一种半导体包装设备的制作方法

文档序号:17510410发布日期:2019-04-24 00:25阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体包装设备,其特征在于,包括真空室(1)、放置板(6)、校正装置(9)、冷却盖(13)和控制系统(15);所述真空室(1)一侧设置有进料口(2),进料口(2)上安装感应密封门(3),进料口(2)一端连接输送机构(4);进料口(2)另一端连接工作台(5),工作台(5)上安装放置板(6);放置板(6)内设置有置物槽(7),放置板(6)前端安装封口夹(8);所述放置板(6)两侧安装校正装置(9),校正装置(9)包括导板(92)和调节螺杆(95);工作台(5)一侧安装转动轴(10),转动轴(10)上安装转动电机(11),转动电机(11)上安装感应开关阀(12);转动轴(10)上安装冷却盖(13),冷却盖(13)包括冷却器(132)和释冷垫(134);放置板(6)前端安装位移传感器(14),位移传感器(14)连接至控制系统(15),控制系统(15)电性连接至感应开关阀(12);所述真空室(1)内安装气囊(16),工作台(5)末端安装加热封条(17),气囊(16)连接加热封条(17);所述真空室(1)内安装真空泵(18),真空泵(18)上电性连接控制开关(19)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体包装设备,其特征在于,工作台(5)两侧对称安装两限位挡板(91),限位挡板(91)侧边竖直安装一导板(92);导板(92)上安装固定螺母(93),限位挡板(91)上安装调节螺栓(94);固定螺母(93)与调节螺栓(94)之间通过调节螺杆(95)连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体包装设备,其特征在于,冷却盖(13)体积稍大于置物槽(7);盖本体(131)包括盖板(1311)、冷却层(1312)和塑胶隔温板(1313);盖板(1311)与塑胶隔温板(1313)之间形成冷却层(1312),冷却层(1312)内安装冷却器(132),冷却器(132)上安装微控电磁阀(133);冷却器(132)下方安装释冷垫(134),释冷垫(134)上浸透有冷却液(135);盖本体(131)四周安装侧挡板(136)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体包装设备,其特征在于,置物槽(7)内安装温度传感器(20),温度传感器(20)连接至控制系统(15),控制系统(15)电性连接至微控电磁阀(133)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体包装设备,其特征在于,加热封条(17)安装在封口夹(8)上方前端,控制开关(19)安装在真空室(1)外侧。

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