一种水平多层载具的制作方法

本实用新型涉及太阳能和半导体技术领域，尤其涉及一种水平多层载具。

背景技术：

在太阳能和半导体领域中，扩散、镀膜、氧化、退火等工艺流程需要用到硅片载具，用来装载太阳能电池片。

硅片在低压高温环境下，实现化学反应和分子沉积成膜，成膜后可以通过高温加热扩散，从而实现硅片表面掺杂或者钝化的功能，或者电池工艺过程中通过升温降温减少电池片内应力，总之该工艺过程都会经过高温这一环节，要求载具纯度高，在高温下无污染。对载具的要求，一方面是硅片需要经过高温这一环节，另一方面是随着太阳能电池片生产线对自动化和品质要求的提高，要求载具能满足扩散品质与自动化。

传统硅片的放置方式为竖直插片，一次性插片1200片左右，在高温(扩散、氧化、退火或者镀膜工艺)情况下，竖直插片的形式容易出现硅片变形，自动化插拔过程容易导致碎片率过高，自动化程度越来越困难。现有载具多为垂直放置电池片，存在扩散气体流动会受到干扰或遮挡导致电池片扩散镀膜不均匀的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种水平多层载具，可供太阳能电池片或硅片水平放置，使得气体更为均匀，提升太阳能电池片或者半导体硅片的品质；同时把手的设计有助于其在搬运过程中的稳定性和可靠性，同时有效提高载具的强度，减少气流的阻挡，便于气体均匀地扩散。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种水平多层载具，包括上底板、下底板、若干槽棒、两把手；所述上底板与下底板平行布置，槽棒两端分别与上底板、下底板连接；所述槽棒的竖直方向上设有若干间隔的水平槽口；所述若干槽棒分布在上底板、下底板形成空间的相对两侧，两侧槽棒的水平槽口相向设置；所述把手沿垂直于槽棒的长度方向布置，每一把手连接于同一侧的所有槽棒。

较佳地，所述下底板呈U型构造，U型开口朝向槽棒所在侧面的相邻一侧。

较佳地，所述槽棒设置为四个，分别为第一槽棒、第二槽棒、第三槽棒、第四槽棒，其中一把手焊接于第一槽棒与第二槽棒上，另一把手焊接于第三槽棒与第四槽棒上。

较佳地，所述把手设于上底板、下底板及若干槽棒形成的中心所在的水平面上。

较佳地，所述把手呈“凸”字型构造，把手的“凸”字型下部两端与同一侧的两槽棒连接，把手的“凸”字型上部朝向上底板与下底板形成空间的外侧。

较佳地，所述若干槽棒的每级水平槽口一一对应在同一平面。

采用上述方案，本实用新型的有益效果是：

1)太阳能电池片水平放置于载具，有效减少对扩散气体的阻碍，使得扩散更为均匀，提升太阳能电池片的品质；载具在气流方向的遮挡物减少，有效减少气流扰动；

2)把手位置的合理设置有助于其在搬运过程中的稳定性和可靠性，同时有效提高载具的强度；

3)下底板呈U型构造以便于配套自动化及减重；

4)槽棒的水平槽口间距可根据不同自动化设备调整，更便捷的配套自动化生产。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的侧视角结构示意图；

图3为图2中A处的放大示意图；

图4为本实用新型省却上底板的俯视角结构示意图；

其中，附图标识说明：

1—上底板， 2—下底板，

3—槽棒， 4—把手，

31—水平槽口。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。

参照图1至4所示，本实用新型提供一种水平多层载具，包括上底板1、下底板2、若干槽棒3、两把手4；所述上底板1与下底板2平行布置，槽棒3两端分别与上底板1、下底板2连接；所述槽棒3的竖直方向上设有若干间隔的水平槽口31；所述若干槽棒3分布在上底板1、下底板3形成空间的相对两侧，两侧槽棒3的水平槽口31相向设置；所述把手4沿垂直于槽棒3的长度方向布置，每一把手4连接于同一侧的所有槽棒3。

其中，所述下底板2呈U型构造，U型开口朝向槽棒3所在侧面的相邻一侧。所述槽棒3设置为四个，分别为第一槽棒、第二槽棒、第三槽棒、第四槽棒，其中一把手4焊接于第一槽棒与第二槽棒上，另一把手4焊接于第三槽棒与第四槽棒上。所述把手4设于上底板1、下底板2及若干槽棒3形成的中心所在的水平面上。所述把手4呈“凸”字型构造，把手4的“凸”字型下部两端与同一侧的两槽棒3连接，把手4的“凸”字型上部朝向上底板1与下底板2形成空间的外侧。把手4也可以采用其他形状，如圆形、五角星形、椭圆形、三角形等。所述若干槽棒3的每级水平槽口31一一对应在同一平面。

本实用新型工作原理：

本实用新型的材料可以是高纯石英、高纯氧化炉、高纯碳化硅、不导电的高纯氧化物，表面镀高纯碳化硅、氧化铝、氧化锆材料的其他材质等。

四槽棒3呈矩形排布，若干槽棒3分布在上底板1、下底板2形成空间的相对两侧(也可设于上底板1、下底板2之间的四角)，每一把手4焊接在同一侧的所有槽棒3上，可有效提高载具的强度。若干槽棒3所设每级水平槽口31为同一平面，太阳能电池片水平放置，有效减少对扩散气体流动干扰。上下两个底板1/2通过槽棒3连接，下底板2设置为U型构造，起到配套自动化以及减重的作用。槽棒3的水平槽口31间距可根据不同自动化设备要求进行合理调整。把手4位于整个载具的中心平面，有助于其在搬运过程中的稳定性和可靠性，同时把手4的设置可以有效提高载具的强度。

为了增强载具的刚性，槽棒设3置可以为4～10个，所有的槽棒3呈U型均布，便于硅片能顺利地从U型开口一侧插入上底板1与下底板2形成的空间内。单根槽棒3的水平槽口31数量为25～200个；对于同一个载具，所有槽棒3的槽水平草槽口31数量应该一致。

本实用新型不局限于太阳能电池板扩散设备，还可以用于薄壁板材的分板及上下料结构。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。