现有的真空腔密封性能较差，并且使用时安装不够稳定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石英超真空腔，包括第一箱体、石英管、透气板和连接杆，所述第一箱体的内侧通过连接件连接有第二箱体，且第二箱体的内侧通过连接件连接有第三箱体，同时第三箱体的内部设置有真空腔，所述石英管安装在第三箱体的上方，且石英管的顶部开设有通气孔，同时通气孔的顶部固定有石英板，所述透气板设置在第一箱体的外表面，且透气板的内部开设有透气孔，同时第一箱体的底部左右两端设置有防滑垫，所述连接杆连接在石英板的下端面，且连接杆的下端设置有螺纹头。

优选的，所述第一箱体、第二箱体和第三箱体构成拆卸安装结构，且第二箱体和第三箱体设置在同一水平面。

优选的，所述石英管关于第三箱体构成垂直安装结构，且石英管的数量设置有4个。

优选的，所述石英管和连接杆设置为中空式结构，且连接杆和石英管构成螺纹连接结构。

优选的，所述透气板和透气孔采用一体化安装结构，且透气孔等间距分布在透气板的表面。

优选的，所述防滑垫在第一箱体的拐角处设置有4个，且防滑垫的下端面与第一箱体的下端面相互平行，同时防滑垫的下端面均设置在同一水平面上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该石英超真空腔，连接件对第一箱体、第二箱体和第三箱体进行连接，增强了箱体之间安装的稳定性，然后石英管熔化将真空腔密封，增大了真空腔的密封性能，第一箱体外侧设置了散热部件，装置在使用时可以进行散热，第一箱体的拐角处设置了防滑垫，避免腔体使用时因安装不稳定发生意外，整体的设计增大了腔体的密封性能，增强了装置使用的稳定性，有效的提高了散热的速度，从而延长了腔体的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型主视结构示意图；

图3为本实用新型俯视结构示意图；

图4为本实用新型石英管结构示意图。

图中：1、第一箱体；2、第二箱体；3、第三箱体；4、真空腔；5、石英管；6、通气孔；7、石英板；8、透气板；9、透气孔；10、防滑垫；11、连接杆；12、螺纹头；13、连接件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种石英超真空腔，包括第一箱体1、第二箱体2、第三箱体3、真空腔4、石英管5、通气孔6、石英板7、透气板8、透气孔9、防滑垫10、连接杆11、螺纹头12和连接件13，第一箱体1的内侧通过连接件13连接有第二箱体2，且第二箱体2的内侧通过连接件13连接有第三箱体3，同时第三箱体3的内部设置有真空腔4，第一箱体1、第二箱体2和第三箱体3构成拆卸安装结构，且第二箱体2和第三箱体3设置在同一水平面，拆卸安装结构便于定期对3个箱体进行检修和维护，石英管5安装在第三箱体3的上方，且石英管5的顶部开设有通气孔6，同时通气孔6的顶部固定有石英板7，石英管5关于第三箱体3构成垂直安装结构，且石英管5的数量设置有4个，垂直安装结构使石英管5熔化时更容易对真空腔4密封，石英管5和连接杆11设置为中空式结构，且连接杆11和石英管5构成螺纹连接结构，螺纹安装结构便于石英板7和石英管5之间进行拆卸安装，透气板8设置在第一箱体1的外表面，且透气板8的内部开设有透气孔9，同时第一箱体1的底部左右两端设置有防滑垫10，透气板8和透气孔9采用一体化安装结构，且透气孔9等间距分布在透气板8的表面，一体化安装结构增强了连接的稳定性能，等间距分布透气孔9增强了透气性能，防滑垫10在第一箱体1的拐角处设置有4个，且防滑垫10的下端面与第一箱体1的下端面相互平行，同时防滑垫10的下端面均设置在同一水平面上，设置4个防滑垫10增强了装置使用时与地面之间的连接的稳定性，连接杆11连接在石英板7的下端面，且连接杆11的下端设置有螺纹头12。

工作原理：首先通过连接件13对第一箱体1、第二箱体2和第三箱体3之间进行固定，然后第三箱体3的内部设置了真空腔4，将真空腔4内部抽到一定的真空度，然后通过石英管5往真空腔4的内部充入原子气体，最后将石英板7和石英管5熔化对真空腔4进行密封，保证了真空腔4的密封程度，第一箱体1的外侧设置了透气板8，透气板8表面的等距离设置的透气孔9可以对装置进行透气，增强了装置的透气性能，第一箱体1的拐角处设置了4个防滑垫10，保证了装置在使用时与地面之间连接的稳定性能，整体的设计增强了装置使用的稳定性，有效的提高了散热的速度，从而延长了腔体的使用寿命，这就是该石英超真空腔的工作原理。

最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。